Transmisní elektronová mikroskopie

– Od teorie k praxi

11. 10. 2017 15.00 – 17.00

Ústav mikroelektroniky, Technická 10

Seminární místnost N5.17

• Princip a konstrukce elektronového mikroskopu

• Vzorky a jejich příprava

• Základní teorie elektronové optiky

• Typy signálu a vznik kontrastu

• Využití elektronového mikroskopu v praxi

Přednáší

Ing. Ondřej L. SHÁNĚL, Ph.D.

Systémový architekt TEM

Vystudoval Ústav Fyzikálního inženýrství VUT Brno, absolvoval studijní pobyt na

TU v Eindhovenu (NL), kam se dnes pracovně často vrací.

Problematiku elektronové mikroskopie rád přednáší hravou formou.

Detekce signálu v elektronové

mikroskopii

25. 10. 2017 15.00 – 17.00

Ústav mikroelektroniky, Technická 10

Seminární místnost N5.17

• Typy detektorů v rastrovací a transmisní

elektronové mikroskopii

• Fyzikální procesy nutné k detekci elektronů

• Bližší seznámení se scintilačně založenými detektory a detektory přímé

detekce

• Metody hodnocení kvality detektorů a signáluPřednáší

Ing. Miloš MALÍNSKÝ, PhD.Systém inženýr R&D TEM (kamery a detektory)

Vystudoval Ústav Biomedicínského inženýrství na VUT Brno

„Proč je elektronová mikroskopie skvělá? Pomáhá objevovat

nanosvět a přispívá k vzniku nových technologií.“

Vakuový systém v elektronových

mikroskopech

8. 11. 2017 15.00 – 17.00

Ústav mikroelektroniky, Technická 10

Seminární místnost N5.17

• Vakuum a elektronový mikroskop

• Základní principy ve vakuové technice

• Vakuové vývěvy a měrky

• Měření kvality vakua a jeho hodnocení

• Ukázka zapojení a ovládání vakuového systému

Přednáší

Ing. Peter TVAROŽEK, PhD.

Systémový inžernýr R&D SEM/SDB

Vystudoval Žilinskou Univerzitu a Helsinki University of

Technology.

„Na elektronovej mikroskopii sa mi páči, že spája množstvo

špičkových technológií.“

Rastrovací elektronová mikroskopie

– Od teorie k praxi

22. 11. 2017 15.00 – 17.00

Ústav mikroelektroniky, Technická 10

Seminární místnost N5.17

• Princip a konstrukce rastrovacího elektronového

mikroskopu

• Elektrony a ionty v rastrovací mikroskopii

• Základní teorie elektronové a iontové optiky

• Typy signálu a vznik kontrastu

• Využití rastrovacího elektronového mikroskopu

v praxi

Přednáší

Ing. Libor STRAKOŠAplikační inženýr pro elektronický a polovodičový průmysl

Vystudoval FEKT VUT – ÚBMI: Biomedicínské inženýrství a

bioinformatika, na elektronové mikroskopii ho baví rozmanitost

aplikací: „Elektronový mikroskop je nástrojem pro vývoj a výrobu

nejmodernějších technologií a zároveň prostředkem k hodnotným

objevům v nejrůznějších vědeckých odvětvích.“