F T 一 工 3 0 - 0 1 1
ア ル カ テ ル ロ ー タ リ ポ ン プ(禿票 華茎…型 )
5
0
5
ユ
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2
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0
2
2
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2
型 ‘言
書明説扱.
取
7
6..
1996.
10.
一14
5 1994.
6.
15
4 1993.
IO.
4
3 1993.
3.
18
2 一1993.
2.
25
1 I992.10.30
販数 年 月 日
杉崖 式 会 ネ土ざノレノア ネ
輸串に関する注意事項
弊社製品を日本国外に輸出する際は外国為替及ぴ外国貿易管理法の規定に基づ
く判 定が 必要 とな ります ので、 弊社の 営業部 門に必 ずお間い 合わ せくだ さい。
本書の取扱いについて
本取扱説明書は、 アルカテル パスカルシリーズ 標準型ロータ ト ボンン
の仕様、 設置、 甑 保
守等 にっ いて 解 説 して います。 ポ ン プ の設 置、 運転 を 行う 前に、 必 ず本 書を 良く 読み 正 しく ポ ンプを
ご使 用下 さい。
特 に安全 上 の注 意 事項 には・ 以 下 の警 告 語 をつ け下い ます の で・ ご 汗意 願 いま す㌣
また本取扱説明書は・アルカテル パスカルシ1」一ズ 標準垂 ト タ ト ポンてを使岬される最終ユーザ ーへ 必 ず届 け て下 さい。
▲.
危 険
この弩告に従わなか一た 駄 死Fあるいぱ圭傷を貞う可能性のある切迫 した危険な状態
を 示 し ま す。
▲ 警告
この警告に従わなかった場合、 人身事故の可能性のあ 綿 在 榊こ危険な状態妄示します。
▲ 注意
こ の警 告 に 従わ なか った 場合、 機 器等 の 損傷 に 至る 可能 性 のあ る状 態 を 示 しま す。
(工)
重要な事前注意事項
△ 注 意 。
ア ル カ テ ル 標 準 型 ロ ー タ リ ポ ン プ 2005. 2010. 2015 及 び 2021 は、
窒 素 の よ う な 中 性 の ガ
ス や通 常の 大気 の排 気 を主 目 的と して 設 計さ れた 一般 用 途向 けの ポン ブで す。 ポ ンプ性 能を 十
分 に発 揮さ せ、 よ り長 期 にわ たっ て安 全 かっ 正常 に ボ ン プの運 転 を続 ける た め には、 使用 オ イ
ル や周 辺 アクセ サリ の 組み 合 わせな どを 考慮 し、 用 途 に適 した 方法 で、 オイ ル 交換 な どの保 守
、を 十 分 に 行 う こ と が 重 要 で す。
事前 に 本取 扱説 明書 を 良く 読み、 注 意事 項 や必 要 な操 作、 保 守事 項 を順 守 して、 正 しく ポ ン
プ を ご便用 下さ い。
▲ 注意
アル カテ ルロ ータ リ ポ ンプ は、 厳 重な 検 茸及 び梱 包 の もとに 出 荷さ れ てい ます が お手 元に 届.
きま し たな ら、 注意 深く 梱 包を 解き、 外 部損 傷が ない か、 各構 成 品が 揃 って いる かの 点検 を 行
って 下 さい。 異常の あ る場 合 は、 直ち に当 杜 営業 また は、 代 理店 ま で ご連 絡下 さい。
また、 実際の 使角 に 先 だち、 オイ ル を充 填 した 上 で、 ポン プ単 体 での 予備 運転 を 行い、 ポ ン
プが 正 常に 動作 す るこ とを 確認 して 下 さい。 特 に、 特 殊な ガス を排 気す る 場合 は、 必 ず事 前 の
動作 確 認を 行っ て 下きい。
▲ 警告
ポン プの 興 気口、 排 気口 と配 管や 各種 ア クセ サリ 類 の 接続 にはク イ ック カ ッ プリ ングを 用 い
てい ま すが、 こ れ らの 接続 が 不十分 で ある 場 合に は 重大 な事 故が 発 生す る 恐れ があ りま す。
配管 の 接続 に 際 して は、 漏れ(リ ーク)や ネ ジの 緩 みが 無い よう 十 分注 意 して、 確実 に接 続 を
行う と 共牢、 定期 的(1ヵ月 程 度毎)に 接 続部 の状 態 を点 検 して下 さ い。
△ 警告
排 気 口 配 管 は、 配 管 内 や ポ ン プ 内 圧 カ が 最 大 で 1.3x105Pa(ゲ ー ジ 圧 0.3kg/㎝2) を 越 え な
い よう に、 配 管 や 排 ガ ス処 理設 備 等 の コ ン ダク タ ン ス を 十分 大 きく 敢る よう に 考慮 して 下 さ
い。 コ ン ダクタ ン スが 十分 で ない場 合、 排気 配 管や ポ ン プ内が 加圧 さ れ、 破損 す る危 険性 が あ
り ま す 。
▲ 警告
電 気配 線 作業 は、 有資 格 者以外 は 絶対 行わ な い で下 さい。
配 線 や保 守作 業 は、 必ず 一次側 電 源を 切っ て か ら行 って 下さ い。 また、 作 業が 終了す る ま で
は、 ボ ン プ に 絶 対 電 源 を 供 給 し な い で 下.さ い。
(I[)
▲ 警告
ポ ンブ運 転 中及 び 停 止直 後 ぱ、 ポン プ 本体 及 びモ ータ 付 近 は高 温 に な る こと が あり ます の で
人 体や 可燃 物 を接 触 さ せたり、 接 近さ せ ない で 下さ い。
また、 保 守 を行 う 場 合は、 ポ ンプが 十 分 冷え て か ら行っ て 下さ い。
▲ 注意
[取扱 説 明書 の ガイニド] (詳 しくIは 目次 を参 照 下さ い。)
・梱包 を 解く 前1こ、 少 なぐ と も5」 墳 を お読 み 下さト・。
・ ポン プ をす ぐに 運 転 ←ない で保 管す る 場合 に は、 52事 に 従っ て 下 さ い。
・ ヂン ブの 設 鼠 運 転を 行う 場 合 は・ 少 なく と も4 項・ 乍奉 及 び7 項を 事 前 に お葬 み 下さし)。
・ ポ ン プ の 分 解・ 洗 浄 及 び 再 組 立 の 手 順 は、 8 項 に 説 明 し て あ り.ま す。
’畢 転中・ ポ ン プg動 年 に異 常 が 生 じた 場 合!ま・10項 の トラ ブル シュ ー ティ ングを 参 照 して †
さ い。
・ ボ ン ラ の 特 長 や 仕 様、・各 部 の 機 能 に つ い て は、 1 項、 2 項 及 ぴ 3 項 を 参 照 し て 下 さ い。
・ 断面 図、 外形 図、 都 晶表 な どは、 巻 末 にま と め てあ りま す ので 参 照 して下き い。
(皿)
修臣 言正
ご検 収後 1年 以 内に、 設計、 材料 及 び製 造 上の 欠陥 な ど、 当杜 の責 に より 発 生 した 故 障に関 して は、
無償 に て修 理ま た は交換 を 行い ます。
但 し、 本保 証 は敢扱 説 明書 及 びそ の他 の 取り 扱い 挿 示に 従っ て、 正 しく 使用 さ れ た 場合 にの み適用
する も のと 致 します。 更に 以下 のよ う な故 障 に関 し ては 保証の 適用 を 除外 さ.せて い た だきま す。
1) 不適 当な 敢り 扱い、 使用 方法 お よ び保 管方 法 に起因 する 故 障
2) 必 要 な保 守を 行わ な かっ たこ と に起 因 する 故 障
3) 当杜 で販 売 してい る 保守・交 換部 品 以外 のも の を使用 した 場 合の 故 障
4) 火災、 水 害、 地震、 落 雷、 そ の他 不 可抗 力 に起 因す る故 障
)また、 酸、
.ア ルカ リ、 腐蝕 性 ガス、 可燃 性 ガス な ど特殊 ガス の排 気や、 固 形 物及 び 凝縮 性の 物質 が
多 く 混入 す るよ う な用 途 に 使用 した 場 合に 必 然的 に 生 じる 故 障や 保守 ヒ 関 して も 保 証 の適用 を除外
さ せ て い一た だ き ま す。
なお、 本 保 証 に基づ 羊 当杜の 補 償責 任 の範 囲 は、 欠 陥 部分 の修 理、 ま た は、 交 換 あ みに 限定 する も
の と し、 二次 曲 に発 生す る損 失の 補償 ぱ 致 しま せん。 また、 消 耗・保 守部 晶 に 関 しても 本保 証 の適用
外 と 致 し ま す。
故 障、 ま た は異 常 の発 生 した 場 合は、 直ち に 弊杜フ ィ ー ル ドサ ー ビス事 桑 部へ ご連絡 下さ い。
故障 に 際 して の お 問い 合わ せ先
巻 末の 弊 杜フ ィー ル ドサー ビス事 業部 の お 間い 合わ せ先 一覧 を参 照願 いま す。
(w)
目 次
1.
概 要 ・ ’ ・ ’ ’ ’ ’ ’ ’ . ’ ’ ’ ・ ・ ・ ・ … 1 - 1
・ 2.
仕 様 ・
∵
・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ …
2. 1 標 準 型 ロ ー タ リ ボ ン プ 仕 様 ・ ・ ・ …
2-
2 モ ー タ 仕 様 詳 細 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ …
3 排 気 原 理 と 各 部 機 能 の1説 明 … 一 ・ ・ ・ ・ …
3.ユ 回 転翼 型 ロータ リ ポ ンプの 排 気原 理(1 段の 場 合)
β,2- 2 段 式 回 転 翼 型 ロ ー タ リ ボ ン プ の 概 要 ・ ・ …
3
.
3
’
オ イ ル
.
・ ・ 一 ’ ’ ・ ’ ’ ’ ’
一
’ ’ ’ ’ ’ ’ ’ ’ ‘
3, 4・ 潤 滑 機 構 逆 流 防 止 機 構 騒 音 防 止 機 溝 ・ 一 …
§.
5 ガ ス バ ラ ス ト バ ル ブ.
・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ …
2-I
・ 2一工
2-3
3-1
s-1
3-2
3-2
3-2
3-3
4. 各 構 成 部 の 説 明 ・ …
5. 開 梱 と受 け入 れ蒔 の点 検 及び疾 管 方法
5.1 開 梱 と 受 け 入 れ 時 の 点 検 …
5 . 2 保 管 方 法 …I
・ ・ …1
・ 。
・ ・ ・ ・ … 4 - 1
5-1
5-1
5-1 ・
6 .設 置 と 運 転 準 備 一
・ 1 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ … . …
6.
1率
置 ・
.
1・ ・ … 一 … 一= 一 。
.
=. 一
.
一一.
6:
2.
オ イ.
ル の 選 定 と 充 婁 …’・ ・ ・ … ゾ ・ ・
6..
2..
1 オ イ ル の 選 定 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ …
6.
2.
2 オ.
イ ル の 充 填 ・ 一 ・ ・ …
I
・ ・ ・ …
6.
3 吸 ・ 排 気 口 の 配 管 ・ ・ ・ ・ …’
… 1 ・. …
6.
3.
1 吸 ・ 排 気 口 の 移 動 ・ ・二
….
・ ・ … .
6.
3.
2 吸 気 口 側 の 配 管 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ …
6.
3一 蔓 排 気 口 側 の 配 管 ・ ・ ・ ・ ・ … ’… = ・
6.
4 電 源 の 接 節 ・ ・ ・ ・ … 。 . 一 一 .
一
.一
一 一 . .
6. 4. 1 単 相、 0.40kW お よ び 0.55kW モ ー タ の 場 合
6・ 4- 2 三 相、 O-5亨kW お よ び O-75kW モ ー タ の 場 合
6-1
6-I
6-1
6-I
6-2
6-2
6-3
6-3
.6-4
6-4
6-6
6-6
(V)
7 運 転 と 保 守 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ …
7.
1 始 動 及 び 停 止.
・ ・ ・ ・・ ・ ・ ・ ・ …
7. 2 ガ ス バ ラ ス ト バ ル ブ の 操 作 ・ ・ ・ …
7.2. 1 水 分 が 混 入 し た オ イ ル の 再 生 ・ …
7. 2. 2 凝 縮 性 の 蒸 気 を 排 気 す る 場 合 ・ ・
7.3 高 圧 力 領 域 で の 排 気 [P> 100Pa] ・
7.
4 酸 秦 の 排 気 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ …
7.
5 オ イ ル の 保 守 ・.
・ … 一 ・ ・ ・ …
7一、
5-
1 オ イ ル 交 換 時 揮 の 判 定、・ ・ ・ ・ ・ …
7.
5.
2 オ イ ル 交 換 手 順 ・ ・ ・ ・ ・ ・ …
7.
5.
3 オ イ ル フ ラ ッ シ ン グ ・’
・ ・ ・ … 一 ・
.7
.5
.4
’オ イ ル の 種 類 の 変 更 ・ ・ ・ ・ ・ ・ …
7,
6 フ ロ ン ト シ ー ル の 交 換 ・・ ・ ・ ・ ・ …
7. 6. 1 フ ロ ン ト シ ー ル 部 の 取 り 外 し ・ ・
7. 6 . 2 フ ロ’シ ト シ ー ル の 部 再 組 立 ・ ・ ・ …
7-1
7-1
7-1
7-1
7-2
- 7-3
7-4
7-4
7-4’
7-5
7-6
7-7
7-8
-7- 8
7-8
8 分 解 ・ 準 浄 お よ び 再 組 立 ・ 一 ・ … 一 ・・ ・ ・ ・ …
8. 1 モ ー タ 側 の 取 り 外 し …一・
一 8.
2 オ イ ル ケ ー シ ン グ 部 の 分 解 ・. ・ … 1 ・ ・
8. 2..1 ガ ス 六 ラ ス ト バ ル ブ の 分 解 ・ ・ …
8二 2. 2 オ イ ル レ ベ ル ゲ ー ジ の 分 解 ・ ・.: 一 ・ ・
8.
3 ボ ン プ 本 体 部 の 分 解 ・.… 1 ・ ・ ・ …
8. 3, 1 ポ ン プ 本 体 部 の 取 り 外 し ….・ …
8.
3.
2 ポ ン プ 本 体 部 の 分 解 ・ ・ ・ ・ ・ ・ …
8.
4 及 ・ 排 気 口 の 分 解 ・ ・ ・ ・ ・ ・・ ・ ・ ・・ … . ・
8.
4.
1 吸 ・・ 排 気 口 の 取 り 外 し 一・ ・
8.
4. 2 ス ト ヅ パ ー (14) の 取 り 外 し ・ ・ ・ …
8.
5 部 品 の 洗 浄 ・.
・ ・ … H ・ ・ ・ ・ …
8.
5.
エ メ タ ル 部 品 の 洗 浄 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ …
8. 5. 2 オ イ ル レ ベ ル サ イ ト グ ラ ス の 洗 浄 …
8.
6 シ ー ル 部 晶 の 交 換 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ … ’
8.
6.
工 O リ ン I グ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ …
8. ◎ .
2 軸 シ ー ル ( 交 換 手 順 ) ・ ・ ・ ・ ・ ・ …
8.
6.
3 フ ロ ン ト ガ ス ケ ッ ト ・ ・ ・ ・ ・ ・ …
8-1
8」1
8-2
8-2
8-2
8-2
8-2
8-2
8-4
8-4.
8-4
8-4
8-4
8-5
8-5
8-5
8-5
8-6
(v)
8 7 再 組 立 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ …
8.
7.
1 組 立 前 の 注 意 ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ …
8.
7.
2 ポ ン プ 本 体 の 組 立 ・ ・ ・ ・ ・ …
8. 7. 3 オ イ ル ボ ン プ の 再 組 立 ・ …
8.
7. 4 ガ ス バ ラ ス ト バ ル ブ の 再 組 立 …
8. 7. 5 オ イ ル レ ベ ル ゲ ー ジ の 再 組 立 ・
、・ ・
8. 7. 6 ポ ン プ モ ー タ 側 の 組 立 ・ …
8-7
8-7
8-8
8-8 ,
8-8
8-8
8=9
9. 保 守交 換 部 品 ・ 一 ・ 9-1
1O一.ト ラ ブ ル シ ュ r テ ィ ン グ 一 ・ ・ 一 ・ 一 一 ・ ・ 一 1 0 - 1
IL 修 理・オ ー バ ー ホ ー ル に 関 し て ・ ・ … 11一工
巻末
付 表.
1 オ イ ル 性 能 表 =・ 。・ ・ ・ ・ ・ ・ …
付 表.
2 ポ ン プ 構 成 部 品 妾、
・.… 一・ ・ …
符 図.1 各 構 成 部 の 名 称 ・ ・ ・ … 一 ・ ・
付 図一
2 漂 準 形 ポ ン プ 外 形 図.・ ・ ・ …
、・ ・
付 図.3 シ ャ フ ト シ = ル の 装 着 方 向 ・ …
付 図.4 穣 準 型 ボ ン プ 断 面 構 造 図 ・ ・ …
付一1
付一2
付 一7
付一8
・付 一9
付一10
(孤)
■ . ネ既 …婁
アルカ テル ロー タリ ポン プ(RP)は、真空分 野 全般 で幅 広く 使用 さ れて い る油 回 転真 空 ボ ンプ です。
大気 圧か ら王O■1Pa台 の 中真 空領 域 まで の あら ゆる 圧 力領 域で 使用 可能 で、 低真 空~ 中 真 空ポ ン プと
して、 また 高・超 高真 空系 の粗 引 き ポ シプと して、 ある いは 油拡 散真 空 ポ ンプ、 タ ー ボ 分子 ポ ン プ等
の補 助ポ ンプと して広 く ご使 用 いた だ けます。
ア ルカ テ ル標 準 型 RP は 窒 素の よう な 中 性の ガス や 通常 g 大気 の 排気 を 主 目的 と して設 計 さ れた
一 般用 途 向けの ポ ン プです。 ア ルカ テ ルR P は、 回 転翼 型(ゲー テ型)の 2段 式 ポン プで、 以下 の よう
な 多く の特 長を 有 して いま す。
ユ) モ ー タ 直 結 型 の 軽 量、 コ ン パ ク ト・な ボ ン プ で す。
2) ハ ン ドル が収 納 式に なっ て いま すの で、 配 管作 業 が容易 で す。
3) 超病 密な 機械 加工 に より、 低 振 動・ 低 騒音 を実 現 してい ま す。
㌧ 4) 新 設計 の才 イ ル 逆流 防止 機構 に より、ポン プ毎 止 時の才イ ル逆 流防 止 の信 頼佳 が 一段 と 向上 し
て い ま す。
5) ガスバラ スト バ ルブ を備 え、 水 蒸気 を多 量 に合 んだ ガス の 排気も 可 能で す。
6) 到 達圧 力 に優 れ、 安 定 した排 気 性能 を発 揮 しま す。
7) 吸 気 口 ・ 排 第 口 の フ ラ ン ジ は、 NW25 ク イ ッ ク カ ッ プ リ ン グ フ ラ ン ジ と な っ て お り、 真 空 配 管
や アク セサ リ部 晶 への 接 続が 容易 です。 ま た、 吸・排 気 口共 に ポン ブ側 面へ の 取り 付け も 可能’
で す。 一
8) ス テー ダ やフ ラ テ ジ 等の 主 要 部品 の 組 み立 て 精度 は 合わ せ ピンに より 正 しく 管理 さ れて い ま
す の で、 ボン プの 排気 性能 を 変え るこ とな く、 誰に でも 簡 単に 分解・鯉立 や部 品 の交 換 修理 が
行 え ま す。
9) モータ 側 シャ フ ト シー ルは バイ ト ン製 で、 ス リ ーブ 溝造 とな って いま す。 シー ル 寿命 と 信頼性’が 向 上 し て い ま す。 .
10) 見やす い 縦形 オイ ル レベ ル ゲー ジが 採用 さ れて いま す。
11) 給 油 口に サー ビス ポ ー トが 追加 され て いま すの で、 オイ ルクリ ー ナー キN2ガ スパ ー ジ配 管の㌧接続が 容易 で す。
I-1
2 仕ヒ 権含
2-1 標準 型 ロー タリ 回 転翼 型(ゲー テ 型)2 段 ポン プ仕 様
表 2.1-1 標 準 型 ロ ー タ リ ー ポ ン プ ‘ 那
型 名 M2005 T2005 M20工0 T2010 備 考
形 式 回転翼型(ゲーテ型)2段
設 計 排 気 速 度 〔撤3/h〕
〔L/nin〕
51’4 / 6, 5
9 0 / 1 0 8‘
9. 7 / 1 1.
6
1 6 2 / 1 9 3
50/60Hz 時
実 行 排 気 速 度 ・〔m3/h〕
〔L/皿in〕
4.8 / 5, 7
8 0 / 9 5
8. 5 / 1 0..2
1 4 2 / 1 7 0
50/60Hz 時
byPNEUROP 法
到 達 全 圧 力
〔Pa〕
が スバ ラスト閉 I〈 2 x l O ■1※ 1
ガスバラスト開 〈 1
到 達 分 圧 力I〔Pa〕 く 1 × 1 0-z
※ 2
最 大 許 容 排 気 口 圧 力 〔Pa〕 1.
3 x 1 0 5
最 大 水 蒸 気
処 理 量
処 理 分 圧 3. 5 x l 0 3
/ 2. 5 x 1 0 3
2. 0 x 1 0 3
/ 1. 5 x.1 0 3
50/60Hz 時
〔Pa〕
処 理 量 〔g/h〕一1 2 0 / 1 1・0 1 3 0 / 1 0 0
吸、 排 気 ロフ ラ ンジ NW 2 5(IS O ) アル ミ 合 金製
騒 音 値 〔dBA〕 5 0 / 5 2 5 ! / 5 3 50/60Hz 時
by PNEUROP 法
所 要 油 量 〔L〕 0. 8 3 O.
9 5
モ ー タ 入 カ 定 格 1 φ
100/200
50/60
3 φ
200 ・
50/60
1 φ
100/200
50/60
3 φ
一200
50/60
※ 3
〔V〕
〔HZ〕
モ ー タ 定 格 出 力 〔kW〕 0. 4 0 0.
5 5 O.
4 0 0 . 5 5
モ ー タ 回 転 数 〔rp皿〕 1 5 0 0 / 1 8 0 0 50/60Hz 時
重 量 〔 ㎏〕 2 3, 0 2 0, 5 2 4
.3 2 工
.・8
使用 環 境 温度 ・ 湿度 1 0 ~4 0 ℃・ 9 0% 以 下
1
仕様
※ 1 到 達 全 圧力 ぱ、 オ イ ルの 蒸気 分 圧 を合 む も ので、 N回01L-SS (州ELVA 漂準 鉱物 油)を用 い測 定
し た 値 を 示 し ま す。 (PNEUROP 法 に よ る。)
※ 2 到 達 分 圧 力 は、 オ イ ル と
.し て NEOIL-SS (ANELVA 標 準 鉱 物 油) を 用 い、 液 体 窒 素 ト ラ ッ プ を 使
用 し て 測 定 し た 値 を 示 し ま す。 (PN㎜ ROP 法 に よ る。)
※3 出 荷 時・ 単相 モ ータ は 100V 入 力 仕 様 に結 線さ れ てい ます。
2-1
表2.1-2 標 準型 ロ ータ リ ーポ ン プ 仕様
型 名 H2015 T2015 H2021 T2021 備 考
形.
式 回転 翼 型(ゲー テ 型)2段
設 計 排 気 速 度 〔m3/血〕
〔L/㎜in〕
1 5.0 / 1 8..0
2 5 0 / 3 0 0
2 0.7 / 2 4.
8
3 7 5 / 4 1 3.一
50/60H乞 時
実 行 排 気 速 度 〔m竃/h〕
.〔L/田i・〕
1 2. 5 / 1 5. 0
2 σ 8 / 2 5 0・
1 6. 5 / 2 0. 0
2 7 5 / 3 3 3
50/60Hz 時
byP㎜UROP 法
到 達 全 圧 力
〔Pa〕
ガ スバ ラスト閉 < 2 x 1 0-1
※ 工
カ“スハ
“ラスト 開 く 1
到 達 分 圧 力 〔Pa〕 < 1 x 1 0 ■2※ 2
最 大 許 容 排 気 口 圧 カ 〔Pa〕 1.・3 x 1 05
最 大 水 蒸 気
処 理 量
処 理 分 圧 工. 2 x ! 03
/ 1. O x 1 0 3
7. 0 x 1 0 2
/ 5.
0 x i 02
’50/60Hz 時
〔Pa〕
処理 量 〔g/h〕 1 10 / 10 0 90 /7 5
吸、 排 気 ロフ ラ ンジ N W2 5(IS O ) ア ルミ 合金 製
撃 音 値.
〔dBA〕 5 2 / 5 5 5 2 / 5 6 50/60肋 時
byPNEU昆0P 法
所 要 油 量I
〔L〕 O . 9 5 O.
9 8 .
干 一 夕 入 力 定 格 1 φ
100/200
50/60
3 φ
200
50/60
1 φ
100/200
50/60
3 φ
200
50/60
※ 3
〔V〕
〔Hz〕
モ ー タ 走 格 出 力 〔kW〕 O . 5 5 0 . 7 5・ 0. 5 5 O. 7-5
モ ー タ 回 転 数 〔rpm〕 ! 5 0 0 / 1 8 0 0’ 50/60Hz 時
重 量. .
〔 ㎏ 〕 2 8、.
β 2 6,
9 2 9,
5 2 8.
一1
使 用 環 境 温 度 ・ 湿 度1
1 0 ~ 4 0 ℃ ・ 9 0 % 以 下
※ !
※’2
※ 3
到達 全圧 力 ぱ、 オイ ルの 蒸 気分 圧を 合 むも ので、 NEOIL-SS (ANELVA 標 準鉱物 油)を用 い測定
し た 値 を 示 し ま す。 (PNEUROP 法 に よ る。)
到達 分 圧 力 ぱ、 オイ ル と しで 胴0IL-SS (ANELVA 標準鉱 物 油)を用 い、 液体 窒素 ト ラッ プを使
用 して 測 定 した 値を 示 しま 丸 (PNE口ROP 法 によ る。)
出荷 時、 単相 モ ータ は 100V 入力 仕 様 に緒 線さ れ てい ます。
2-2
一2.
2 モ ー タ 仕 様 詳 細
表2-2 に穣 準モ ー タの 仕 様の 詳 細を 示 しま す。 電 源 の容 量 や 電源 ケ ーブ ルの 容 量 を決 め ると
きの 参 考 と して下 ま い。
表 2.2 モ ー タ の 仕 様
※ 1 100V/200V の 切 換 え は、 モ ー タ の ス イ ヅ チ ボ ッ グ ス の 端 子 台 緕 線 の 変 更 に よ り 行 い ま す。
なお、 出荷 時 は 100V 入 力仕 様 に 結線 さ れ てい ま す。
『 { 】 ■ “ 』 1 ” ノ I一』 .. 小
モ ー タ の 品 名 O, 4 0 kW
単 相 モ ー タ
O. 5 5 kW
単 相 モ ー タ
O.
5 5 kW
三 相 モ ー タ
0. 7 5 kW
三 相 モ ー タ
モ ー タ の 種 別 単 相 コ ン デ ン サ 始 動 形.
コ ン デ ン サ モ ー タ
三 相 イ ン ダ ク シ ョ ン モ ー タ
外被構造 フランジ形開放形 フランジ形
全閉外扇形
定 格 出 力 〔kW〕 0. 4 0 O . 5 5 0. 5 5 O. 7 5
極数 4
福数 単 相 I一一 相入
力
定
格
電 圧 〔V〕 1 00 / 200 ※ 1 2 00
周 波数 田Z〕 5 0 / 90
電 流 値 〔A〕
50/60Hz 時
7.2/5,8;1OOV
3.6/2.9;200V
9.5/8一ρ;100V
.4.8!4.0;200V
2.8/2.6
13.
5/3.
2
同 期 直 転 数 〔rP皿〕 、1 5 0 0 / 1 8 0 0
定格の種別 連続定格
絶縁の種別 E種一
一1 1 ( ^ 、7 ノ ∩ ^ ^ ■一 一 、 』 r ↓ 生 セ 、 ⊥ } 」 ^ 一 ■ 」 ■^ .・’ … I
[注 意ユ モ ータ 始 動 時の 入 力電 流 は、 通常、 定格 電流 の 5~7倍 と なり ます。
2-3
3. 排 気原 理 と 各 部機 能 の 説 明3.1 回転翼 型 ロー タリ ポ ン プの 排 気原 理(1 段 の場 合)
図 3.1 に 回 転 翼 型 ロ ー タ リ ポ ン プ の 排 気 の メ カ ニ ズ ム を 示 し ま す。
1) 排気を 実 行す るた めの 基 本的 な構成 部 晶は 次の 三 つ です。
旬 ステ ータ
b) ロ ー タ
C) べ一 ン(翼 板)
: 吸 気 口と 放 出弁 を傭 えた シ リ ン ダー 容器 です。
: ステ ー タ 内で 回転 する こ と によ り排 気動作 を 実行 します。 ロ ー タ の 中心 は、
ロー タ 上部 が ちょう どス テー タ に 接す る よう に設 定さ れて いま す。
: 2 枚 で対 を な し、 回 転に 合わ せて ロー タ 内 をスライ ド して 動 き ます。 端 面
が 常 にス テ ータ 内壁 に接 して い る よう に 中間 にス プリ ン グが 組 み 込ま れて
い ま す。
ガ ス
ぺ 一 ン 1一
’ス テ ー タ
吸 気 口 放 出 弁!
口 」 夕吸 気
ぺ 一 ン 2 ぺ 一 ン 1
ス ブ リ ン グ圭逆↑繍口
昌 ←放蜥
難 螂図I3
.1 回 転 翼 型 ロ ー タ リ ポ ン プ の 排 気 メ カ ニ ズ ム
2) 排気 のメ カニ ズム ぱ4 工 程に 分 げて説 明 でき ま す。 (図3.1 参照)
a) 吸 気 1 べ 一 ン1 とロ ー タ、 ステ ータ で囲 ま れた 空 間 がロ ータ の回 転にっ れて 容 積 を 増 しこ
の 容 積に 見 合っ た ガ スが吸 気 口よ り吸 引 さ れま す。
b) 移 送 : べ 一 ン2 が吸 気 口 を通 過 した時 点 で吸 気 の 工程 が終 了 しま す。 ロ ータ の 回 転 に つれ
て、 2枚 の べ一 ンの 間に 閉 じ込め られ た ガ スは 排 気口の 方へ 移送 され ま す。
C) 圧 縮 : 排 気 口 には放 出弁 が取 り 付け られ てい る た め、 移 送さ れた ガスは 放 出弁 が 開 くま で
の 問、 圧 縮 さ れ 続 け ま す。
d) 放出 : 圧 縮 され た ガス の 圧力 が十 分 に高く な る と、 放出弁 が押 し上 げら れて、 ガス が オイ
ル ケー シ ン グ内 へ放 出さ れま す。
3-1
3.2 2 段式 回 転翼 型 ロー タ リ ポン プの 概 要
ポ ン プを2 段 直列 に っ な げるこ と に より、 到 達圧 力 を 低く す るこ と が でき・ 中真 空用 牢 ンプと
して 十分 な性 能 を達 成 す るこ とが で きま す。1 段 目 ポ ンブ( 嘩 力 側)で 排気 苧 れた ガ ス は接 続の
ガス通 路 を通 っ て2 段 目 ポン プ(高 圧 力側)・に 吸引 され、最 終的 に2 段 目 の放 出弁 か ら大 気中 に放
出さ れ ま す。 大 気庄 か ら排 気を 開始 した 場 合な ど1 段 目 で排 気 き れた ガス の量 が 多 い 時は、ユ段
目 の放 出 弁か ら も ガスが 放 出さ れま す。
吸 気 口 放 出 弁
↓ ノ/排 気 口 小. 放 出 弁
/
し Uポ ン プ
ー
図3.2 2 段式 回 転翼 型 ロ ータ リ ポ ンブ の構 成
3. 3 オ イ ル
オイ ル は、 ポ ンプ が動 作 する 上で 重 要 な役 割 を ぱた して い ます。 オイ ルの 主な役 割は 次 の三 っ
で す。
1) 機 械 構成 部 品(軸 受、軸シ ー ル、ロ ータ、ス テ ータ、ぺ 一 ンな ど)の摺動 部 の 潤滑
2) 可動 部晶 間 の 隙間 の 真空 シー ル (ポ ンプ の到 達性 能 を左 右 しま す。)
・㌧ 3) 摺 動部 の 冷 却お よ び ボ ンプ部 か らオイ ルケ ー シ ン グヘ の放 熱媒 体
当 杜 では、 使 用 目 的に応 じ各種 の オイ ル を用 意 してお りま す。 排 気す る ガス の性 質 や 量を よく
検討 して、 適切 な オイ ルを ご使用 下 さ い。 (6.2項 参照)
β。4 潤 滑機 箪、 逆流 防 止機 構、 騒 音防 止機 構
・1) 滴 滑機 溝
ポ ン プ内 部の 潤 滑機 構 ぱ次 の通 り です。 (図 3.3 参照)’a) オ イ ル ポ ン プ (B) は、 オ イ ル ヶ 一 シ ン グ 底 部 (フ ァ ン に ょ り 冷 却 さ れ て ま す。 ) か ら、、
冷 郵 さ
れ た オイ ル(C)を吸 入 しま す。
b) そ の 後、 オイノレは逆 流 防止 弁部(7臥80,84)に入 りま す。 オ イ ル ボン プの 排出 圧 力 は、 ス ブリ
ン グ(84) に よ り 押 さ れ て い る メ ン ブ レ ン (79) を シ ー ト (80)か ら 押 し 上 げ ま す。 そ し て、 オ イ
ル 注 入経 路(A)を 経由 して ポ ン プ稼 働部 を潤 滑 レます。
3-2
c) オイ ルの 流動 圧 力 は、 ブ レー ド(87)に より調 整 され ま す。 ブ レー ドは、 排 気条件 に左 右さ れ
ずに オイ ル 流量 を 一定 に保 っ 役割 を 果た します。一余 っ た オイ ル は ブ レー ドを通 り、 ポ ンプ の
モ ー タ 側 ブ ッ シ ン グ 部 (D) を 潤 滑 し ま す。
い ① ⑦⑧ L ⑧
嚢 1
⑤oil
⑤ 肪 ⑧84
図 3.3 潤 滑 機 溝
2) 逆流防止機構
停 軍や 不意 の 事故、 あ るい は通常 の 操作 でポ ン プが停 止 した場 合、 放 出弁 及 びオイ ル 逆流 防止
弁 が瞬 時 に閉 ま ;て ポ ン プ容 嘉内 を 真空 に保 ち、被排 気 系(真 空 室や 主ポ ン ブな ど)内ぺ あ大 気や
オイ ルの 逆流 を 防 ぎま す。
オイ ル 逆流 防止 弁 め 動作 原 琴は 次の 通 りで す。 (図 3-3 参照)
a) ポン プ が停止 す る とオイ ルポ ン プ(B)も 停止 し、 オイ ル ポ ン プの 排出 圧カ が下 が りま す。
b) オ イ ル は、 ブ レ ー ド(87)、 ボ ン プ の モ ー タ 側 ブ ッ シ ン ク 部 (D) を 通 り、 放 出 さ れ ま す。
そ の ため オイ ル の 流動 圧力 が 下 がりま す。
c) メ ン ブ レン(79)ぱス プリ ン グ(84)によ っ てシ ー ト(80)に 押 し付け られ、 オイ ル注 入経 路(A)
へ の 逆流 を 防止 しま す。
㌔) 3) 騒音 防止 機 構
騒音 防止 機 構 ば次 の通 り です。 (図 3.3 参 照)
a) オイ ルポ ン プ(官)は オイ ル(C)を吸 入 し、 エアー 吸入 チ ュー ブ(82)の 端末 に は負 圧 が 生 じ、 エ
ア ー 吸入 チュ ー ブよ り 空気 を 吸入 しま す。
b) そ のた め、 オイ ル は ガス 化 しポ ンプの 騒 音値を 低 水準 に 保 ちま す。
3. 5 ガ ス バ ラ ス ト バ ル ブ
凝縮 性 の蒸 気(水蒸 気 な ど)を 排 気 した場 合、 高圧 力側(2 段 目)ポ ン プの r圧縮 過程」 で、 排 気
さ れた 蒸 気(水蒸 気な ど)が 飽和 蒸 気圧 以 上にま で圧 縮 さ れて 凝 縮 して しまう ため、 液化 物(水な
ど)が オイ ル 中に 混入 してオイ ルの 劣化 を まね き、 ポ ンプ の性 能 を低 下 させ ます。 ガス バラ ス ト
バ ル ブは、 高 圧力側(2 段 自)ポ ン プの 「圧 縮過 程」 で、 一 定 量 の大 気 をポ ン プ室内 に導 入 して凝
縮 性蒸 気 の分 圧を 下 げる 機 能 を持 って いま す。 これ によ り、 排 気さ れた 蒸 気が 飽和蒸 気 圧 以上 に
圧 縮さ れ るこ とが なく なり、 ポン プ室 内で の 蒸気の 凝 縮が 防 止 でき ます。
3-3
図 3.4 に ガ ス バ ラ ス ト の 原 理 図 と、 ア ル カ テ ル ロ ー タ リ ポ ン プ に 組 み 込 ま れ て亡、る ガ ス バ ラ ス
ト バ ル ブ の 構 蓬 図 を 示 し ま す。 ノ ブ (54) を 回 転 さ せ る こ と に よ っ て、 バ ル ブ の 開 閉 を 行 い ま す。、
r圧縮 過 程」 の 終 わ り では、・ポ ン プ室 内の圧 カ が大 気 圧 以 上に 法 るた め、 圧 縮さ れ た ガ ス やオイ
ルが大 気側 に流 出 しな い よう に 逆流 防止 機溝(バ ル ブ(60)及 びス プリ ン グ(61))が組 み 込ま れて
い ま す。
▲ 注 意I
飽 和 蒸気 圧 は、 ポ ンプ 室の 温度 が 低い 時よ g も高 い 時 の方 が 大き く なり ま寺。
従 って、 凝 縮 性 の蒸 気 を排 気 す る場合 は、 蒸 気 の 排 気去 始 める 前 に1 ~ 2H 予備 運 転 を 行
い、
ポ ン ブ の 温 度 が 十 分 に 高 < な っ て か ら 使 用 す る よ う に し て † さ い。、
な お、 ガ ス ベ ラ ス ト バ ル ブ を 使 用 し た 場 合 は、 到 達 圧 力 が 悪 く 吐 り (奉 2.1-1,2.1-2 参 照)
ポン プ各部 の 温 度も 高 く な る? で ご注 意下 却・。I(オイ ル温 度 で5~10℃ 程 高く な りま す。)
ln. 1≡κh.
AlRr脳
AlR’ 、 z〃嫁乏、 ∫ ∫
… .。
4.
一§1 ’
.
、勿乱
‘
..
一
・ . ・一’
4 /
・●●
修
㌶ク彩劣/
⑤60
一61
54
図 3.4 ガ ス バ ラ ス ト バ ル ブ
3-4
4一.各 構 成 部 の 説 明
本ポ ンプ ぱ・I以下 の 各部 か ら構 卒さ れて いま す μ 部 の 名 称 と機能 を 阜く 理:解 して下 さ・・パ 末 巻
の 付 図.1 参 照)
A :ポ ン プ本体 部
回転 翼 型(ゲー デ型)の2 段式 ポ ン プです。 (3.1 項、 及 び3,2項 参 照)
B : カ ッ プ リ ン グ
モー タ から ポ ンプヘ 回 転 去伝 達す るた め のカ ッ プリ ン グで、干 一タ 側 のカ ヅ プリ ン グ とポ ン プ
側 の フ ァ ン カ ッ プ リ ン グ で 構 成 さ れ ま すr
フ ァ ン カ
、ツ プ リ
.テグ は・ ボ ン プ 冷 却 用 の 空 冷 フ ァ ン と
一体 構 造に な? て いま す。
6 :モ _タ
ポンプ駆動角の ト タで 九 単相モータ と三相 ト タが選べ 苧 (… 項 参照).
D : モ ー タ ス イ ッ チ
・・/… の 押 しボ タ ンスイ ニチ を備 球 スイ ッ チボッ ク スで す。 本ス イ み の操 作 で ポ ンプの
、、㌘ 鮎
止ができま 午 モータヘの入㍗
電源岳1スイッチボ・クス内の端子台へ接続し 千
I
NW25 ク イ ヅ ク カ ッ プ リ.ン グ フ ラ ン ジ と な っ て い ま す。 (ア ル ミ 合 金 製)
F : 排 気 口
NW25 ク イ ッ ク カ ヅ プ リ ン グ フ ラ ニ ジ と 法 っ て い ま す。 (ア ル ミ 合 金 製)’
G±オイ ルヶ 一 シ ング
ポンプ本体部を内臓するオイ ル容器で 丸 アルミ合金製で外面に冷却ブ/ンが形成さ㍗
て亡・ま
す。
’
H :オイ ル レベル ゲL ジ(オイ ルサイ トグラ ス)
の ぞき 窓型 の 縦形 オイ ル レベ ルグー ジ です。
I: オイ ル 注入 口(2箪 所) .
H) ネ ジ の サ イ ズ は、
G 3/8 で す。 プ ラ ス チ ッ ク 製 の プ ラ グ が 取 り 付 け ら れ て い ま す。 .
J l オ イ ル 排 出 ロ
ネ ジ の サ イ ズ ぱ、 G 3/8 で す。 プ ラ ス チ ッ ク 製 の プ ラ グ カミ取 り 付 け ら れ て い ま す。
K 1 ガ ス バ ラ ス ト バ ル ブ
凝 離 の蒸気を排気す予時にこのぐ
ル ブを開く と・ポンプ内坪での蒸気の凝縮を防止できま 丸
(3.5 項 参照)
4-1
5 開梱と受 け入れ時の点検 及 び保管方法
5.1 開梱 と 受 け入 れ 時の 点検
1) 開梱
ア ル カテ ル ロー タ リ ポン プは、 厳 重な 検査 お よ び梱 包 の もと に 出荷 され てい ます が、 お 手元 に
届き ま した な ら、 注 意 深く 梱 包を 解 き、 外部 損 傷 が ない か、 溝成 晶 が揃っ て いる か な どの 点検を
行っ て 下さ い。 異 常の ある 場 合は、 直 ち に当社 営 業 ま た は代 理 店ま で ご連 絡下 さい。 な お、 出荷
時の 梱包 材 ほ・ 点 検 が終 わ るま で捨 て 叩こお き、 軸 があ っ た 場合 の 返品 の湊 に ご禾1用 下 さい。
2) 穣成晶
次 の 溝 成 品 が 揃 っ て い る こ と を 確 認 し て 下 さ・い。
a) ロ ー タ リ ポ ン プ 本 体 1 台 (出 荷 時、・オ イ ル は 充 填 さ れ て い ま せ ん。 )
b) N亘0IL二SS オ イ ル (1L 缶)
一1 個
㌧) C) 取 扱説 明書 1部
5, 2 保 管 方 法
△ 注意
受 け入 れ たiコータ リ ポ ン プを 一時 即に 保管 す 亭 場合 は・ 以 下 に従 って 下 さい。
1) 室 温 の変 動の 少 ない、 湿 度 の低 い場 所 で保 管 して 下 さい。 ま走、 ポン プ 内に ゴミ や 異物 が入 ら
な い よ う に・ 吸 ・ 排 気 口 に は 必 ず フ ラ ン ジ カ バ ー や ブ ラ ン ク フ ラ ン ジ を 敢 り 付 げ て 下 さ “、。 な お
保 管 時の 周 囲温 度 が5 ~4 0 ℃の 範 囲で あ れば、3 ヶ月 ま では 特別 な 方法 をと ら ずにそ の ま ま保
管 でき ま す。
し 2) 3 ヶ月 以上あ 長 期 に わた って ポ ン プを保 管 する 場 合
ポン プ 内に オイ ル を充 填 した 状 態で保 管 する こ と を強 く 推 奨 します。 後述 の 6項 及 び 7項に
従っ て、 オイ ル を充 填 し、 吸気 口 に ブラン クフ ラ ン ジを 取 り付 けた 状態 で1 H以 上 ボン プ を動作
さ せ 享 す・ ポ ン プ を 停 止 し た 後、 吸 ・ 排 気 口 を ブ ラ ン ク フ ラ ン ジ で 封 止 し て 保 管 し ま す。
3) 何 の処 置 も取 ら ず に6ヶ 月 以 上 ポン プを 放置 し た場 合
こ の場 合 は、Oリ ン グや軸 シ ール な どの シニ ル部 晶 や ポ ン プ内 に残 って いた オイ ルが 劣 化 して
い る こ と が 考 え ら れ ま す。 使 用 前 に 一 度 ポ ン プ を 分 解 し、 シ ー ル 部 品 (O リ ン グ、 軸 シ ー ル、バ
ルブな ど)の 交換 を 行って 下さ い。 (8項 参 照)
5-1
6 設置と運転準傭
本 項で は ポン プの 設 置及 び シス デム ヘ の接 続、 オイ ル の 充填 な どの 運転 準備 にっ い て説 明 しま す。
△ 注意
ロータ リ ポ ンプ の 動作 性能 ぱ、便 用す るオイ ル の 性能 や 真 空配 管 の性 能 に大 きく 左 右さ れ
ます。 また、 よ り 長期 に わた っ て安 全 かつ正 常 に率 ン プを 運 転す る に は、 定 期 的な オイ ル 交
’換 な どの保 守作 業 の 実施 が 重要 な ポイ ントと なり ま す。
. ポン プを 設置 する 前 に、 6 項、 7 項及 び 8 項を 良く 読 み、 用 途 に 最適 な使用 方 法 で運 転 し
て 下 さ い。
6.
1、
設 置
1) 設 置場 所ぱ、 床の しっ かり した水 平 な場 所を選 ん で下 さ い。 本 ポ ンプは、 べ 一ス プレ ー トに 4
個 の シ 当 ツ ク マ ウ ン ト (ゴ ム 足)を 傭 え、 そ の ま ま 据 え 置 き で き ま す。 ま た、 床 や フ レ ー ム な ど に
ポン プを 固定 した い 場 合は、 ショ ヅク マウ ン ト申央 の 通 し穴(φ 6)を用 い て ボル トで 固 定 して下
さ い。 (穴 位 置 は 巻 末 の 付 図.2 を 参 照 し て 下 さ い。 )
2) ポ ン プ部及 びモ ∴タ はフ ァ ンに よる 空冷 式で す。 通 気の よい、 周 囲 に 熱のこ も らな い場 所 に設
置 して 下 さい。 ポ シプの 許 容環 境 温度 は10~40℃ で すが、 ポ ン プ自 体が 拳熱 しま す の で、 蓮 転
中の周 囲 温度 が40亡 を 超 え ない よう に 考慮 して 下さ い。
3) 次の よう な 場 所へ の設 置 も遼 け て 下さい。
尋) 屋外 や水 滴の か かる 場 所、 極 度 に湿度 の高 い 場所(湿 度 90%以 上 は不 適当)
b) 酸 性、 ア ルカ リ 性 ガス な どの 有 害な ガスの ある 場 所
C) 爆 発 性、 可熱 性 ガス の ある 場 所
6.2 オイ ル の選 定と 充 填
6. 2. 1 オ イ ル の 選 定
オイ ル はポ ン プの 動作 上 重 要な役 割 を果 た して おり(3.3 項 参照)、 オイ ルの 性質 が ボン ブ
の 性能 を大 きく 左 右 しま す。 用 途 に応 じて、 次 の 点に 注意 して 下さ い。
!) 排 気す る ガス め化 学作 用、 腐蝕 作用 に対 する 耐 性
2) 希 望す る保 守イ ンタ ーバ ル(オイ ル交 換、 ポ ン プの オー バ rホ ー ルな ど)
3) コ ス ト(保 守の コ スト も 含め た総 合 的な コス ト 比較が 必 要 です。)
同 じポ ン プを使 用 す る場 合 で も、 使 用す るオ イ ル によっ て 到 達圧 カに差 が 生 じます。 到達
圧力 が、 オイ ル の蒸 気 圧や 粘 度、 気体 の溶 解度 な どに よっ て 左 右さ れるた め です。
6-1
特 に 合 成オ イ ルで は、 到達 圧カ が 非常 に 高く な って しまう も のが あ りま す の で、 ご注 意下
さ い。 当 杜 で 推 奨 す る オ イ ル を 巻 末 の 付 表.1 に 示 し ま す の で、 参 考 と.し て 下 さ い。
な お、 出 荷 時 に 当 社 標 準 オ イ ル と し て、NEOIL-SS(1L 缶) を 添 付 し て あ り ま す。・
6. 2.2 オ イ ル の 充 填 (巻 末 付 図.1 及 び 7.5. 2 項 参 照)
△ 注 意 ’
出荷 時、 ポン プ内 に オイ ル は充 填 され てい ま せ ん。 運転 前 に、 以 下の 手順 に 従 って 必 ず オ
イ ルを 充填 して下 さ い。
オイ ル の充 婁 作業 は、 ポン プを 停 止 レた 状態 で行 っ て 下さ い。
1) オ イ ル 注 入 口 の プ ラ グ(I) を 外 し、 オ イ ル 面 が レ ベ ル ゲ ー ジ の 皿aXim㎜1eve1 に な る ま で
オイ ル を 注入 しま す。
2) プラ グ(I)を 元通 り に 締め送 みま す。
オ イ ル レ ペ ル ゲ ー ジ
腱 意】。オイ ル レ ペ ル は、 血 痂 m m1eVeIm買1㎜ m-O耐
と血瞭 皿edi銚e1eve1の 間 で 管 襲 して 下 さ い。
工注意] ポンブを作動させるとオィルレペルが 若 干 変 動 し ま す が、 異 常 で は あ り ま 舳一m mlo.olせ ん。
図 6.1 オ イ ル レ ベ ル ゲ ー ジ
6.3 吸 ・ 排 気 口 の酋己管
本 ポ ン プ の 吸 ・ 排 気 口 は、 NW25 ク イ ヅ ク カ ヅ プ リ ン グ フ ラ ン ジ (ア ル ミ 合 金 製) で す。 ま た 吸 ・
排気 口そ れ ぞれ 垂 直、 水 平 方 向に 90口 向き を換 え て取 り 付 げるこ と が可 能です。’(図 6.2 参 魚)
NW25 ク ラ ン ブ 及 び NW25 セ ン タ ー リ ン グ (用 途 に 応 じ て、バ イ ト ン ま た は ネ オ プ レ ン O リ ン グ
仕様 があ り ます。)を用 い て、 目的 の配 管ま た は各 種 アク セ サリ と6 接 続を 行 って 下 さ い。 (ク ラ
ン ブ類は 別 途 ご用 命下 さ い。)
当 杜 で は、 NW25 の ス テ ン レ ス 製 フ レ キ シ ブ ル チ ュ ー ブ や 真 空 ゴ ム 管、 W25 ゴ ム 管 ア ダ ブ タ な
どの配 管 部 品も 用 意 して お りま す ので、 別 途 ご用 命下 さ い。
6-2
6,3 1 吸 ・ 排 気 口 の 移 動
a) 蝸 六 角 穴 付ボ ルト(皿頭)(110)を 取 り外 しま す。
牟) NW25 ク ラ ン カ セ ン タ ー リ ン グ、 NW25 ブ ラ ン ク フ ラ ン ジ な ど を 利 用 し て、 吸 気 口(11)ま た
は 排 気 口 (12)と O リ ン グ(13) を 取 り 外 し ま す。
c) ス ト ッ パ ー (14)と O リ ン グ (13) を 取 り 外 し、 吸 ・ 排 気 口 を 移 動 し て 下 さ い。
[注 意コ 吸 気 口 移 動 あ 際、 イ ン レ ッ ト フ ィ ル タ ー (16) も1司 時 に 付 け 換 え て 下 さ い。
㎞▼ 心
軌
止 、.
1・
1・
lo、 敏 I、.
r打4 ▼
動 h.
111.自 h
。.
1・◆
図 6.2 吸 ・ 排 気 口 取 付 図
6. 3.
2 吸 気 口 側 の 配 管
.1) 吸 気 口 側 配 管 は、 コ ン ダ ク タ ン ス を 十 分 考 慮 し て、 で き る だ け 太 く、 短 く な る よ う 設 計 し
㌧ て下 さ い。
2) 配 管 と 被 排 気 の 総 リ ー ク 量 は、.
で き・る だ け 小 さ く し て 下 さ い。 配 管 材 料 と し て は、 ス テ ン
レス 鋼 管 また はフ レキ シ ブル チ ュニ ブ、 真空用 ゴム管な どが 適当 です。
3) 被 排 気系(真 空室 や主 ボ ン プな ど)と の 間に、カッ トバ ル ブ を取 り付 ける こと を 推 奨 します。
特 に被 排 気系 を真 空に 保持 した まま一ロ ータ リ ポン ブを停 止 する 場合 は、 カ ッ トバ ル ブが 必要
で す。
ま た、 ポン プ停 止時 に吸 気 口 側配 管 内 をパー ジ するた め の ガス導 入 バル ブ を取 り付 け るこ
と も合 わ せて 推奨 しま す。
本 ポ ン ブは、 停 止時 に ボン ブ容器 内及 び吸 気口側 への 大 気や オイ ル の逆 流 防止 機溝 が備 え
られて い ます が、 長時 間 ポン プ を停 止 す るよう な 場合 は配 管 内を大 気 や窒 素 な どで、 パ ージ
して 下 さ い。 ポ ンプ容 器 内に 残 存す る オイ ルの 蒸 気が逆 拡 散 して 汚染 の原 因と な るこ と を防
ぐ た め で す。
6-3
ガ ス 業入 バル プ(リ ーク バル ブ)
被排 気系 グク ト等 へ
カ ブ ト’ζ’レ ブ
o 一 ク リ ポ ン プ.
図 6.3 配 管系 統 図
6.
3-3 排 気 口 側 の 配 管
▲’警 告
排 気 口 配 管 は、 配 管 内 や ボ ン プ 内 圧 力 が 最 犬 で 1.3x1O
-5Pa(ゲ ー ジ 圧 O.3 ㎏/㎝
2) を 越 え
な いよ う に、 配管 や 排 ガス 処理 設 備等 のコ ン ダクタ ンス を 十分 大 きく 敢 るよう に考 慮 しそ 下
さ い。 コ ン ダク タ ンス が 十 分で ない 場 合、 排 気 興 管や ポ ン プ内 が 加圧 され、 破損 す る危 険 性
が あ り ま す。
△ 警 告I
1ポ ン プ の 排 気 口 に 排 率 用 配 管 や ダ ク.ト、 あ る い は オ イ ル ミ ス ト
’エ リ ミ ネ ー タ を 接 続 す る 場
合は・ ポ ン プ排 気 rに 即 付 けて あ るエ キ ゾース.トバ ル ブ(15) 醐 り 外 して下 さい。 敢 り外
亭疹 い と、一
凝 縮 して 滴 下 したオイ ルが ポン プ内 に戻 ら ず、 配 管 内 に溜 まっ て しまい ま す。
配管 か ら.は オイ ルミ ス トや 排 気 した ガスが 放 出さ れ ま すの で、 ス テ ン レス 鋼 管や フ レキ シ
ブ ルチ ュ ーブ を 用い て、 必要 な ガス 処理設 傭 や ダク ト設 傭 に接続 して下 さい。 通常 ガス の排
気 には、一塩 ビの スパイ ラ ルチ ュ ー プな ども広く 用 い ら れて い ます が、 腐蝕 性 や 可燃 性 ガス の
場合 に は危 険 で すの そ 使用 しない で下 さい。.
6.4 電 源 の 接 続
▲ 警告
電気 配 線作 業 は、 有 資 格 者以 外は 絶 対行わ な いで 下 さ い。
配線 作 業 は、 必 ず 一次 側 電 源 を切 って か ら行 っ て 下さ い。 また、 作 業が 終了 す るま で は、ポ ン ブに 絶対 電源 を 供給 し ない で下 さい。
6-4
▲ 注意
モ ータ の 入力 定 格 を確 認 した上 で、 正 しく 電 源の 接 続を 行 って 下さ い。 単相、 三 椙モ ー タ
共 に、 モ ー タ 上部 の 銘板 に結 線方 法が 示さ れ てい ます の で、 指 定 に従 っ て下 さ い。
1) モー タヘ の 電カ は、 スイ ッ チ ボック ス 内の 端 子台 にA C 電 源を 接続 して行 いま す。 配 線材
の 端末 には、 圧着 端子 な どを 使用 して、 しっ かり と 固定 して 下さ い。
(端 子台 め 固 定ネ ジば 幽 です。)
2) モ ータ の 過 熱焼 損 防止の た め、 電源 入カ ライ ンに は必 ず 保護 回路 を 設 けて 下さ い。
△ 注意保護 回 路 と して は、 サー マ ルリ レー と、 モー タ ブ レーカ ー や ヒュ ー ズな どを併用 して 取り
付 け て 下 さ い。
三相 モ ータ を 使用 す る場 合は 欠梱 保 護付 サー マ ルリ レー を 使用 して下 さ い。
サ」 マ ル リ レー の設定 電 流値 は、 モ ータ 定格 に 一致 させ て 下 さい。
(表 6・1 に ヒュ ’ ズ・ ザ マノヒリ レー 付 電磁 開 閉器 の容 芋 の 実郡 を示 します ので・ 参 考 と し
.セ 下さ い。)
3) 必 ずア ー ス配 線を 行っ て下 さ い。 モ ータ 側面 の アー ス端 字([E]で 表 示、 M5ネ ジ)にアー ス
配 線 を行 って 下 さい。
4) 配 線材 や 配線用 しゃ 断器な どの容 量 は、 モー タ の入力 定 格 を十 分 考慮 した 物 を選 ん で下 さ
い。 各 配 線 部 品 の 容 量 の 目 安 を、 表 6.1 に 参 考 に 示 し ま す。
(虹 お、 モ ー タ の 入 力 定 格 は 表 2.2 を 参 照 し て 下 さ い。 )
表 6.1 配 線 参考 資 料
配線器具容量 保護回路容量
モ ー タ
.区 分
ヒ ュ ー ズ 容 量
入カ 電 圧
サ ーマ ルリ レー 付
電 磁開 閉 器の容 量配 線 の
太さ
遮 断器 /
開 閉器 の
容量回路
保 護用
モ ータ
保 護用.
開 閉 器
容 量
サーマルリト
容量 範 囲
100V 30A 20A 8A一
30A 5~8A0.40kW
単 相.20
δV 15A 15A 4A 15A 2~4A
100V 30A 20A lOA 30A 7~ 11A0,55kW
単 相 200V 2m2以 上 15A 15A 5A 15A
. 3~5A
0.55kW
三 相 I200V 15A 15A 3A 15A
2.2 ~
3.4A
O.75kW
三 相200V 15A 15A 4A I5A
2.8~
4.2A
[注 意1]
[注 意2コ
サー マ ルリ レー の設 定は、 入 力 電圧 及 び周波 数 を 考慮 して、 必ず モータ の 定 格電 流
値 に合 わせ て 下さい。
モ ー タ の 定 格 電 流 値 は、 表 2.2 を 参 照 下 さ い。
6-5
6. 4 1 単 相、 0.4kw 及 び 0,55 ㎞ モ ー タ の 場 合
1) 単 相、 100/200Vモ ー ダの 場 合 は、 出荷 時 100V入力 用 に 結線 さ れ てい ま す。
工00/200Vの 仕様 の 変更 は・ スイ ッ チ ボヅク ス 内 のモ ータ 側 端子 台 の 結 線の 変 更に よ り行 いま
す。 モー タ 上部 の銘 板 の結 線 図 に従 って モ ータ 側 の結 線 を変 更 して 下さ い。
2) 単相 モー タ g 回転 方 向 は、1既 に正 規の 方 向 に一 致さ せて い ます ので、 その まま ご使用 にな
れ ま す。
6. 4. 2 三 相 、
・ 0.55kw 及 び 0.75kw モ ー タ の 場 合
1) 配 線 後、 必 ずモ ータ g 回 転方 向を確 認 して 下さ い。 ポ ン プの 吸 ・ 排気 口 を 開放 にIした状 態
で、 数秒 聞 モー タ に通 電 し、 モ ータ の 回 転方 向が 正 しい か どう か 確 認 して 下さ い。 正 規の 回
転 方 向モま、ポ ン プ の オ イ ル ケ ー シ ン グ 側 か ら 見 て 反 時 計 回 り で す。
’・
モ ータ の 回転 方向 が 正 しい 場 合 は、 吸 気口 では 大気 を吸 入 し、毎 気口 では オイ ルミ ス ト と
共 に 吸引 した 大 気が 放 出さ れ ま す。.) 2) ト タの甲転方向が逆の場合は; 三相入力のうちの二相を入れ換えて・ 回転 岬 を正しく
.合 わ せて 下さ い。
▲ 注意入 カ 電圧 は、 必 ず定格 電圧 に 合 わせ て 下さ い。や むを 得ない 場 合は、 定 格 電 圧 ±1 0 %以 内 でかつ 入力 電 流 が定 格 電流 値 以 下に な=る よう
に し て 下 さ い。
※i サ ー マル リIレニ な どを 用 い・ 必 ず定 格 電師 値 で過 電流 保 護 を行 って 下 さい。
汰2 入 力 電圧 が 定格値 を 外 れ た場 合 は、 モ ータ ーの 発熱 が 犬 きく な りま す。 使崩 条 在 にも
よ り ます が± 5 %の 変 動 で もモ ータ ー温 度 学 10 ℃程 高く な り、1違 続 運転 が 保証 で きな
く な る こ と が あ り ま す。
6-6
7. ま重車云 と 保 守
7.1 始 動 及 び停 止
1) 始動前の点検
ポン プの 運転 を始 串 る前 に、 オイ ルの 量 と汚 れを 点 検 して 下 さい6 (7.5項 参 照)
また、 モ ータ の 配線 や 吸・ 排気 口 の 配管 が 正 しく 行 わ れて い るこ と も点 検 して 下 ざい。 ポン プ
の使 用 環境 温度 はlO~40℃ です。 10℃ 未 満で はオイ ルの 粘 度 が高く、 過負 荷 と なり ポ ン プが回
転を 開始 しない こ苧 が あり ます の で、 運 転前 にポ ン プの オイ ル ケ ーシ ン グ部 の 痘度 が、10℃ 以 キ
であ るこ と を点 検 して下 さ い。
△ 注意フ ッ 素 化オイ ル を使 用す る 場 合、 フ ッ 素化 オイ ル の低 温 時の 粘 度特 性が 鉱物 油 よ り非 常 に
高 いた め、 オイ ル ケー シ ン グの 温度 が 15℃ 以下 では、 ポ ンプ の始 動 を行 わ ない で下 さ い。
ま た、 フ ッ素 化オイ ルを用 い て 低 温(15℃ 以下)で の 始動 を 行う 場 合に、 数 10㏄ のフ ッ 素化
オイ ル(ポ ン プ油 と同 一の物)を ポ ンプ 吸気 口 より 加 える と、 始 動 時の 潤滑 を助 け 始動 を スム
ー ズ に 行 う こ と が で き ま す。
2) ポ ン プの始 動
ポ ン プ の 始 動 ・ 停 止 は、 モ ー タ 上 部 の 押 ボ タ ン ス イ ヅ チ を 操 作 す る こ と に よ っ て 行 え ま す。 ON
ボタ.ンを 押 し、 ポン プが 主 制三動 作を始 め る とと を 確認 して 下 さい。
運転 開始 後、油 温の 上 昇に 伴う オ イ ルの 体 積膨 張や ボン ブ内 への オイ ル の循 環 な どδ影 響 で、
オイ ル レベル が変 動 しま すが 間 題 はあ りま せ ん。 従って、 オイ ルの 充填 を 正 しく 点 検す る 場 合は
ポ ン プが 停止 した 状態 で 行っ て 下 さい。
ポ ンブの 動 作に 異常(到 達圧 力 不 良、 過 熱、 異 音 の発 生 な ど)が 生 じた場 合 は、 後 述 の 「ト ラプ
ル シ三 一テ ィ ン グ」 を 参照 して 下 さ い。 (10墳 参照)
3) ポン プの 停 止
㌧ ボン プを 停 止する 場 合 は、 OFF ボタ ン を押 して 下さ い。
吸気 口側 配 管 にカ ッ ト バル ブ 及 びガ ス導 入 バル ブ(リ ーク バ ル ブ)が ある 嘉 合は、ま ずカ ッ トバ
ル ブを 閉 じて から ポン プ を停止 し、 ガス 導入 バ ル ブを開 け て配 管 内を リーク します。 本 ポ ンプ に
は 逆流 防 止機 構が 備え られ てい ま す の で、通常 は ポン プ停 止 時に 吸気.口 側配管 内 をリ ーク す る 必
要 はあ りま せ んが、 長 時間 ポ ンプ を停 止 させ る よ’う な場 合 は、 オイ ル蒸 気の 逆拡 散に よる 汚染 を
防 ぐた め に吸 気口 側配 管 内をリ ーク す るよう 推 奨 しま す。
7.
2 ガ ス バ ラ ス ト バ ル ブ の 操 作
7.2
.1 水 分 が 混 入 し た オ イ ル の 再 生
新品 の ポン プや 長期 間ず っ と 運転 してい なっ かた ポ ン プでは、 保 管 中に ポン プ 内で 水分 がI 凝 縮 し て い て、 動 作 さ せ る と 水 分 が オ イ ル 中 に 混 入 し て、 オ イ ル が 自 濁 す る こ と が あ り ま す。
(通 常、 ポ ン プの到 達圧 力が 悪く なり ま 丸 )
7-1
こ の場 合 に ぱ次 のよう な 操作 で、 オイ ル の再 生 が 行え ま す。
1) ポ ン プ吸 気口 を 閉 じた 状 態で、 1H 程 度 ポン プ を運 転 しま す。
2).次 い で、 ガ ス バ ラ ス ト バ ル ブ を 全 開 に し て、 O.5~1H ボ ン プ を 運 転 し ま す。
以 上 で 再生 の操 作 は完了 です。 ガメ バラ ス トバ ル ブを 閉 じ、 到達 圧 力が 正 常 な レベ ルに回一
復 して いる こ と 宇確 認 して 下 さ い。 な お、 こ の 操 作を 行 っ.て も 到達 雫力 が 回復 し ない 時はオ
イ ル を 交 換 し て 下 さ い。 (7. 5. 2 項 参 照)
7.2,2 凝 縮性 の 蒸 気を 排気 する 場 合
凝縮 性 の 蒸 気を 多く 排気 す る 場合、 凝 縮 物が オイ ル 中に 混入 して、 オイ ル の 劣化 及 び ポン
ブ の性 能 低 下(特に到 達 圧力 不 臭)を引 き 起 こ しま すご.
こ のよ う な 場 合は、 ガ ス バラ ス トバ ル
ブの 操 作 も合 め て、 次 のよう な 処 置が 必 琴 です。
’)
ユ) 配 管 及 ぴ アクセ サ リ に関す る 注 意妻 項
カ オイ ル ミ ス ト 干リミネ ー タ ぱ、 凝 縮物 に よっ て 目詰ま り を起 こ し易 く、 ポン プ排 気 口側
の 過圧 の 原 因と なり ます の で、 便 用.しな い で 下さ い
?こ の キう な 場合 に はコ ン デ ンセイ
シ ョ ン ト ラ ッ プ を 使 用 し て 下 さ い。 (図 7-1 参 照)
ち) 排気 口 の 直上 に長く 垂 直 な 配管 を行 わ ない で 下 さい。 こ れは、 配管 内で 凝縮 物 が ポ ンプ .の オ イ ル ケ ー シ ン グ 内 に 戻 っ て し ま う の を 防 ぐ た め で す。 (画 7.1 参 照)
C) 吸 気 口側 に 冷却一トラッ プ を設 げて、蒸 気成 分 を ポ ンプ の前 段 で 除去す る 方法 も あ ります。
4小
1刷81 ■…汀I1. 一nIo量 1…”h.
1・ 、岬
図 7.1 湊縮 性 蒸気 排 気 時の 排 気 口側配 管
2) 運転中の注意事項
定 期 的 にオイ ル レベル を点 検 して 下 さい。 オ イ ル レベル が 上昇 する 場合 は、 凝姑 物 がオイ
ルケ ー ジ ン グ内に 蓄積 してい る 証拠 で す。 3)項 の手 順 に 従っ て 取り 除いて 下 さ い。
7-2
3) 排気後の処理方法
a) 目 的の 排 気系 か らポ ンブ を取 り外 し、 吸気 口 を閨 じた 状態 で ガ ス バラス ト バル ブを全開
に し、 0-5~ 岬 ポ ン ブ の 運 転 を 行 い、 オ イ ル の 再 生 を 行 い 羊 す。
b) ポ ン プ を 停 止 し、 オ イ ル 排 出 口 の ブ ラ グ を 開 け、 底 部 に 溜 っ た 凝 縮 物 を 排 出 し ま。す。 凝
縮 物 の排 出 が終 りオイ ルが 流 出 し始 め た ら、 プラ グを 閉 じた 上 でこ 注入 口 か ら新 しい オイ
ル を補 充 します。
[注 意1] フッ索 化 オイ ルの よ う に比 重 の大 きい オイ ル を使 用 した 場 合 は、 凝 縮 物 の方 がオ
イ ル の上面 に溜 る場 合 が あり ます の で ご注 意下 さい。
[参 考1] 事 前に、 オイ ル排 出 口 に適 当 なバ ル ブやフ ィ ッティ ン グを 取り 付 けて おく と 便利
で す。
c) 以 上 の 操 作 を 行 っ て も ポ ン プ の 性 能 が 回 復 し な い 場 合 は、 7.5.
2 項 及 び 7,
5.
3 項 に
従 っ て オ イ ル の 交 換 ま た ば オ イ ル フ ラ ッ シ ン グ を 行 っ て 下 さ い。
[注 意2コ ボ ンプの 最大 水蒸 気 処理 量(表 2.1-1及 び表 2.1-2 参照)を越 えな い 範囲 で、 水蒸
気 を合 んだ ガス を排 気 する よう な 場合 は、 ガスバ ラズ トバ ル ブを 開け なが ら運 転 を
行う こ とで、 ポ ンプ 内 での 水 蒸気 の凝 縮 を防 ぐこ と がで き ますg 但 レ、 ガス バラ ス
ト バ 々ブを 開けた 状 態 では・ 到 達 圧力 が 悪く なり ます の で ご注 意下 さ い。 ・
▲、警 告
犬気中g酸索や水蒸気との接触で、 燃焼や有害な化学反応を生 じるガスを排気する場合は
ガス バ ラス ト バル ブ を開け ない で 下さ い。
7.3 高 圧 力 領 域 で の 排 気 [P>100 Pa]
ポ ン プ を高 圧力 領 域(P>100Pa)で 長時 間運 転す る 場合 や、 矢 気圧 か らの 排気 を 頻繁 に 行う場
合な どには、 多 量の オイ ルミ ス トが 放 出さ れ、 オイ ルの 減少カミ著 しく な り ます。 こ の 場合 は 排気
口 に オ イ.ル ミ ス ト エ リ ミ ネ ー タ を 取 り 付 け 香 こ と に よ っ て、 オ イ ル ミ ス ト を 捕 獲 し、 オ イ ル の 減
少 を 抑 え る こ と が で き ま す。
ま た、 この よ うな 高圧 力条 件で の 運 転時 は、 オイ ル レベル の点 検 を 良く 笑 施 し、 オイ ル が 不足
した 状 態で 運 転を 行わ ない よう に して 下 さい。
▲ 警告
凝 縮 性 の 蒸気 や 化合物 を 多く 排気 す る用 途や 可 燃性 ガ スな どを 排気 する 用 途、 ま た 酸素 分
圧 の高 い ガスを 排 気する用 途で ぱ、 オイ ルミ ス ト エリミ ネ ータ を 使用 しない で下さ い。
7-3
7. 4 酸 素 の 排 気
酸 素分 圧 の高 い ガス を 排気 す る場 合 は、 次 の点 に注 意 して 下 さ い。
1) オイ ルの 選択
鉱物 系 の オイ ル は可 燃 性で あり、 かつ 排気 ρ過 程 で酸 化 され て 容 易 に劣 化 します の で、30% 以
上の酸 素 を 含む 混合 ガ スや 純 酸素 を 排 気す る用 途に ぱ 鉱物 系の オ イ ル を壷 用 しない で下さ い。
こ のよ う な用 途 には、 フ ッ 素 化オイ ル(F0鵬L1N、 鵬YTOXな ど)が 最 適で す。 別益 当 杜ま で お 問
い 合 わ せ 下 さ い。’
なお、 排気 する ガス の量 が少 な い場 合 に ぱ、一耐酸 化 性を 高め た 炭 化氷 素系 の 合成 オイ ル(当 杜
NEOIL-SSC、巻 末 の 付 表.1 を 参 照)も 使
一用 で き ま す。
2) 不浩 性 ガス パー ジ の実 施
ポン プ 内や 排気 口側 の 配 管設 傭 内に 酸素 が 滞留 す るの を防 ぐた め に、窒 素雫の 不 活 性ガ スで、
ポ ンプ のオ イ ルケ ーシ ン グ 内を パ ージ して 下 さい。 パ ージ ガス流 量 ぱ、 排 気する 酸 素 ガス流 量 の
) 5倍 程度 必 要 です。
ガスの 導 入 は、 オイ ル 注入 口(接 続口 :G3/8)を利 用 して 下 さ い。
7. 5 オ イ ル の 保 守
オイ ル ? 量と 質 ぱ、 ポ! プの 性 曄 と寿 命に 大き な 影響 を 及 ぼ しま す。 帝に最 適 な条 件 でポ ン プ
を 軍用 す る ため に、 オイ ル レベ ル ゲー ジ を通 して 定 期的 にオイ ル の 量と 質を 点検 し、与イ ル の補
充 や寒 換 を 正 しく 行 って 下 さ い。
1) オイ ル の 減少 量ぱ、 ポ ン プの 使用 条 件(使用圧 力 や 排気 回数、 運 転 時 間な ど)に依存 しま す。 高
圧 力領 域 で運 転 を行 った り、 大 気圧 か らの 排気 を 頻繁 に 行っ た 場 合 ぱ、 オイ ル の減 少 が早く なり
ま す。 こ の よ う な 場 合 は、
特 に、 オ イ ル レ ベ ル の 点 検 を 確 実 に 実 施 し て 下 さ い。
2) ポン ブ の運 転を 始 める 前 に必 ず オイ ル の量 と質(汚 れの 程 度)を 点検 し、常 に正 しいオイ ル 状態
で運 転 を 開始 して 下 さい。)3) オイ ル交 換 の時 期 ぱ、 オイ ルの 性 能、 排 気す る ガス の性 質 や量、 運 転 条件 な どに よっ て変 化 し
ます。 ポ ン プの到 達犀 力 と油 の 汚 れを 常 に監視 し、 適 切な オイ ル 交換 時 期を判 断 して 下 さい。
(7,511 項 参照)
7. 5. 1 オ イ ル の 交 換 時 期 の 判 定
1) 到 達 圧力 によ る判 定
ポ ン プの到 達 圧カダ 正常 な 時 ≒比 較 して 高く なっ た ら・ オイ ルを 交 換 して 下 さ い。
ポ ン プを 目的 の排 気系 に組 み 込み、 系 全 体の到 達 圧力 で 測 定す る 場 合は、 あ ら か じめ オイ
ル が 正 常な 状態 で系 全 体の 到 達圧 力 を記 録 して お き、 こ れ よ り到 達 圧力 が高 く.なっ た 蒔に オ
イ ル交 換 を 行っ て下 さ い。
7-4
こ の 場合、 必 要に 応 じて ポン プ 単体 の 到達 圧力 を 測 定 し、 系 の到 達 圧 力 の 上昇 が ポ ンブに
起 因 して い る か どう か を確認 して か ら行 って 下さ い。
なお、 オ イ ル によ って 到達 圧力 に差 が あり ます の で ご注意 下 さい。
2) オイ ルの 汚 れ によ る判 定
レベ ルゲ ー ジ を通 し で 定期 的 にオイ ル の色 を点 検 して 下さ い。 新 しい オイ ルの 色(通常、
無色 ~淡 黄 色)と 比較 した 変色 の 度 合に よ って、 オイ ル の劣 化の 程 度 がわ か り ます。 オイ ル の
色が 茶色 あ る いは 黒 みが かっ た 色に なっ た 時 は、 オイ ルが 劣 化 して い る華 拠 です。・7. 5. 2 項 に 従 っ て オ イ ル 交 換 を 行 っ て 下 さ い。
な お、 添 加 剤の影 響 で新 油 の 状態 で着 色 して い るオイ ル が 市販き れて い ます が、 こ の よう
なオイ ル を 使用 さ れて いる 場 合は、 色 に よ る 汚れ の判 定は 困難 で寺。
3) オイル交換時期の目安
鉱物 系 の オイ ル を使用 した 時の 標準 的 吐 オイ ル の交 換時 期
・ 研 究、 実験用 真 空装 置
・ 生 産用 真 空装 置、 真 空 蒸着 装置
・ 管 球 排 気装置
・ 熱 処 理、 溶 解、 治 金
・ 真 空 乾 燥、 食 品 関係
6 ヶ 月 ~ 1 年
3 ヶ 月 ~ 6 ヶ 月
3 ケ 月
1 ヶ 月 以 内
1 週 間 以 内 一
こ れ ら は あく ま で目 安です の で、 実 際 に ほ到 達圧 カや オイ ル の量 と 質を 点検 す る こと に.
よっ て、 用 途 ごとに 適切 な交 換 時 期を 判 定 して下 さ い。
7. 5.
2. オ イ ル の 交 換 手 順
.オイ ル の排 出及 び交換 は、 オイ ルの 温 度 が高い 時 に行う と スム ー ズ にで きま す。 ポン プの
真空 配 管 を取 り 外 し、 吸・排 気 口 を犬 気 圧に 開放 した状 態で 作業 を 行っ て 下さ い。
(図 7.2 及 ぴ 巻 末 の 付 図.1 参 照)
1) モ ータ 側 を少 し持 ち 上げて、 ボ ンプ を 傾け ます6
2) オイ ル 排 出口 の プラ グ(J)を 外 し、 オイ ル ケー シ ン グ内のオ イ ル を排 出し ま す。
オイ ル が全 蔀 排出 でき た ら、 一度 プ ラ グ({)を 元通 り に取 り待 け、 吸 気口 を犬 気 に 開放 し
たま ま 約 10 秒 間ポ ン プを回転 さ せて 下 さ い。こ の操 作 でポ ンブ室 内 部に 残っ て いた オイ ルを
排 出 す る こ ζ が で き ま す。
3) プラ グ(J)を 再度 外 し、 オ イ ルを 完 全 に排 出 します。
4) プラ グ(J)を 元通 り に組み 込 みま す。
7-5
⑧1=i一‘ Plug
⑤D閉in p1ug
葵一
ug .
々 一
、鉦
一 一 i 一 一
口
図 7.2 オ イ ル の 排 出
以 上 でオ イ ル g排 出 は 完了で す。 オイ ル 注入 口 の プラ グ(J)を開 け、 新 しい オイ ル の充填
を行 って 下 さ い。(ポン プを 水平 な 状蝉 に戻 して か ら、新 しい オイ ルの 充 填を 行 づ て下 さい。)
排出 したオイ ルの汚れが薯しい場合(オプ ルがほと乍ど雫色に近い場合や固形物が多く混
入 し て い る 場 合 な ど) は・ 7. 5. 3 項 に 従 っ て rオ イ ル フ ラ ヅ シ ン グ」 作 業 を 行 っ て 下 さ い。
7, 5. 3 オ イ ル フ ラ ッ シ ン グ
オイ ルの 汚 れが 著 しい 場合 は、 通 常の オイ ル交 換 宇 行っ ても ポ ン プ内 部 に異 物 が付 着 して
残る た め、オイ ル 交 換後 数 時間 も経 た ない う ち に再 びオ イ ルが 汚 れて しまう こ と があ りま す。
こ の 場 合 に ぱ以 下 のよう な フ ラッ シ ン グ作業 を 行 い、 ポ ン プ内 をオイ ル で 洗 浄 デる と効 果
が あ り.
ま す。
1) 7-5-2 項の 手 順 に従 って 汚れ たオ イ ル を排 出 した後、 オイ ル排 段口と 注入 口の プラ グを
閉 め て お き ま す。
2) 新 しい オイ ル を ポ ンプ油 量の 1 台分 用 意 しま す。 ポン プの 排気 口 に布 な どを あ て がっ てオ
イ ル の飛 散を 防 ぎな が ら(オ イ ルミ ス トを 嫌う 場 合 は、 捧気 口 を ダク トに 接続 して 下さ い。)、
吸 気 口 を開 放 して ポ ンプを 回転 さ せ、 用 意 した 新 しい オイ ル をゆ っく り と吸 気 口 か ら注 ぎ込
み ま す。
3) ポ ン プ を 停 止 し、 フ ラ シ ン グ オ イ ル を 排 出 し ま す。 (7. 5. 2 項 参 照)
こ の 時排 出 され た オイ ルの 汚 れが 著 しけ れ ば、 再度 2)項 のフ ラ ッシ ン グを 行っ て 下 さい。
以 上で フ ラ ッ シン グ作 業は 完了 で す。 オイ ル排 出口の プラ グを 元通 りに 閉 め、 新 しいオイ
ル を充 填 して 下さ い。
7-6
7. 5. 4 オ イ ル の 種 類 の 変 更
ア ル カ テ ル ロ ー タ リ ー ポ ン プ は、NEOfL-SS(巻 末 の 付 表.1 参 照) と 同 等 の 鉱 物 系 オ イ ル で、
運 転試 験を 行 った 上 で 出荷さ れ ていま す の で、ポ ン プ内 に鉱 物系 オイ ル が 若干 残っ て います。
当杜添 付 g NEOlL-SS 以外 の一オイ ル を使 用 する 場 合 は・ オイ ル の種 類に 応 じて、 以下 の手
順 に従っ て 下 さい。 な お、 従 来 使用 して いた オイ ル を 他の も の に変更 す る場 合 も 同様 です。
1) 鉱 物系 の オイ ルを別 の 鉱物 系オイ ル に 変更 す る場 合
例:NE0壬L-SS → NEOIL-S に変更す る 場 合
新 し い オ イ ル を 用 い て、 7. 5. 3 項 の 手 順 に 従 っ て オ イ ル フ ラ ッ シ ン グ を 1 回 行 う だ け で
充 分 です。 帯別 な 処置 は 必要 あり ませ ん。
2) 鉱物 系 の オイ ル をフ ツ.素化オイ ル(パ ーフ ル オロ ポリ ェー テ ル)に 変 更する 場 合
例 :NEOlL-SS → FOMBL 州、 KRYTOX な ど の パ ー フ ル オ ロ ポ リ エ ー テ ル に 変 更 す る 場 合
これ らの フ ッ 素化 オイ ルは、 鉱物 系の オイ ル と は 異な る特 徴 的な性 質 をも っ た高 価 なオイ
ル で、 通 常。 ア ルカ テル CP型ポ ン プと組 李 合わ せ て特 殊 な用 途 で便用 さ れま す が、 標 準型 の
ポ ン プ で も 使 用 で き ま す。. こ れ ら の オ イ ル に 鉱 物 オ イ ル が 混 じ る と 自 濁 す る と と も一に、鉱 物
オイ ル が混 在 す るこを によ って 合成 オイ ル のも つ 特性 が生 か され なく なる 場 合 が多 いの で、一
こ の場 合に は以 下の 手 順に よっ て ポンプ を 分解 ・ 洗浄 しセ 下 さい。
a) ボンプ を 完 全に 分 解 し、 部 品を 洗浄 して 下 さい。 (8項 参照)
’b) シ ール 部 吊(Oリ シグ、 シャ フト シ ール、 バ ル ブな ど)は全 てケ ミカ ル 型R P のシ ー ル部
晶(シ ー ル キ ッ ト ;P/N 065611) に 交 換 し て 下 さ い。 (8 項 参 照)
三。c) ポ ン プ を 再 組 立 し ま す。 (8 項 参 照)
こ の 際、 セ ン ト ラ ル ジ ェ ッ ト(33) :P/N 053474 は 必 要 に 応 じ て 取 り 外 し て 下 さ い。
(巻 末 の 付 図.4 及 び 表 10.1 第 5 項 参 照)
d) 新 し い オ イ ル を 充 填 し て、.作 業 は 完 了 で す。
’)
[注 意1コ 鉱 物系 オイ ルを 炭化 水素 系の 合戒 オイ ル(例:NECIL-SSC)に変 更す る場 合 も、 フッ
素 化 オイ ルの 場 合と 同様 な理 由 で、 ポ ンプの 分 解・洗浄が 必要 です。
[注 意2コ 合成 オイ ル か ら鉱物 系 オイ ルに 変更 す る場 合 は、 オイ ルプ ラッ シ ン グによ る 洗浄
を 1~ 2 回行 う だけ で十 分で す。
7-7
7・ 6 フ ロ ン ト シ 』 ル の 交 換 (巻 宋 の 付 図.3 及 び 4 参 照)
ポン プシャフ ト シー ル部 に オイ ル 漏れ が 発生 した 場 合、モ ータ 側 の軸 シ ー ル(20)の 交 換が 必要
で す。 必 要 な キ ッ ト と し て、 フ ロ ン ト シ ー ル キ ッ ト (P/N 065875) を 用 意 し て あ り ま す。
7. 6,1 フ ロ ン ト シ ー ル 部 の 分 解
a) 作 業を 容易 にす るた め に、 モ ータ(90)を上 に して ポ ンプ を 直立 させ ます。
b) 2 個 の M6 六 角 穴 付 ボ ル ト(104)を 外 し、
べ 一 ス (3) を 敢 り 外 し ま す。
c) モ ータフ ラ ンジ(5)を固 定 して いる 4 個の M6六角 穴 付 ボル ト(101)を 外 しま す。
〔干 意] ボ ル ト(101)は・ 吸 ’排 軍F側 の 2 倒ま・ ハ ン ドル ガイ ドチュ ー ブ(・・)と・ べ一 ス プ レ
ー ト 側 の 2 個 ぱ、 φ 6 ワ ヅ シ ャ ー (115) と 締 単 込 ま れ て い ま す。
d) ハ ン ドル(10)を外 しま す。
e) モ ー タ フ ラ ン ジ (5) と モ ー タ (90) を 垂 直 に 取 り 外 し ま す。
一
[注意]セ ン トラ ルハ ウジ ン グ(1)と モ ータ フ ラン ジ の間 にあ る 合わ せ ピ ィ(71)を 紛失 しな い よ㌔) う 注 意 し て 下 さ い
。
f) M5 六 角 穴 付 ボ ル ト(107) と ワ ッ シ ャ ー (42) を 外 し、 フ ァ ン カ ッ プ リ ン グ(6)、 シ
=ヤ フ ト キ ー
(27)を 取 り外 しま す。
・) ワ ッ シ ャ ー (・・)、 シ ョ ル ダニ
リ ン グ (芋4)、 O リ ン グ(・5) を 外 し ま す。
h) フ ェ ル ト(9) を 外 し ま す。
’) 2個 のM6六角 穴 付ボ ル ト(105)を † し1
シ’ ル†
ル ダー(19)と O’十ン グ(1・)を取 り外 レま
す 。
j) 8- 6 項 に 従 っ て、 シ 」 ル ホ ル ダ ー か ら シ ャ フ ト シ ニ ル (20) を 外 し ま す。
7-6- 2 フ ロ ン ト シ ー ル 部 の 再 組 立
、
a) 8. 5 項 に 従 っ て、 メ タ ル 蔀 品 を 洗 浄 し ま す。 こ の 際 都 品 に 傷 な ど な い こ と を 確 認 し て 下 さ
}、。 (傷な どあ る場 合 は、 必 要に 盾 じ修 理ま た は、 交換 して 下さ い。 ,
b) 8.6 項 に 従 っ て、 シ ー ル ホ ル ダ ー に シ ャ フ ト シ ニ ル を 取 り 付 け ま す。
一.
c) 7・6・1 項の 逆の 手’I甲で 再 組立 を 行っ て 下さ へ 再秤 立 の 際・ジー ル部 晶を す べて 交換 す
る こ と を 推 奨 し ま す』一
7-8
8 分 解・ 洗 浄及 び 再 組 立
▲ 警告ボ ン ブの保 守作 業1こ際 して は、 排 気 した ガス の毒 性、 腐 蝕 性、 放 射 性 な どを考慮 し必要 に
応 じて 次 のよ うな 保 護措置 を と り、 作 業 者の 安全 に十 分 注意 して 下さ い。1) 作 業 前に ポ ンブお よ び配 管設 傭 内 の 不活 性 ガスパ ー ジを 実 施 して 下 さい。2) 保 護 衣、 保 護 手袋、 保 護メ ガネ、 保 護マ スク な どを 着用 して下 さ い。3) 作 業場 を十 分 換気 し、 必 要に 応 じて フー ド付 の ドラフ タ ー設 備 内 で作 業を 行っ て 下さ
い。
4) 廃油 な どの 残留 物は 回収 して、 適切 な 方法 で処 理 しで 下 さい。
通常 の 保守 はオイ ル交換 ある い は オイ ル フ ラッ シ ン グを行う だ けで 十分 です。 しか しほこ りを
含 んだ ガスや腐 蝕 性 ガス を長 雫間 排 気 した 辛 う な場 合は、 ポ ンプ 内 に異物 が沈 積 し、 オイ ル フラ ヅ・) シ ン グだ けで は 回復 しない よう な 機 能 低下 を 生 じるこ と があ りま す。
こ の 場 合は ボ ンプを 分解 し、 全部 晶 を洗 浄 す るこ とが 必要 で す。 メ タ ル都 品 は、 ト リク ロ ルエタ
ンな ど の適 当な 溶剤 で 洗浄 します。 また、 シ ール部 晶 は必 要 に応 じて 交 換 しま す。
ア ル カ テ ル R P は 講 に で も 蓉 易 に 分 解、 組 み 立 て が で き ま す。 各 ス テ ー タ、 フ ラ ン ジ な二ど の 主 要
溝 成都 晶 間 の組 み 立て精 度は 合わ せ ピン に より 正 しく 管理 され て いま すの で、容 易 に元 通 づの 性能
を 再 現す る こと がで きます。 また、 作 業 に特 殊 な工 具を 必要 と しま せ ん。
巻 末 の 付 図.4 お よ ぴ 付 表.2 を 参 照 し な が ら、 以 下 の 手 順 に し た が っ て 作 業 を 行 っ て 下 さ い
。 な
お、 分 解 作 業 の 前 に ま ず オ イ ル ケ ー シ ン グ 内 の オ イ ル を 抜 き 敢 っ て 下 さ い。 (7.
5.
2 項 参 照)
8. 1 毛 一 タ 側 の 敢 り 外 し
a) 作 業 を 容 易 に す る た め に、 モ ー タ (90) を 上 に し て ポ ン プ を 直 立 さ せ ま す。
I
b) 2 個 の M6 六 角 穴 付 ボ ル ト(104) を 外 し、 べ 一 ス (3)を 取 り 外 し ま す。
c)一モ ータ フ ラ ンジ(5)を 固定 して い る 4個 の M6六 角 穴付 ボル ト(m)を 外 します。
[注 意] ボ ル ト(101)は、
吸 ・ 排 気 口 側 の 2 個 は ハ ン ド ル ガ イ ド チ ュ ー ブ (70) を、べ 一 ス 側 の 2 個
ぱ φ 6 ワ ッ シ ャ ー (115) を 共 締 め し て い ま す。
d) ハ ン ドル(}0)を外 します。
e) モ ー タ フ ラ ン ジ (5) と モ ー タ (90) を 垂 直 に 取 り 外 し ま す。
[注 意コ セ ン トラ ルハ ウジ ン グ(1)と モー タ フ ラン ジの 間に ある 合 わせ ピン(71)を 紛失 しな いよう
注意 して 下さ い。
f) 脆 六 角 穴 付 ボ ル ト (107) と ワ ッ シ ャ ー (42) を 外 し、 フ ァ ン カ ッ プ リ ン グ(6)、 シ ャ フ ト キ ー(27)
を取 り 外 しま す。
g) ワ ッ シ ャ ー (26)、 シ ョ ル ダ ー リ ン グ (24)、 O リ ン グ(25) を 外 し ま す6
h) フ ェ ル ト (9) を 外 し ま す。
i) 2 個 の 蝸 六 角 穴 付 ボ ル ト (105) を 外 し、 シ ー ル ホ ル ダ ー (19) と O リ ン グ (21)を 取 り 外 し ま す。
j) 8- 6 項 に 従 っ て、 シ ー ル ホ ル ダ ー (19) か ら シ ャ フ ト シ ー ル (20) を 外 し ま す。
8-1
8.
2 オ イール ケ ー シ ン グ 部 の 分 解
a) 作 業 を 容 易 に す.る た め に、 オ イ ル ケ ー シ ン グ (2)を 上 に し て ポ ン プ を 颪 立 さ せ ま す。
b)・4 個 の M6 六 角 穴 付 ボ ル ト (103) を 外 し、 オ イ ル ケ ー シ ン グ(2) と O リ ン グ(17) を 取 り 外 し ま す。
8.
2.1 ガ ス バ ラ ス ト バ ル ブ の 分 解
a) 2 個 の M4 六 角 穴 付 ボ ル ト(108) を 外 し、 ガ ズ バ ラ ス ト カ バ ー (53)、 ノ ブ (54)、 ス プ リ ン グ
(59)ス リー ブ(58)を 取り 外 しま す。
b) 2個 の M4六角 穴付 ボル ト(108)を 外 し、 ケ ー ス ブッ シ ング(52)と 0 リ ン グ(57)を取 り 外 し
ま す。
c) ガ ス バ ラ ス ト チ ュ ー プ (55) と O リ ン グ (47) を 取 り 外 し ま す。
〔注 意] ガス バラ ス トバ ル ブの 再 組 立は、 オイ ルケ ー シ ン グ(2)を セ ント ラル ハウ ジ ン グ(1)に
取 り 付 け た 後、 行 っ て 下 さ い。 (8.
7. 4 項 参 照)
1 8- 2- 2 オ イ ル レ ベ ル ゲ ー ジ の 分 解
a) オ イ ル サ イ トーグ ラ ス カ バ ー (68) を 外 し ま すら
b) 2個 の M4 六衝 穴 付ボ ル ト(皿 頭)(111)を外 し、 レベル プ レー ト(66)、 オ イ ル レベ ルサイ ト
グ ラ ス (65)、 O リ ン グ(69)を 敢 り 外 し ま す。
8..
3 ポ ン プ 本 体 部 の 分 解
8. 3.士 ポ ン ブ 本 体 部 の 取 り 外 し
⊂注 意] 本 項は、 ポ ンプ 本体 の み取 り 外す 場 合 です。 ボ ンプ 本 体部 を 完全 に分 解 した い場 合 は、
8. 3.2 項 を 参 照 し て 下 さ い。
a) 4 個 め M6 ナ ッ ト (113) を 外 し ま す。
b) フ ロ ン ト プ レー ト(18)に 設 けて あ る 2ケ 所の 溝 に、 2 本 のマイ 十 ス ドライ バー を、 そ れぞ
れ 差 し 込 み ま す。 ド ラ イ バ ー を 同 時 に ひ ね る こ と に よ り、 フ ロ ン ト プ レ ー ト と セ ン ト ラ ル ハ
) ウジ ン グ(1)の 合 わ せ ピン(71)を 外す こ と がで きま す。 ポ ン プ本 体部 を垂 直 に抜 き 取りま す、
8.
3,
2 ポ ン プ 本 体 部 の 分 解
1) オイ ル ポ ンプ の分 解
a) 2個 の醐6六 角 穴付 ボ ルト(104)を 外 し、 オ イ ル ポン ブカ バ ー(76)を取 り 外 しま す。
b) ワ ッ シ ャ ー (85)、ア ン チ サ ッ ク バ ッ ク ピ ス ト ン(81)、 ス プ リ ン グ (84) と 共 に シ リ ン ダ ー (78)
を 外 し ま す。
c) マ イ ナ ス ド ラ イ バ ー を 利 用 ← て、 メ ン ブ レ ン (79) を 外 し、.オ イ ル フ ィ ル タ ー (56) を 外 し ま
す 。
d)12㎜ のソ ケッ ト レンチ を使 用 して、 シー ト(80)を取 り外 して 下さ い。 シ ール 面を 傷っ けな
い よ う に O リ ン グ (83) を 外 し ま す。
[注 意] シー ト(80)組 み 立て 時 に は、 圧 縮空 気 な どをジ ェ ッ ト都 に 吹き 付 けて、 汚 れ や詰 まり
を な く し て 下 さ い。
8-2
e) カ ウ ン タ ー ブ レ ー ド(88)と ブ レ ー ド(87) を 外 し ま す。
[注意] カ ウ ンタ ー ブ レー ドの 組 み 込み 方 向 を、 取り 外す 前 に確 認 して 下さ い。
f) 磁 石 を 利 用 し て、 オ イ ル ポ ン プ ピ ニ オ ン (77) を 外 し ま す。
2) バ ル ブカバ ー(49)の 敢り 外 し
a) 2個 の M6六 角 穴 付ボ ルト(102)を外 し、 バ ル ブカ バー(49)を 取り 外 しま す。
b) バ ル ブ(50)と バル ブス プリ ン グ(51)を 取り 外 します。
3) リア プ レー ト(37)の 敢り外 し
a) 4 個 の M6 ナ ッ ト (i13) を 外 し ま す。
b) リ ア プ レー ト(37)とHPス テ ータ(34)の 接触 面 に設 げて ある 2ケ 所 の 溝 に、2本 のマイ ナス
ドライ バー をそ れ ぞ れ差 し込 みま す。 ドライ バー を同 時に ひ ねる こ と によ り、 リ ア プ レー ト
と HP ス テ ー タ の 合 わ せ ピ ン(71)を 外 す こ と が で きIま す。
HP ロ ー タ (35) を 落 と さ な い よ う に 注 意 し て、 リ ア プ レ ー ト を 垂 直 に 抜 き 取 り ま す。
[注 意]スプ リ ン グ(6工)と アンチ サ ッ ク バッ ク デバイ ス(60)を紛 失 しな いよう 注意 して 下さ い。
c) 0 1〕 ン グ(38)、 ア ン チ サ ヅ ク バ ッ ク デ バ イ ス (60)、 ス プ リ ン グ (61) を 外 し ま す。
4) HP(高 圧 : 旺igh Press皿re) ロ ー タ (35) の 取 り 外 し
a) 里P ス テ ー タ (34) に 沿 っ て 滑 ら せ な が ら、 HP ロ ー タ (35) を 引 き 出 し ま す。
b) HP べ 一 ン (36) と ベ ニ ン ス プ リ ン グ (31) を 外 し ま す。
5) HP ス テ ー タ (34) の 敢 り 外 し ’ ’
a) リ ア ブ レ ー ト (37)を 取 り 出 し た 時 の よ う に、 2 本 の マ イ ナ ス ド ラ イ バ ー を 用 い て 合 わ せ ピ
ン(71) を 外 し、
肥 ス テ ー タ (34) を 取 り 外 し ま す。
b) O リ ン グ(38)を 外 し ま す。
) 6) セ ン1トラ ル プ レー ト(32)の取 り 外 し
a) リ ァ ブ レー ト(37)を 取り 外 した 時 の よう に、 2 本のマイ ナ ス ドラ イ バ ーを 用い て 合わ せ ピ
ン(71)を 外 し; セ ン トラル プ レー ト(32)を取 り 外 しま 九
b) O リーン グ(38)を 外 し ま す。
[注 意] オ イ ル ジェ ヅ ト(33)は分 解 せ ず にそ のま ま洗 浄 します。 但 し、 組み 立て 時 は、 圧縮 空
気 な どを ジェ ッ ト部に 吹き 付 けて、 汚れ や 詰ま りを 取って 下 さ い。
7) 凡P(低 圧 : Low Pressurg)ロ ー タ (23) の 取 り 外 し
a) LP ス テ ー タ (29) に 沿 っ て 滑 ら せ な が ら、 LP ロ ー タ (23) を 引 き 出 し ま す。
b) LP べ 一 ン (30) と べ 一 ン ス プ リ ン グ (31) を 外 し ま す。
8-3
8) LP ス テ ー タ (29) の 取 り 外 し
a) リーア プ レ ー ト (37) を 取 り 外 し た 時 の よ う に、 2 本 の マ イ ナ ス ド ラ イ バ ー を 用 い て 合 わ せ ピ
ン (71) を 外 し、 LP ス テ ー タ (29)を 敢 り 外 し ま す。
b) O リ ン グ(38) を 外 し ま す。
9) フ ロ ン トブ レー ト(18)の敢 り外 し
a) リ ブ プ レ ー ト (37) を 取 り 外 し た 時 の・よ う に、
2 本 の マ イ ナ ス ド ラ イ バニ
を 用 い て 合 わ せ ピ
ン (71) を 外 し、 フ ロ ン ト プ レ ー ト (18) を 取 り 外 し ま す。
b) フ ロ ン ト ガ ス ケ ッ ト (22)を 外 し ま す。
b) ダ ブ ル ナ ッ ト を 利 用 し て、
4 本 の M6 ス タ ッ ド ボ ル ト (39) を 緩 め 取 り 外 し ま す。
8-4 吸 ・ 排 気 口 の 分 解
) 8.4.1 吸 ・ 排 気 口 の 取 り 外 し
1) 吸 気口(11)の 取 り外 し
a) M6.六角 穴 付ボ ル ト(皿 頭〉(110)を 取り 外 します。
b) W25 ク ラ ン プ、 セ ン タ ー リ ン グ、 ㎜25 ブ ラ ン ク
’フ ラ ン ジ
、 ニ ヅ ブ ル な ど を 利 用 し て、 吸 気
口 (11)を 敢 り 外 し ま す。
c) O リ ン グ (13) と イ ン レ ヅ ト フ ィ ル タ ー (16) を 外 し ま す。
2)1排 気口(12)の取 り外 し
6) 脆 六角 穴 付 ボ ルト(皿頭)(110)を 取 り外 しま す。
』)NW2gク ラン 六 セ ンター リ ン 久 W25 ブラ ンク フ ラ ンジ、 ニ ッ プル な どを利 用 して、 排 気
口(12) を 取 り 外 し ま す。
c) Oリ ン グ(13)と エ キ ゾース トバ ル ブ(15)を外 しま す。
、)8. 4. 2 ス ト ッ パ ー (14) の 取 り 外 し
a) 脆 六角 穴 付 ボ ル ト(皿 頭)(H0)を敢 り 外 しま す。
b) ス ト ッ パ ー(14) と O リ ン グ (13) を 取 り 外 し 享 す。
8, 5 部 品 の 洗 浄
8. 5. 1 メ タ ル 部 品 の 洗 浄
小 警告メ タ ル部 晶及 び べ Fン は適 当 な溶 剤 を用 い て 洗浄 して下‘さい。 な お、 溶剤 の 敢 り 扱 いに 際
しては、 溶剤 メ ー 力 一の 注 意事項 を 良く 守 り、 作 業 者の 安全 を充 分 考慮 して 下さ い。
8-4
1) 鉱物 オイ ル を使 用 した 場 合
トリ ク ロロ エタ ン な どの 溶剤 を用 いて、 浸 漬 及 びブ ラッ シ ン グ洗 浄を 行い ま す パ 布 な ど糸 く
ず の 出 る も の は 使 用 し な い で 下 さ い。 )’
2) 合成 オイ ル を使 用 した 場 合
トリク ロ ロ エタ ンーな どの 溶剤 を用い て 加 熱洗 浄す る か、 あ る いは オイ ルメ ー カ が 提供 する 洗
浄 剤 [フ ロ ン の 代 替 え 品、 フ ォ ン ブ リ ン の 場 合 は GALDENN(ガノレ デ ン) な ど] を 用 い て 洗 浄 し て
下 さ い。
洗 浄 作業 時、 各 部晶 の 外 観を 点検 し、 摩耗 や 破損 が ない か を確 認 して 下さ い。 著 しい摩 耗 や
破損 が ある 場合 は、 必 要 に応 じて 部 晶を 修理 また は交 換 して 下さ い。 特 にべ 一 ンや ス ブリ ン グ
類 に 注 意 し て 下 さ い。 (こ れ ら の 部 品 は、・保 守 部 晶 と し て メ ン テ ナ ン ス キ ッ ト に 含 ま れ て い ま す。
巻末 の 付表一2を 参照 して 下 さいg
)
\ソ ・
」
8,
5,
2 オ イ ル レ ベ ル サ イ ト グ ラ ス の 洗 浄
オイ ル レベル サイ ト グラス(65)は プラ スチ ック 製 で すの で、. アルコ ー ル類 で洗 浄 する こ とは
避けて 下さ いg適 当を 溶 剤を用 い て表 面の オイ ルや 汚 れを 拭 き敢 り(溶 紺に完 全 に 浸す こと は 避
はて 下さ い。 )、 そ の後 溶 剤 を洗 い流 して 下さ い。
8. 6 シ ー ル 部 晶 の 交 換
I通常、 ポ ンプの 分 解 組み 立て を 行う度 に、 シ ー ル 部 晶(O リ ン 久 軸 シ ール、 バ ル ブ、 ガ スケ
ッ トな ど)を全 て 交換 す る こと を推 奨 します。 も し、 シ ール 部 品を 再使 用 する 必要 が ある 場合 は、
傷 や変 形、 変質 な ど の異常 が な いこと を 良く 確認 した 上 で ご使用 下さ い。 シ ー ル部 品 の洗 浄 は、
直 接強 い 溶剤 に 浸漬 し たり しな い で、適 当 な溶 剤 を用 い て 表面 のオイ ルや 汚れ を 拭き 取 るよ う に
し て 下 さ い。
) 8,
6 1 0 リ ン グ
○リ ン グ表 面 に傷 や 割 れが ある もの は使 用 しな い で下 さ い。 また、 変形 して 断 面形 状 が楕 円
形 にな っ てい る も のも 不 適当 です ので、 交 換 して 下 さ い。
.8. 6. 2 軸 シ ー ル(交 換 手 順)
1) 古い 軸 シ ール の取 り 外 し(図 8.I 参照)
a) 軸 シ ー ルの 組 み込 ま れた 部 品(各 プ レー トな ど)を水 平 な 作業台 の 上 に置き ま す。
b) 当 て 金 と し て 軸 シ ー ル の 上 に ワ ッ シ ャ ー (φ 20x φ 12xt2) を セ ッ ト し ま す。
C) ワ ヅ シ ャ ー を 通 し て、 マ イ ナ ス ド ラ イ バ ー を 軸 シ ー ル の 下 に 差 し 込 み ま す。
d) ラッ シ ャー の 内側 を 支点 に し、 ドラ イ バ ー で軸 シ ー ルの 一方 を持 ぢ上 げる よう にして 引 き
抜 き ま す。
8-5
△ 注意
軸 シー ル 挿入 穴 の 内面、 各 プ レー トの土 ツ ジや シ ー ル 面 に傷 をつ け ない よ う 注 意 して 下さ
い6
2) 新 し い軸 シー ルの組 み 込 みく図8.2及 び巻 末 の付 図.3 参 照) ,
a) 軸 シー ル挿 入 穴の 内 面 の異物 や洗 浄時 の 溶剤 を 良< 取 り 蔭 きま す。
b) 挿入 穴 内面 と軸 シ ー ルの 全 面 に、 清 浄 なオ イ ル を薄 く 塗 布 しま す。
c) 軸 シ ー ルの 向 きを 正 しく セッ ト して 下 さい。 (巻 末 の 付図.3 参 照)
d) 軸 シ ール を 平行 に 挿 入 します。 図 8.2に 示 すよ う な 円 筒形 あ 挿入 治 具 を用 いて、 ブ レス で
組 み 込 んで 下さ い。 (図 8.2の ② 参照)
プ レス が 使用 で き ない 場 合は、 挿入治 具 の 上か ら ハ ン マー(木 製)そ 均等 に 少 しず つ口Pくよ
う に して、 軸 シー ル が傾 斜 しな い よう に挿 入 して 下 さ い。
8. 6. 3 フ ロ ン ト ガ ス ケ ッ ト
フ ロ ント ガス ケ ヅ ト(22)は、 ポ ン プ本体 を 分解 す る度 に必 ず新 しい もの に交 換 して 下き い。
新 しい ガス ケッ ト を取 り 付 ける 前 に、 シー ル 面に 付 着 して い る古 い ガス ケ ッ トの 破片 や 汚れ を
良 く 敢 り 除 い て 下 さ い。 な お、 フ ロ ン ト プ レ ー ト(I8)や セ ン ト ラ ル ハ ウ ジ ン グ(1) の シ ー ル 面 な
どは、 金属 製 の 工具 な どで擦 って 傷を 付は ない よう に して 下さ い。
▲ 注意
再組 立 の 際・ フ ロ シ トガス ケ ッ ト にはオイ ルを 塗 布 しな い よう に して 下 ざい。
’{
一x
図 8.1 軸 シ ー ル の 取 り 外 し
8-6
○プ レ ス な ど に チ ャ ッ ク で き る
外 形 と し て 下 き い。
必 24.5 士 O
.1
’
5.5 主 0
.2
恢mlmm 砺ク豚二三4一
\仏
図8.2 軸 シー ル挿 入治 具
8. 7 頁 組 立 ・
8- 7- 1 組 立 前 の 注 章
▲ 注意
ポ ン プの 組立 に使 用す るオ イ ル は、 ボン プ運転 用 のオイ ル牟使 用 して 下さい。,
組 み 立て 作業 は、 以 下ρ 点 に 注 意 して分 解作 業と 逆 の手 順 で行っ て 下 さい。
1) 規 み 立て 前 に、 圧縮 空 気な どを 吹き 付け る ことに よっ て 各部 晶 表面 の 溶剤 をよ く 乾燥 除 去 し
て下 さ い。 特 にネ ジ穴 や 合わ せ ピ ンの 穴、 オイ ルの 循環 用 の 穴に 溶剤 が 残 らない よ う注 意 して
下 さ い。
2) 各 構 成都 品(金属 部 品、 べ 一 ン、 O リ ン グ、 軸シ ー ルな どの ボ ンプ 内部 の 摺動 部 分や シー ル 部
分の 部 品全 て)の表 面 に新 しい ポン プオイ ルを 塗布 しな が ら、 組み 立 て を行 って 下さ い。
特 に 各 ブ レー トあ軸 受部 や 軸 シ ー ルには オイ ル を 良く 塗 布 して 下さ い。 ま た、 各 プ レー ト面
上の 軸 受部 へ 通 じてい る オイ ル 循 環用 の穴 に オイ ルを 満た して 下さ い。 但 し、 合わ せ ピン の穴
に ぱオィ ルを 一杯 に溜 めて しま わ ない で下 さ い。
8-7
8. 7.2 ポ ン プ 本 体 の 組 立
a) 組 み立 て 作業 は、 分解 作 業 と 逆の 手 順で 行 って 下 さ い。
b) ロ ータ と各 プ レー ト を組 み 込 む 際、 ロー タ 軸の 先 端 で軸 シ ール のリ ッ プ を傷 っ け ない よう
注 意 し て 下 さ い。
G) ロー タ およ び べ一 ン、 ス テ ー タを 互い に 組 み込 む 際、 ス テー タ の角 で べ一 ン を傷 つ け ない
よ う 注 意 し て 下 さ い。
d) 4個 の M6 ナッ ト(113)は 均 尋 に締 め 込ん で下 さ い。 ま た、 強 く 締め 遇 ぎな いよ う 注 意 して
下 さ い。 (締 付 ト ル ク ; 最 大 80 ㎏・㎝)
e) バル ブ(50)を取 p付 け る前 に、 バル ブ部 の開 口か ら、 ステ ータ 内にオ イ ルを少 量 注 ぎ込 ん
でお いて 下 さい。
8.7.3 オ イ ル ポ ン プ の 再 組 立
a) 組 み立 て 作業 は、 分 解 作業 と 逆 の手 順 で行 って 下 さい。’) b) カ ウ ン タ ー ブ レ r ド(88) の 取 付 方 向 を 確 認 し て 下 さ い
。(図 8.3 参 照)
c) シー ト(80)は 締め 過 ぎな い よ う 注 意して 下 さい。 (締 付 トル ク ;最 大100㎏・㎝)
⑤ ⑤.3ア
4甲 8
-3 カ.ウ ィ タ ー ブ レ ー ド 取 付 有 向
8.
7.
4 ガ ス バ ラ ス ト バ ル ブ の 再 組 立
、J [注 意] ガス バラ ス トバ ル プの 組 立 惇、 オイ ルケー シ ン グを 敢り 付 け後、 行 って 下 さ い。
a) オイ ル ケ ーシ ン グ(2)を セ ン トラ ルハ ウ ジ ン グ(1)に 脆 六 角穴 付 ボ ルト(103)で 取 り 付けま
す。 (締 付 ト ル ク : 最 大 80 ㎏・㎝)
b) ケー ス ブッ シ ン グ(52)と シ ー ル(57)を M 六角 穴付 ボ ルト で敢 り付 けま す。
(締 付 ト ルク :最 大 30㎏・㎝)
c) ガ ス バ ラ ス ト ス プ リ ン グ (59)、 ス リ ー ブ(58)、 ノ ブ (54) を 取 り 付 け て 下 さ い。
d) ガス バ ラス トカ バ ー(53)を M4六角 穴 付 ボル ト で取 り付 け ます。
(縮 付 ト ル ク ; 最 大 30 ㎏・c皿)
8. 7. 5 オ イ ル レ ベ ル ゲ ー ジ の 再 組 立
a) 組み 立て 作 業は、 分解 作 業 と 逆の 手 順で 行っ て 下さ い。
b) 2 個 の M4 六 角 ボ ル ト (皿 頭)(111) は、 強 く 縮 め 過1ざ な い よ う 注 意 し て 下 さ い。
(締 付 トルク ; 最犬 30 ㎏・㎝)
8-8
8.7.
6 ポ ン プ モ ー タ 側 の 組 立
1) フロ ン ト シー ル部 の組 立
フ ロ ン ト シ ー ル 部 の 組 立 は、
7..
6.
2 項 を 参 照 し て 下 さ い。
2) モー タ の組 立(図8.4参 照)
a) モ ー タ シ ャ フ ト に シ ャ フ ト キ ー を 取 り 付 け ま す。
b) モ ー タ カ ッ プ リ ン グ(8)を 先 端 が モ ー タ フ ラ ン ジ (5) の 端 よ り 3 ± 0.5 ㎜ 入 る よ う に 調 整
し、 M6 六 角 穴 付 ポ ル ト で 固 定 し ま す。 (締 付 ト ル ク ; 最 大 80 ㎏・㎝)
c) カ ッ プリ ン グ(7)をモ ータ カ ッ プリ ン グ(8)に 取り 付け ま す。
d)I モ ー タ フ ラ ン ジ (5) を セ ン ト ラ ル ハ ウ ジ ン グ (I) に ㎜6 六 角 穴 付 ボ ル ト で 取 り 付 け ま す。
(締付 ト ルク :最 大 100 ㎏・㎝)
⑤/
①
101 ・
……
繊● 蓬
ヨ議
1
100
’ ’◎
r■ 一 ■ .
8一
ピ ・⑧
/
温
3 {0・5 m 耐
図 8.4 カ ッ プ リ ン グ の 調 整
▲ 注意
組 立が 完了 した ら、 ポン プ を目 的 の排 気系 に 組み 込む 前 に、 オイ ル を充填 して単 体 での 動
作 確 認を 行 って 下さ い。 ボ ン プの 吸 気口側 に 圧 力計 を取 り付 け、 吸 気 pか らの ガス 負 荷が な
い 状 態 で1 時間 以上 ポ ンプを 運 転 し、 異常 音や 異 常振 動、 オイ ル 漏れ な どがな いこ と、 ま た
到 達 圧力 が 正常 であ るこ とを 確 認 して 下さ い。
8-9
9 保 くF 交 韮廷 音β占舌
保 守交換 部 品 の ご注 文 に際 して は、 次 の こ と をお 知 らせ下 さい。
a) ポ ン プの 型名
b) ポ ン プ の シ リ ア ル 番 号 (セ ン ト ラ ル ハ ウ ジ ン グ 上 面 の ブーレ ー ト 上 に 刻 印 さ れ て い ま す。 )
c) 注 文す る 部品 の部 品 番 号(巻 末 の 付 図.4 及 び付表.2を 参照 して 下 さい。)
ま た、 通 常 の定 期 的な 保守 作 業に 必 要 な部 晶 一 式 を、 フロ ン トシ ー ルキ ッ ト、 シー ル キッ ト、 メ ン
テナ ンズ キ ッ ト と して用 意 して い羊 す の で ご利 用 下さ い。各キ ッ トに 合 ま れ る部 品 のリ ス ト ぱ付 表.2
に示 して あ りま す の で参 照 して 下さ い。
▲ 注意
キ ッ ト 類は 直 射 日光 を避 け、 室 温 の 変動 の 少 ない、 湿度 の 低 い場 所 で 保管 して 下さ い。
1)一フ ロ ン ト シ ー ル キ ッ ト
ポ ン プ のモ ータ 側 シャ フ トシ ー ル部 にオイ ル漏 れが 発生 した 場 合 な どに、 交 換が 必 要と 思わ
れ る フ ロ ン ト シ ー ル 部 品 を 合 み ま す。
2) シ ー ル キ ッ ト
ポ ン プに 使用 さ れて い るO リ シ グ、 軸 シー ル、 ガスケ ソ ト珪 どの シ ール 部 品一 式 を合 み ます。
、ポ ン プを 完 全に 分解 し た場 合 に は、 再 組 み立 て時 に シー ルキ ッ ト に 合ま れる 部 品 を全 て交 換
さ れ る こ と を 推 奨 し ま す。
3) メ.’ン テ ナ ン ス キ ッ ト
Iシー ルキ ッ ト部品 に 加え て、 一 般的 な 定期 オ ーバ ーホ ー ル時 に交 換 が 必 要と 思 われ る 構成 部
品 (べ 一 ン、 ス プ リ ン グ 類、・ レ ベ ル ゲ ー ジ な ど) を 含 み ま す。
キ ッ トの 種類 型名 (P/ N) 備 考一
フ ロ ン ト シ ー ル キ ッ ト O.6 5 8 7 5 2 0 0 5 ~ 2 0 2 1 共 用
シ ー ル キ ッ ト 0 6 5 8 7 4 2 0 0 5 ~ 2 0.2 1 共 用
メ ン テ ナ ン ス キ ッ ト 0 6 5 8 8 5 2 0 0 5 専 用.
0 6 与 8 8 3 2 0 王 O.専 用
0 6-5 8 8 2 2 0 1 5 専 用
0 6 5 8 8 1・ 2 0 2 1 専 用
表 9.1 保 守 都 晶キッ ト ー覧
9-1
■ 0 ト ラ ブ ル シ ュ ー テ ィ ン グ
本 項では トラ ブ ルが 起 きた 時 の参 考 のた め、 考 え られ る 原因 と処 置 方法 にっ いて 述べ ま す。
なお、 修 理 及び サー ビ ス依 頼 時は、 最寄 りの 弊 杜フ ィ ール ドサ ー ビス 事業 部 ま で ご違 絡 下さ い。
碑 絡先は、 巻末 のお 間い 合 わ ぜ先 一 覧を 参照 願 いま す。
一表 10.1 ト ラ ブ ル シ ュ ー テ ィ ン グ
異常 の 状態.
考え ら れる 原因 処 置 傭 考 一
1.ポ ンプ が回 転 1)モ ータ 入 力 結線 の 誤り 入 力電 圧ま た は入 力 結 線 を 点 6.4 項参 照
しな い。 ま た は入 力 電庄 不 良 検 して 下さ い。
2).モ ー タ の 破 損 モ ー タ 単 体 の 動 作 を 点 検 し、
異常 が ある 場合 は 修 理ま た は
交換 を行 らて 下さ い。
3) モ ー タ カ ッ プ リ ン グ の モ ー タ を 取 り 外 し、 部 品 を 交 8. 1 項 及 び ・
破 損 換 し て 下 さ い。 8’
.7 項 参 照
4)周 囲 温度 が 低す ぎる。 周 囲温 度 耳O ㌻4 0 ℃ の 条 件 6.1 填 参 照
で運 転 して 下さ い。
5)オイ ル及 び ポン ラ 内の ポ ン プの肴 解 洗浄 及 びオ イ ル 7.5 項 及 び
汚れ が著 しい。(こ の 状 交換 を行 っ て下 さ い。 8 項 参照
態 で ポン ブ を停 止す る
ζ、 回 転 し な く な る こ
一と が あ り ま す。 )
6)ポ ン プ内都 晶 のか じり ポン プの 分解 点 検 を行 い、 破 8項 参 照
また は 破損 損 した 部 品 を 交 換 して 下 さ
.い
。
2.オイ ル ボンプ がI 1)オイ ル 量の 不 足 オイ ル を 規定 量ま で充 鎮 して 7.5 項 参照
回 転 し な い。 下 さ い。
2)オイ ル 吸入 口 の詰ま り 分解 洗 浄 して 下さ い。一 8 項 参照
3)オィ ル及 びポ ンブ 内の ポ ン プの分 解 洗浄 及 びオイ ル 7.5 項 及 び
汚れ が著 しい。 交換 を 行っ て下 さ い。 8 項 参照
10-1
表 10.1(続 き) ト ラ ブ ル シ 江 r テ ィ ン グ
異常の状態 考えられる原因 処 置 備 考
2.オイ ル ポン ブ が 4)オ イ ル の温 度が 低す ぎ 周 囲 温 度 1 0~ 4 0℃ の条 件 6.1 項参 照
回 転 し な い。 る。 で 運 転 し て 下 さ い。
(続 き)
5)ポン プ 内オイ ル循 環 流 ボン プ の 分解 洗 浄を 行っ て 下 8 項 参 照
路 の 詰 ま り さ い。
6)オイ ルポ ン プピニオ ン 破 損 し た部 品 を交 換 して 下さ 8 項 参照
の 破 損 い。
7)ブ レー ド及びカ ウ ンタ ポ ン プ を分 解点 検 し、 再 組立 8 項参 照
一 ブ レー ドの 組み 込 み を 行っ て 下さ い。
不良
3.到 達圧 力 不 良
3.1 1)オ イ ル量 の 不足 オイ ル を 規 定量 ま で充填 してI 7.5 項 参 照
数 100Pa 程度 の (オイ ルの潤 滑 不 良) 下さ い。
到達圧力 しか得
られな い 場合 2)オ イ ル吸 入 口の 詰ま り 分 解 洗 浄 して 下さ い。 8 項 参照
3)オイ ルの 汚 れ、 劣 化 が ポン プ の 分解 洗 浄及 びオイ ル 7,5 項及 び
著 し い。 交 換 を 行 っ て 下 さ い。 8 項 参 照1
4)オイ ルの 温度 が低 す ぎ 周 囲 温 度1 0 ~4 0℃ の 条件 6.1 項参 照
る。 (オイ ル の循 環 不 で 運 転 して 下さ い。
足)
5)吸 気ロ フィ ルタ ー の 目 フ ィ ル タ ー を 洗 浄 し て 下 さ 8項 参 照
詰 ま り い。
6)LP 側 の バル ブの 破損 ポ ン プの 分 解点 検 を行 い、 破 8項 参 照
損 し た 部 晶 を 交 換 して 下 さ
いo
7)再 組立 時 の都 晶の 取り ポ ン プを 分解 点 検 し、 再組 立 8 項 参照
付 け不 良 を 行 っ て下 さ い。
10-2
表 10.1(続 き) ト ラ ブ ル シ ェ ー テ ィ ン グ
異常の状態 考えられる原因 処 置 傭 考
3.1 8) モ ー タ 逆 回 転 モ ー タ の 結 線 を 点 検 し て 下 さ 6. 4 項 参 照
数 I00Pa 程 度 の (3 相 モ ー タ の 場 合) い。
到達圧力しか得
られ な い 場合 9)モ ータ 入力 電圧 不 足 入カ 電 圧 を 点検 して 下さ い。
(続 き) (モー タ の回 転 数が 低
下 し ま す。 )
10)吸 気口 側配 管リ ー ク 吸 気口 側 の 装 置や 配管 に リ ー
(大規 模 なリ ーク が あ ク がな い か点 検 しで 下さ い。
る場合)
3.2 1)オ イ ル の 汚 れ、 劣 化 オ イ ル 交 換 を 行 っ て 下 さ い。 7.5 項 参 照
数Pa程 度 の到
達圧 力 しか得 ら 2)ポン プ 内0 一リ ン グの
れな い 場 合 取り 付 け不 良、 破損
ポン プ を分 解点 検 し部 品 8 項 参照
3)軸 シ ー ル の 破 損一
を 交 換 し て 下 さ い。
4)H P 側 のバ ル ブの 破損
5)ガス バ ラス ト バル ブが ガ ス バ ラ ス ト バ ル ブ を 点 検
開い て いる。 し、 必 要 が なけ れ ば閉 じて下
さ い。
6)ポ ンプ 内オ イ ル循 環流 ボ ン プ を 分 解 洗 浄 し て 下 さ 8 項参 照
路の 詰 ま り(オイ ルジ い。
エ ッ ト 部 な ど)
7)ブ レー ド及 びカ ウ ンタ
一 ブ レー ドの 組み 込 み
不 良 ポ ンブ を分 解点 検 し、 再 8 項参 照
組立 を 行っ て下 さい。
8)再組立時の部晶の取り
付 け 不良
10-3。
表 10.1(続 き).ト ラ ブ ル シ ュ ー テ ィ ン グ
異常の状態 考えられる原因 処 置 備 考
3.2 9)吸 気 口側 配 管 のリ ーク 吸気 口 側 の 装 置 や 配管 にリ ー
数 Pa程度 の 到 (微 小 リ ーク の 場合) ク が な い か、 リ ーク デ ィテ ク
達圧 力 しか得 ら タ な どを 用 いて 点検 して下 さ
れ ない 場 合 い。
(続 き)
1O)排 気 口側 圧 力 が高す ・
ぎ る。一 (許 容 排 気 口 圧
力 ; く1.
3 x 10 5pa)
a)排 気 口側 配 管 の 詰ま り 配 管 を点 検 し、 ク リー ニ ン グ
し て 下 さ い。
b)オ イ ルミ ス ト エリ ミネ カ ー トソ ッ ジ を 交 換 して 下さ
一 タ の カ ー ト リ ッ ジ の い。
詰 ま り .
4.ポ ン プの 動作 音 1)オイ ルの 汚 れ、 劣 化が ポ ン プの 分 解 洗 浄及 び オイ ル 7.5 填及 び
の 異常 著 しい。(固形 物 が多く 交 換 を 行っ て 下 さ い。 8 項参照
混入 している場合等)
2)オイ ル 変 更 によ るセ ン ポ ンプ を分 解 点 検 し、 再 組 立 7.5項 参 照
ト ラ ル ジ ェ ッ ト の 取 り を 行 っ て 下 さ い。
外 し を 行 っ て い な い。
3)モ ー タ の入 力 電圧 不 良 入 力 電圧 を 点 検 して 下さ い。
4)モ ー タ の ベ ア リ ン グ 破 モ ー タ を 交 換 し て 下 さ い。 8 項 参 照’
損
5)カップリ ングの組立寸 組立寸法の再調撃または部品 8項参照
法 不 良ま た は 破損 の交 換 を行 っ て 下 さい。
6) フ ァ ン カ ヅ プ リ ン グ の フ ァ ン カ ッ プ リ ン グ を 交 換 し 8 項 参 照
.不 良 て 下 さ い。
7)べ ’ ンの 破 損 ボ ンプ を分 解点 検 し、 部品 を 8項 参照
交換 して く だ さ い。
10-4
表 10.1(続 き) ト ラ ブ ル シ ュ ー テ ィ ン グ
異常の状態 考えられる原因 処 置 備 考
5.ポンプ の 過熱 1)高圧 力 での 排 気 運 転 条件 を 見 直 して下 さ い。
ま た 吸気 口 側 配管 にリ ー ク が
な い か点検 して 下さ い。
2)周 囲温 度 が 高す ぎ る。 周 囲温 度1 0~ 4 0℃ の 条 件 6.1 項参 照
で 運転 して 下 さ い。 設 置 場 所
の 通気 性も 見 直 して 下さ い。
3) オ イ ル の 汚 れ、 劣 化 オ イ ル 交 換 ま た は、 フ ラ ッ シ 7. 5 項 参 照
ン グ を 行 っ て 下 さ い。
4)オイ ル 変 更時 の 洗浄 な ボ ンプ を分 解 点検 し、 再 規 立 7.5 項 参照
どが 不 十分 を行 って 下 さ い。 セ ン トラ ル
ジェ ヅト(33)を取 り 外 して 下
さ い。
5)不適 当 なオイ ル を使用 オイ ル を適 当 なも の に変 更 し 6.2 頂及 び
し て い る。(オ イ ル の 粘 て 下 さ い。 7.5 項 参 照
度 が 高 す ぎ る。 )
6)モー タ の入 力 電圧 が 高 入 力 電圧 を点 検 して 下さ い。
す ぎ る。
7)排気口側圧力が高すぎ 排気自側圧力を点検 して下さ
る。
いo
6.オイ ル の消 費 が 1)高 圧 力 での 排気 運 転条 件 を見 直 して 下さ い。
早い ま たオイ ルミ ス トエ リミ ネ ー
タ を 使 用 し て 下 さ い。
2)ポン ブめ 過 熱 [異常 の状 態 5.項参 照コ
3)オイ ル 漏れ(オイ ルケ オイ ル 漏れ の 有 無を 点検 し、一 シ ン グ部 幸た は軸 シ シ ー ル 部 晶 を 交 換 して 下 さ
一 ル 部 の シ ー ル 不 良) い。
[異常の 状 態 8.項参 照]
IO-5
表 10.王(続 き) ト ラ ブ ル シ ュ ー テ ィ ン グ
異常 の 状態 考 え られ る 原 因 処 置 備 考
6. オ イ ル の 消 費 が 4).ガ ス バ ラ ス ト バ ル ブ が
早い(続 き) が開い て い る。
a)不 注 意の 場 合 ガス バ ラス トバ ル ブ を 閉 じて
下 さ い。
b)使 用 し て い一る 場 合 オ イ ル ミ ス ト エ リ ミ ネ ー タ を
.使 用 し て 下 さ い。
7.ポン プ 停止 時の 1)ブ レー ド及 びカ ウ ンタ ボン プ を分解 点 検 し、 再 組 立 8 項 参 照
真空 シー ル 不 良 一 ブ レー ドの 組一み 込 み を 行 って 下さ い。
不 良
2)ポ ンプ 内0 一 リ ン グの
取り 付 け不 良、 破損
3)軸 シ ー ルの 破 損 ポン ブを分 解点 検 し部 品 8項 参 輝
を 交換 して 下さ い。
4)バル ブ(LP 側、 宣P側)
の破損
5)オイ ルg 汚 れ、 劣 化 オイ ル 交換を 行 って 下 さい。
6)一ガ ス バ ラ ス ト バ ル ブ が ガ ス バ ラ ス ト バ ル ブ を 閉 じ て
開 い て る。 下 さ い。
’
8.オイ ル漏 れ 1)オイ ルケ ー シ ン グ及 び オイ ル ケース を 取り 外 し、 シ 8項 参 照
セ ン ト ラ ル フ・ラ ン ジ の 一 ル 面 の 点 検 を 行 っ て † さ
シ ー ル 面 不 良 い。
2)オイ ルケ ー シン グ部 の オ イ ル ケース を 取り 外 し、 部 8項 参 照
○リ ングあ 破 損 晶 を 交換 して下 さ い。
3)軸 シー ル(モ ータ 側)の 軸 シ ー ル及ホ フ ェル ト を交 換 8 項 参 照
破 損 し て 下 さ い。
10-6
■ ■ 修 理一オ ー バ ー ホ ー ル に 関 し て
▲ 警告
修 理 また は オー バ ーホ ー ルに 関 して は以 下 の点 を.ご了承 願い ま す。
本ポ ン プは 8項 に示 した分 解、 洗浄 及 び再 組 み立 て 手煩 に した がっ て、 お 客 様側 にて 容易
に分 解オ ー バ ーホ ー ルが 行え る 構造 と なっ て いま す。 こ のた め、 特 殊な ガ ス を排 気 した ポ ン
プの 修理 ま た はオ ∵ バー ホー ル、 特に 宥害 な ガス を排 気 した ポン プの オ ー バ ーホ ール な どは
原則 と して お客 様 にて 行 って いた だき ま す。 な お、 特 殊 なガス を 排気 した ポ ン プの修 理 サー
ビブ を当 杜 に依 頼 され る場 合 はあ らか じめ 以下 の 処 理を お願 い致 しま す。
1) 汚染 され た オイ ル を排 出 し、 フ ラ ッ シ ン グを 2回 以上 行 って、 内部 を 洗浄 して 下 さ い。
帯に ヒ 素系 化 合物 な どの 有 害物質 を 排 気 した 場 合は、 お客 様に て 分解・ 洗 浄を 行い、 安全
を確 認 した 後、 お引渡 し下さ いま す よう お 願 い致 しま す。
2) 排 気 した ガス の 種類 を 明記 した 書 類を 添 付 して 下さ い。
作業 者 の安 全 の た めに も ご協 力を お 願い 致 しま す。 モ ー タの 入 力 定格 を 確 認 し走 上 で、
正 しく 電源 の 接続 を 行って 下 さ い。 単相、 三 相 モ ータ 共 に、 モ ータ 上 部 の銘 板 に結 線 方 法が
示さ れて い ます の で、 指 定 に従っ て 下さ い。
な お、 修理 サ ー ビス に関 して は、 最 寄り の 弊 社フ ィ ール ドサ ー ビス事 業 部ま で お 問い 合わ せ下.さ い。 (連 絡 先は、 巻末 の お間い 合 わ せ先 一覧 を 参照 願 いま す。)
1士一1
付 表 .1 ・・良 P オ イ ル 性 能 表 .
オ イー
ル 比 童 引 火 点 動 粘度一
涜動 点 蒸気圧 到 達 圧カ
(40℃) (50℃)種別
[注 1]品 名
主 な 用.
.途
15/4 ℃ ℃ ’cSt ℃ Pa Pa
N E O 工 L - S O.878 ’ 230 44.
6 一17.5 ≦ 1.3 × 10-2 ≦ 2× 10-2油 回 転 ポ ン プ 全 般
鉱物オイル低温始動用
N E O I L - S S 0.883 256 73.6 一17.5 ≦ 1.3 x 10}3 ・≦ 1x 10-2油 回 転 ポ ン プ 全 般
ANELVA 標 準 オ イ ル
炭 化 水 素 系N E O I L - S S C O,896 254 63
.7 ≦ 二20 ≦ 4 x 1〇一4 ≦ 1 x 1O-2耐 オ ゾ ン 性 、 耐 腐 食 性
合成 オイ ル の 要 求 され る用 途
‡上
[注 1] 表 中の 値は、 基 準 ポ シ プと して A1cate1 2 0ユ 5(標 準 型、 2段 式)油 回牢 ポィ プを 用 い、 液 体 窒 素 ト 7ツ プ を使用 して測 定 した
た 到 達 分 圧 力 (U1timatepartia1preSSure) の 目 安 を 示 し ま す。
液 俸 窒 素 ト ラ ッ プ を 用 い な い で 測 定 す る 到 達 全 圧 力 (U1timatetOta1
pressure)は、 到達 分 圧 力 に オイ ル の 蒸 気圧 g 寄 与が 加わ る ため、 通 常 10倍 ~ 数10倍 大 き い 値と なり ま す。
[注2] 干 燃性 や 腐蝕 性 ガ ス に対 す る 耐 性 が要 求 さ れる用 途 に 対 しては、.フ ッ 素 化 オイ ル(パー フ ル オ ロ ポリ エ ー テ ル)も 使用 でき ます の
で、 別 途 当杜 ま でお 間 い 合 わ せ 下さ い。 な お、 A1cate1 油回 転ポ シ プに 使用 可 能 なフ ッ素 化 オ イ ル と して は次 の よう な種 類 があ り
ま す。
.
例) FOMBLlN YLVAC25/6・ Y25
・ZY2 帆 Y28S (以 上 珂9NTEDlS◎N 杜 製)
KRYTOX 15-25 (DUPONT0 杜 製)
BARR1ERTA J100 (NOK 杜 製)
DEMN㎜ S-65 (DAIKIN 杜 製)
付 表.2 構 成 部 晶表(1/5)
符 号 名 称
ポ ン プ タ イ プ 別.
数 量 部 晶 番.号
(P/N)
フロント
シールキヅト
合 部 晶
シールキット
含 部 晶
メンテナンス
キヅト
合 部 晶05 10 15 2I
1 セントラ〕レ ハウシ“ング 1 1 1 1 065734
2 オイル ケーシンク占
1 065851
一 才イル ケーシンク“
1 065845
才イルーケーシング 1 065849
オイル ケーシンク“
1 065848
3 へ“一ス 1 1 工 1 065900
4 ショック アプ ソーハ“ 4 4 4 4 0β5790
5 トタ フランジ 1 1 1 1 065739
6 ファン カップ リング 1 1 1 1 065741
7 かリプ リンク。 1 I 1 1 052553 ○.
8 モータ カップ リンク“
1 1 1 1 065742
9 フェ〕ルト 1 1 1 .1 065794 O ○ ○
}0 ハン ザ ル 1 1 1 1.
065780
11 インレット ポ ート NW25 1 1 1 1 065819
12 エキヅースト ポ ート NW25 1 1 1 1 065820
13 O一リング c3.6 d29.3 4 4 4 4 082122 ○ ○
14 ストサパ 2 2 2 2 065821
且5 エキヅ ースト バ ルブ 1 1 1 1 065791 ○ ○
16 インレット フィルタ・ 1 1 1 1 065787
17 0一リング c3 d165I
1 1 1 ・ 1 079072 ○ ○
18 フロント プ レート 1 1 1 1 065716
19 シール ホルダ 1 1 1 1 065744
20 ジャフト シール
15 x 25.5× 4.6
1 1 1 1 082063 ○ ○ ○
21 O一リIング c3.6 d34.1 1 1 I 1 082125 ○ ○ ○
22 フロント カ“スケット 1 1 1 1 065795 ○ ○
付一2
㌧ 一
付 表.2 構成 部 品 表(2/5)
符 号 名 称
ボ ン プ タ イ プ 別
数 量 部 品 番1号
(P/N)
フロント
シールキット
合 部 晶
シールキット
合 部 晶
メンテナンス
キツト
合 部 品05 10I 15 2ヱ
23 LP ロータ 1 005745
LP ロータ 1 065749
LP ロータ 王 065750
LP ロータ 1 ◎65751
24 ショルダ リンク“ 1 1 1 1 065846 ○ ○
25 O^ リング c2.7 d12.1 1 1 1 1 082110
.○ ○ ○
26 ワ 吻 1 1 1 1 065847
27.シャフト キー 1 1 1 1 071067 O
28 シャフト シール
15x 25x4.6
3 3 3 3 083645 ○ ○
29 LP ステータ 1 065722
LP ステータ 1 0657I9
L戸 ステータ 1 065718
LP ステータ 1.065717
30 LP へ㌧ン 2 065760 ○
LP へ㌧ン 2 065757 ○
LP へ㌧ン 2 065758 ○
LP へ“一ン 2 065759 ○
3I へ㌧ン スフ。リンク“ 4 6 8 8 053040
’○
32 セントラル プ レート 1 i 1 1’ 065720
33 セントラ〕レ ジ ェヅト 1 I 1 1 053474 ○
34 HP ステー之 1 065722
HP ステータ 1 1 I 065721
35 HP ロータ 1 065729
HP ロータ 1 1 1 065728
付一3
付 表.
2 構成部品表(3/5)
符 号 名 称
ポ ン プ タ イ ブ 別
数 量 部 品 番 号
(P/N)
フロント
シールキット
含 部 品
シールキット
含 部 晶
メンテナンス
キット
含 部 品05 1O 15 21
36 HP へ㌧ン 2 065760 O
肝 へ㌧ン 2 2 2 065756 ○
37 リア プ レート 1 1 1 1 065724
38 O」ワング c2 d90 4 4 4 4 079514 ○ ○
39 スタッド ポ ルト 4 065ブ65
スタッド ポ ルト 4 065763
スタッド ポ ルト 4 065762
云タッド ボ ルト 4 065761
42 ワツシャ 1 1 1 1 065107
47 O一リン グ c1’
、9,d5.7 2 2 2 2 082105 一○ ○
46 ハ中ルブ カバ ー 1 065773
ハ“ルプ カハ ㌧ 1 065771I
バ ルブ カハ㌧ 1 065770
ハ“ルブ カバ ニ 1 06ε769
50 バ ルブ 2 3 4 4 052655 ○ ○
51 バ ルデ スプ リング 2 3 4 4 052541 O
52 ケース ブ ッシング 1 1 1。 1.065781
53 カ巾スバ ラスト カハ ㌧ I 1 1 1 1.065782
54 カ“スバ ラスト ノフ“
1 1 1 1 065783
55 カ } ドラスト チューブ 1 065840
ガ スバ ラスト チューブ 1 1一
1 065838
56 オイル フィルタ 1 1 1一 1 065710
57 0一リンク“c3 d28 1 I 1 1 079067 O ○
58 カ“スバラスト ヌリープ 1 1 1 1 065792 ○ ○
59 が スバラスト スプ リング ! 1 1 1 065797 ○
60 アンチサックバ ック デ バ イス ! 1 1 1 065798 O ○
付一4
㌧ 一一
付 表.2 構成部品表(4/5)
符 号 名.
称
ボ ン ブ タ イ プ 別
数 量 部 晶 番 号
(P/N5
フロント
シールキツト
含 部 品
シールキット
含 部 晶
メンテナンス
キ・リト
含 部 晶05 10 15 21
61 アンチサックバ ック スフ。リンク“ 1 1 1 1 065799 ○
63 プうグ P3/8 3 3 3 3 082604 ○
64 O一リンク“c2 d16 3 3 3 3 084149 ○ ○
65 オイル レヘ中ル、サイト グ ラス I 1 工 1 065784 ○
66 レヘ“ル プ レート } 1 I 1 065743
68一
オイル サイト ゲ ラス カハ㌧ I 1 1 1 065785
69 0一リンク“
c2.5 d66 I 1 1 1、σ79516 一〇 ○
プ0 ハント“
ル カ“イト“ チューフ停 ’2 2 2 2 065843
7工 合ワセ ビ ン 正1 11 11 11 071040 O ○
76 オイル ポ ンフ。 カバ ー 1 1 1 1 065725
77 オイル ボ ンプ ピ ニオン 1 I 1 1 065862
78 シ1ワンタ“ I 1 1 ユ 065856
zg メンフ“レン I 1 1 1 065857 ○ ○
亭0 シート I 1 1 ユ 065858
早 アンチサック ビ ストン 1 1 1 1 065859
82 エア 導 入 チューブ 1 1 i 1 065860
83 0一リンク占
c1.5 d7.5 I I 1 1 079046 ○ ○
84 スフ。リンク“1 1 1 I 065617 ○
8ξ ワッシャ 1 1 1 1 084646.○ ○
.87 フ“レート“1 1 1 1 065861 ○ ○
88 カウンタ フ“レート“ 1 1 1 1 065863
90 0,40kW 1 φ モータ 1 1
O,55kW 1 φ モータ 1 1
0.55kW 3 φ モータ 1 1
0.75kW 3 φ モータ . 1 ユ
付一5
付 表.2 構成部品表(5/5)
符号 名 称
ボ ンプタ イ ブ別
数 量 部 晶番 号
(P/N)
フロント
シールキット
含 部 品
シールキット
合部 晶
メンテナンス
キット
合部 品05 玉0 1与 21
100 六 角 穴 付 ポルト 蝉 x16 4 一 4
六 角 穴 付 ボルト M8x20 4 4
iO1 六 角 穴 付 ボルト M6x35 4 ・4 4 4 075532一
1φ2 六角 穴 付ボルト 脆x25 2 2 2 2 0755i1
103 六 角 穴 付 ポ ルト M6x20 4 4 4 4 075530
I04 六角 穴 付ポルト固6x16 4 4 4 4 075509
105 六 角 穴 付 ボ ルト 蝸 x12 2 2 一2 2 075529
I07 六 角 穴 付 ポ ルト 固5x16 1 1 1 1 075525
I08 六角 穴 付ボルト 胆 ×8 4 4 4 4 075518
110 六 角 穴 付 ボ ルト(血 頭)
蝸 x12
4 4 4’
4 050223
111 六 角 穴 付 ボ ルト(皿 頭)
M4x10
2 2 2 2 074223
112 六 角 穴 付 止メネヅ
坤6x10
1 1 1 1 075034。
113 ナット 瞳6 4 4 4 4 07i2I工
u4 ワッシャ φ8 4 4 4 4
115・ ワツシヤ φ6 18 18 18 18 073454 ○ ○・
I16 ワツシャ φ5 1 1 1 1 073453 ○ ○
117 ワッシャ φ4 4 4 4 4 073452 ○ b
118 ワツシヤ ㎜4 U 2 2 2 2 I073304 O ○
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付 図、 4 標準型 RP断 面構造図
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