Transcript
Page 1: Atomic Layer Deposition of TiO2 Thin Films on Mixed Self-Assembled Monolayers Studied as a Function of Surface Free Energy

������ ��� � ������� �� ���� ���� ����� �� ��������������� �������� ������ �� � �������� �� ������ ������

�� ��� �� ���� ��� �� ���� ���� � �� ���

!" #�����������

��� � �� � ��� �� ������ ��� ����� �� ��� ����� �� � ���� ��������� �� ���� ��� �� ���� ���� � ����� � ��� !��� ��!� � ��� ��� �� "������ #����� ��"#� � ��$%&' "���(� ��� ������� �� � ����� ������ � (�� ��������� �� �������� � � � ����$%)' �� ��� ����(���� ������� ( ������� �� �� ������� ��� (����� ��� ���������� ��� � �������� ����� ��� ���� ��� ������(�����( �� ��� ��� �� �"�� �"�� ��� ���� ����(������$ �� ��� �� �� �*��(��� ��� �"� �� ���� �� �� � ��� �� ���+�� ���� �"� ,�"� - ���$ .� ��� (���� �� ��� ����� ����������� �� �������� ��� � �� ((�� �� � �� +������� ������� �� �$�$� ����+��+���� � �� ((��$ ���� ��( ( ���������� �� ��� ������(���� ������ �� � �� +������� ��� ����$/� �� �� ���� ��� �"�� �"� - ���� �� �! � �� ���*��(���$ �� ��� ����� ������� ��� �������� ��� (��������� � �� ((�� ���+������� ����� ������� � ���$ .� ��"# � ��� � �� ((�� �� � ����+��+���� � ��� � ���� ��� +������� ��� ���� ����� �� ���� ����� � ��� ���� �$ � �+� ���� �� ����+��+���� � ��� ���+������� ��� �������� � � �� �� +������� ��� ����$0� ��( ���� ��� ���� � �012� �� � ���+���� ��� ���� ��+

� ���� � ��� � ��� ���� ����+���������� ����(� ��(�� ��$2���� �� ���� ��(���� 012 �� ����(��� ( ��������� �����+�� � �� � ��� � ������(����� ��+3������ ��� ����� ���� ��(��� ���� �� � ��(��� ���(����$%4 5' �� 012 ��� ������ � ��3������� �������� ����(� ��(�� �� ��� ����� ���� � ���� � � � � � ���� �� ��( ��3���(�$ �� ��((����������+���������� � �� ��(����� �� 012 �������� �����+

����� ���+���� ��(�� ��� ��� �� ��������� � � ���+���� �+�(�� �� ����� �� ����(� ��(�� � � � �������(���$ 0� � ( �+��3���(�� �� 012 � (��� �� ��� ��������� � ����(�( ����� �� � �� ��������� �� ���� �� � �� ��(�����$ 012� �� �� ��������� �� �� � (����� �� �� �������� ����(������(� ��(�� � ��� ����(� ������� �$ �� ������ ��(������� ���� ���� ��� � � �� ����(� �� � � (��� (����� ����+� ��� �� ��� �� ��� ��� � ��(��� �� �� � ������ � ��������$ .� �� � ���� � �� ����(� ��� ����� �� (���(�� � ��� ���� � ��� �� ����(�$ "���(� ������� � ��� �� �� ��� �+��� ���(��� � ���� �� � �� �(���� �����$ �� ����(� ( ����� � � �� �������� �� �� � �� � �� ��� ���� ����������� ��� ���� ���(��� �� 012$"���+��������� � � ����� �"0��� �� ��� ����( �����

��� � � �� ����� ���� � � ��� ����(��$ "����� ���������������� � "0�� ��� ���� ������������� ��(������ ��������+ �� �674�67)� &"7� � 0�� 0�� ��� 6�� ��� �������(� ��+����� �674�67)� &"�6�4� � "�/)� 0�)/4� ��� ��(�$%8' 0 ��+��(���� � ��(��� � "0�� ( ������ � ��� ���� ����$ ������ �� �� ��� � ��� ��( (���� �� � �� ����(�$ ��+(���� � �� (���(�� �����(�� � ������� �� ��� � �� ����� ��������� �� � ��(���� ������� � ��� � �� ��� ����(������� �������� �� � (� ��+��(��� � � ����$ �� ��( �� � ��(+��� ��� �� �� ����� (���$ .� �� �������� (���� ��� �� � � ��(���� � ��� ������$ ��� �� !���� �����(�� �� �������(���� ���� ( ������� � �� ����� � �� � � ����$ ����� ��� �� �� ������� � ��$ �� �������� ������� ���(+�� ������ �� � ����� � ��9 ����� �� (��� ��� �� ����+����� ��� � ����� � �������� � ���� �$�$� :7)� /7� 6//7� ��� ���� "0�� � �� ���� � �� � ����(��� � �����(� � ������$ ���� "0�� (�� � ���� �� ����(� ���������� � �� ���������� ������ � � ��(����� �� ��������� �������� � � �������$7�� �� �� � �� 012 � �� � ��� �� � ���(�� � � ��+

��(� ��� �����$ ��*�� ����+��������� � � ����� ��� �������� � � ���� �� ����(� ��� ����� � �� "� ���������$ ������� � ���� �� ( �������� �� �������� �������� �� �� � ������ � � � "0�� ( �������� ��*���� � ��� ��� ( ��� �����

���� ���� ������ �$$%� ��� : $ &&� : ����� ��#& &;$&;;)<����$);;4;===5 � );;4 !.1>?+�67 ����� @��7 A 6 $ #@�0� !������ BC4

%�' D �$ �$ �$ "���� E$ D$ 1��� ?$ E$ E���

2�������� � 6������� # ���� F��������B8&+&� 6 ������+� ��� " �����+��"� ��� &48+C;) �# ���>+����� ���G� ����$�($�

%��' ��� � � ��� ���� ��� �� � � ��� � �� :��� ��� H����( 1�� �+� � � � �� ������ � "(���(� ��� ��(� � ��$

��*�� ����+��������� � � ����� �"0��� ��� �������� ��� � � /7 � 674 � ��� ��� ���� � � ���� �� ����(� ���������� � �� "� ��������� � � 8= � )I �:� &$ �� ��/) ��� ����� ��� � �� � �� ��*�� "0�+( ���� "� ��������� ���� ��( ���� ��� ���� � �012� � � �������� �� � � *��� ��� ����$ 0 �� +������� ��� � �� � �� �� ������ � ��"0��+( ���� ��������� � �������� �� ����(� ��� �������$ 0� �� ����(� ��� ����� ��(������ � ���+������� ��� � ��� �� ������ � � ������$ ���� ������� �� ����(��� ��� �� ��*�� "0�� (�� ( �� � �� � �� � ��� � �� �� ��( ������� ���� � �� � ������� � �� ����(� ��� ������� � �� ���������$

����

�����

Page 2: Atomic Layer Deposition of TiO2 Thin Films on Mixed Self-Assembled Monolayers Studied as a Function of Surface Free Energy

��� *�����$ F���� �� ��( � (� ��( �( �� �0���� J+��� � ���(� � ���(� �( �� �JD"�� ��� ( ���(�+����� ����������� ��� � ��� ��� �� 012 � �� � ��� (�� �� ( �� ������� ��*�� "0�� � �� "� ���������$

�" '����� ��� ����������

0������� *��� "0�� ��� � ��� �� ���(��� "� ������� ��� ���� �� � 674�67)�I"�6�4 �674 "�� ��� 746/)6�67)�I+"�6�4 �746/) "�� ��(�� �$ "���� � ���� �� ��� ����� �� ��� � ���� �� � ��( ������ ��� ���� ��*�� � ���� �� �����=�&� )�&� &�&� &�)� ��� &�4 � �� ��� � � �� �� ���������� �� K %�746/) "��� ��<�674 "��� ��'�$ �� ��*�� "0�� ��� 7/ "� ��� 674 "� ��� ������ � �� ��� � ��"0�

K %�7/ "��"0��<�674 "��"0��'� ��� � ��� � �� "� ���+�����$ .� ������� �� � �� ��� � �� �� ������� �� � ���� ���� ��� � �� � � �3��� �� � �� ��� � �� ��� *���� �� ��"0�� ��"0��� ��� �� (��� � ������ �� �*�(� ����� ��"0��$ �� ������ � �"0�� �� �� ��*�� "0�� ��� ������� � �� ��� ��� ( ������ �� ( ���(� ����� ��� JD" ��������$7��+�� ���� � JD ���(�� � �� 6 &� ��� � � �� "0�+( ���� ������� �� � �� �� ����� &$ �� 6&� ��� � � ����� 746/) "� � � ���� ����$ &�� � �� ��� ����� ��

)B=$8� )B8$8� ��� )BI$) ��� ��( �� �������� � �� 67)� /67)� ��� 6/) ���(����%C' ����(������$ 0��� 1�0�7= ����+����� �� 746/) "� � � ���� ����$ &�� �� ��� �� ( �����������(�� � �� 7/ "� �� ����(���� �� �� ������ ����������(� � �� 6 &� ���� �� )BI$) ��9 �� ����� �� )B=$8 ��� )B8$8 ������� ����(�$ �� 6 &� ���� �� )B8$8 �� ��� ( ��� ��� � 67)/7$ �� 6&� ��� � � �� ��� 746 "� � � ��������$ &�� � �� ��� �� ���� �� )B=$8 ��$ �� ��*�� "0����� ���� � � �� ������� �746/) "� ��� 746 "�� ��� ���+��� � �� ��� �� ��� �� 746/) "� ���� �� �� ��*�� "0����� ���(�� � �� 7/ "�$ �� 6&� ���(�� � �� ��*��

"0�� ����(��� ��� �� ��������� � �� ���� �� )B8$8 �� ��+(����� �� �� ����� � �"0� ��(�����$ ���� ������ ����(������ �� ��*�� "0�� ��� ������ ����(� ( �� ���� �� � ��746 "� ��� 7/ "� �� � ��� � �� "� ���������$�� ����(� ��� ������� � �� "0�+( ���� ������� ���

������ � � �� ( ���(�+����� ���� �� ����� ���� ��� ��� � +

������� �� � �� �� ����� &$ !�� � ��3��� � � �� � � � �������(� �� �3��������� �� ����� ���� ������� �� ����(���� ������� � � ? ���L� �3���� � �� �� � �� ���%B'

�� K ��� - �� ( �� �&�

��� �� �� �� ����(� ��� ����� � � � ��� ��������� �� �� ������(� ��� ����� � � ��3��� � �� ��� �� �� ������(��� �������� ������� �� � ��� �������� ��� �� ��3��� � �� � �� ��( ���(� �����$ �� ����(� ��� ����� �� �*������ �� �� �� ( �� ������%I'

�K �� - �� �)�

��� �� �� �� ����(� ��� ����� � �� ������� � � (� ����� �� �� ����(� ��� ����� � �� � �� � (�$ 0(( ���� � /���� ��� !����L� �� ����( ��� �(� �� ������(��� �������� �� ������ �3��� � �� ��� � �� ��������� ��� � �������(�� ���%I'

��� K �� - �� )���� �

�� �

&<) )���� �

�� �

&<) �4�

�� ����(� ��� ����� � � � ��� �������� (�� �� (��(������� � �� ? ��� 2��M ����� �����

�� �& - ( ��� K )���� �

�� �

&<) - )���� �

�� �

&<) �=�

�� ����(� ��� ����� � �� 7/ "�+( ���� ������ �� �� ��8= �:� &� ���� �� ����(� ��� ����� � �� 674 "�+( ���������� �� �� �� )I �:� &$ �� ����(� ��� ������� � ����*�� "0�+( ���� ������� ������ &� ��(���� �� �� ����� ��"0� ��(�����$ ���� ������� �� ����(��� ��� �� ����(���� ������� � �� ��*�� "0�+( ���� ������� ����� � ����������� ������� �� �� ����(� ( �� ���� �� � �� 746 "� ��� 7/ "�� ��( ����� ��� �� ����(� ��� ����� � �� ��� �������� (�� �� ( �� ���� �� ��*�� "0��$�� ���� �������� � �� �� ��*�� "0�� ��� ������������

�� 0�� �� �� ������� � ��$ ����� ) � �� ����(�� 0�������� � �� ��*�� "0�� ��� �� ����(� ( �� ���� ��

BC= � );;4 !.1>?+�67 ����� @��7 A 6 $ #@�0� !������ ����<<���$���+N ����$�� ���� ���� ������ �$$%� ��� : $ &&� : �����

���$ &$ 7��+�� ���� � JD ���(�� � �� 6 &� ��� �� � �� "0��+( ���� ���+����$ �� D�� 746/) "� � � ����$ �� D�� 7/ "� � � ����$ (� ��*�� "0�� � 7/ "� ��� 674 "� ��"0�� K )�&�$ �� D�� 746 "� � � ����$

����� &$ 6 ���(� ����� ��� ��� ����(� ��� ����� ���� � "� ��������� ( ������� "0�� ��� ��������� ���� �� � �� ����$

7/ "� � 674 "� ( ���(� ����� � %O' ����(� ��� ����� %�:<�'

���� ��� � ������ �� ��� ��

& � ; =; )5 8= =& ))= � & 5& 4= 58 4B &B) � & 8) =; =I 48 &4& � & C; =5 =4 4= I& � ) CB 5; 4B 4) 8& � 4 BI 55 44 4& 4; � & &;B 8; )I )I ;

����

�����

�� �� ��� �� ���<0� ��( 1��� 2�� ���� � � ��/) ��� ����� � ��*�� "���+0�������� � � �����

Page 3: Atomic Layer Deposition of TiO2 Thin Films on Mixed Self-Assembled Monolayers Studied as a Function of Surface Free Energy

��"0�� K &�) ��� )�&�$ �� ���� ��� ���� ������ � ����*�� "0�� �� ��� ���� �� ��� ����(����� ��� �� ����(�� � �� ������� �� ��� �� � ��� ����(�� ����� � �� ����� �3��� ������ ���� � � & ��P& �� ��� �� �� ��)$) Q�$ .� ( ����� �� �� ����(� ������ � �� ������� "��������� ��� � ��� ���� � �� �� �� )$& Q$ ���� ������� ��������� ��� �� ��*�� "0�� �� ��� � ���� �� ��� ������� ������� � � �� � � ((� �� �� �� �����( �����(���$�� F� ��� ���(� ��� ��(����� � �� ��/) ��� ����� �

�� 7/ "� � � ���� ����� �� ����� � 012 (�(��� ��� �� �� ����� 4$ �� ��(����� � �� ��/) ���� ��(������������ ��� �� ����� � (�(���� ����(����� ��� �� 012

( ����� �� ��� �����(���� � ( ������ ��(�� �$ �� �������� �� ��� ��� ;$8B Q �� (�(��$ �� ����(� � � � �� ��� ��/) ����� � �� "0�� ��� ������� ��� 0�� �� ��������� � ��$ ����� = � �� 0�� ������ � �� ��/) �������� ����� � �� ��� 7/ "� � � ���� ��� � �� ��*��

"0�� � 7/ "� ��� 674 "� � � ����� ��� �������� � ����� � ��"0�� K =�&� )�&� &�&� &�)� ��� &�4�$ �� ����(� � ����/) ���� ��� ����� � �� ��� 7/ "� � � ������� K 8= �:� &� ���$ =�� �� �� �� � �� �� ����(� � �� ���+���� "� ��������� ����(����� ��� �� � �� � �� ��/) ���� ((�� �� � �� +������� ��� ���� � ��$�$� ����+��+����� ���$ � ���� � � � ����� ����� � �� ����� ������� �� ������ � �� ����(� � �� ��/) ���� ��� ����� � � ��*��� � ���� � 7/ "� ��� 674 "� ��� �"0�K =�& ��� K58 �:� &� ���$ =��$ � �� � ���� ������� �� ��� ��� ���+������� �� �� ����(�$ 0� �� �"0� � �� ��*�� � � +����� ��� K =I � 4B �:� &� ���$ =( �� ��(������ �� ����� ��� ������� ��(����� ��� �� ������� ��� �������� ��� (���+���$ ��� ��(� ������ �� � ������� � �� ����(� � � �+ ��$ �������� �� ����(� � �� ��/) ���� ��� ����� � ����*�� � � ���� ��� �"0�K &�4 ��� K 44 �:� &� ���$ =��� �� ���� ������� ��� ���� (������� ����(����� ��� � ���+������� ��� � �� � �� � �������$ ���� ������� ��������� ��� �� 012 � �� � �� � �� ��/) ���� (����� ��� ���(�� � � ����(� ��� ����� � �� "� ���������� ��� ������(� ��� ����� (�� �� � ������ �� ����� ��*�� ����+��+������� � � �����$ �� F���� ���(� � �� ��/) ��� ����� � �� "0�� ��� ������� �� � ���(�� � � ����(� ��� ���+��$ ����� 5 � �� ��� �� F� ��� ���(� �� ��� ��(������ �� � 44 �:� &� ��( �� �� ����(� ��� ����� � ����*�� "0�� ����� �"0�K &�4� ��� ��� ������ ��(������ R� � �� ��� 674 "� � � ����$ ���� ������ ���������� �� � �� ��� � �� ��/) ����� �� ��� ��(����� ���� ����� � �"0� ��(����� ��� ��� �� ��/) ���� �� � �� ��� � �� ��� 674 "� � � ����� ��(���� �� ������������(� � �� � � ��� ��� ���(�� ��� � �� � ��(� ��� 012��(�� �$

���� ���� ������ �$$%� ��� : $ &&� : ����� ����<<���$���+N ����$�� � );;4 !.1>?+�67 ����� @��7 A 6 $ #@�0� !������ BC5

���$ )$ 0�� ������ �) ��P) ��� � ��*�� "0�� ( �������� � 7/ "� ���674 "�$ �� 7���� ��� �� ���� ������ ��"0�� K &�)�$ (� 7���� ��� �� ���������� ��"0�� K )�&�$

���$ 4$ F� ��� ���(� ��� ��(����� � �� ��/) ��� ����� � �� 7/ "� � � +���� ����� �� ����� � 012 (�(���$

���$ =$ ���+������� ��� 0�� ������ �5 ��P5 ��� � �� ��/) ����� ��� �+���� � �� "0��$ �� D�� 7/ "� � � ���� ��� K )$5 Q�9 �� �"0�� K =�&��� K );$= S�9 (� �"0�� K )�& ��� K &)B$= Q�9 �� �"0�� K &�& ��� K &C5$5 Q�9�� �"0�� K &�) ��� K )58$B Q�9 �� �"0�� K &�4 ��� K 4)8$4 Q�$

����

�����

�� �� ��� �� ���<0� ��( 1��� 2�� ���� � � ��/) ��� ����� � ��*�� "���+0�������� � � �����

Page 4: Atomic Layer Deposition of TiO2 Thin Films on Mixed Self-Assembled Monolayers Studied as a Function of Surface Free Energy

%" (����������

�� �������(� � �� ����(� ��� ����� � �� "� ��������� � �� � �� � ��� � ��/) ��� ����� �� ���� ������� ���0��� JD"� ��� ( ���(�+����� ��������$ ��*�� ����+���������� � ����� ��� ������ ����(� ( �� ���� �� � 746 "� ���7/ "� ��� � ��� � �� "� ���������$ �� � � ����� ������ � ���� ��� ��� � ���� ������� � ��� � � ���������� � �����( ���� �(���$ �� ����(� ��� ������� � ����*�� "0�+( ���� �������� ������ � � 8= � )I �:� &� ��+��� � �� ��������� ������� �� �� ����(� ( �� ���� � ��� 746 "� ��� 7/ "�� ��( ����� ��� �� ����(� ��� ��+��� � � � ��� �������� (�� �� ( �� ���� �� ��*�� "0��$ ����/) ��� ����� ��� � �� � �� ��*�� "0��+( ���� "� ���+������ �� �� ��( ���� ��� ���� � � � �������� �� � � *������ ����$ �� ��(���� �� ��(����� � �� ��/) ���� �� ������������ � �� ����� � (�(���$ �� 012 � �� � �� � ����/) ���� (����� �� � ���(�� � � �� ����(� ��� ����� ��� "� ���������� ��� �� ����(� ��� ����� (�� �� � �������� (������ �� ��� � �� ( �� ����� � �� ��*�� ����+��+������� � � �����$ 0 �� +������� ��� � �� � �� �� ������ � �� "0�+( ���� ��������� ��� �� ����(� ����������$ 0� �� ����(� ��� ����� ��(������ � ���+�����+�� ��� � �� � �� ������ � � ������$ � � ���� ������ ����� � ��� ��� �� ��*�� "0�� (�� �� ���� � ( �� � ��� �� � ��� � �� �� ��( ���� ��� ���� � �� � ������� ������(� ��� ������� � �� ���������$

)" �� �������

�� "� ��������� ���� �� ��� ����( ��� (�� � � �+���� �&;;� ������1@ "��� �� ��� ���������� �� �� ���� & 5 � (�$ 2�(����(� �������674�67)�I"�6�4� 0���(� ICT�� �*���(��� �0���(� ���� ��� IIT��(� � � �0���(� ���� ��� IIT�� ��� (�� � ����(� ��� �0���(� ���+� ��� II$5T� ��� ���� �� �(�����$ �����+&;+���(� ��������(�� ����746/)6�67)�I"�6�4� ��� �������R�� �(( ���� � �� ��� � ���(���� ��+�� ���� %&;'$ 2�� ��R�� ���� ��� ������� ��� � ������ � ����� U ���� ���������������� �� #��/=� ��� ��� ������ � �� �� ������ � "�����(��� ������$�������� �� � � *��� ����/67�674�)�=� 0���(� II$IIIT� ��� ��� � +������ �0���(� IIT� ��� ���� �� �(�����$

�� "� ��������� ��� ��������� ������ �� � (���(�� (������� � (���� ��(( ������ � ���������� � ����� �� 7:/4� � ����� �� :7=/7 ������� ����������� ����� �� 76� ��(�� ���������� ������ �� ��� ��R�� ����� ��� �� �+����� ������ ���$ ��� ��+�������� ��� ���(���� �� .��R��� ��� "���� � �� ��( ���������� ��� � � � ��� � ��(���� *��� ���� � �� ����(� %&&'$ 0������+� *��� "0�� ��� � ��� �� ���(��� �� "� ������� �� � ���� �� � 674 "� ���746/) "� ��(�� � ���� ���� �� �*���(���<(� � � =�& �� )$5 �� � ��������� ( �(������ �$ �� "� ��������� ��� ���� ������� �� �� � ���� � � & �� � ���������� ��� ��� ��� ����� �� (�� � ����(� ��� � �� �� �*(��� ��(���� ��� ���� ��� ��� ���$ �� 746/) "� � � ����� ������(�� � 7/ "� �(( ���� � �� ��� � ���(���� ���� ���� %&;'$ ��"0��+( ���� ������� ��� ��� ��(�� ��� �� 012 ������ 6�(��( =;;; �@���+��(� # ���$ �� ��/) ��� ����� ��� ��� ����� �� �� ������� ��������/67�674�)�= ��� ���� �� 012 ��(�� �$ 0 ����� � � �� � (��� ���� ������ ���$ �� ���/67�674�)�= ��� ���� ��� ���� ���� �� B; ��� ); O6�����(������$ �� ����� � 012 (�(��� �� � �� ��� ���� �� =;;$ �� (�(�� ( �+������ � ) � �*� ��� � ���/67�674�)�=� 5 � 0 ������� ) � �*� ��� � �������� 5 � 0 ������$ �� � ��� �� � ��� � �� 0 ��� ); �((� �������� (���((��������� �� �������$ �� ��/) ��� ����� ��� � �� �� );; O6 ���� ) � $

�� ������� ��� ��� ��(�� ��� �� JD" (���� �� ����� � � � �� � (�������$ � � �� JD" (���� ��� �� � �� � (� ��� ���� ���(���� ���� ����%&)'$ �� ���� ������ ��� & P&; &; � $ 0�� JD ���(�� ��� �( ��� � � �@"(�������( >"6010� �# .. ���(� ���� ����� � 0�#� � �(� �� �� &5 �����&; �0$ �� ������� ����� �(��� ��� (�������� � )B=$8 �� � �� ���� 6 &�����$ >�( ������ ��� �����R�� �� � I;O ����� ������� � �� ���(� � �����R�$D��� ���� ��� (��(������ ����� "���� ��(�� ��� �����(�� � ��� ��� ( +�(��� �� �� ��������� ����������� ��(� � %C'$ 0� ��( � (� ��( �( �� ������ � �� ������� ��� ������� � � D".0 J>+&;; ������� �� ������� � ��$6 ���(� ����� �������� ��� ��� ��� ����� � � ��� 0+&;; H��M+7�� :H1� �� ���� � ������ ���� ��� ��� � ������ ( ���(� ������ �� � ������� �� "������ � � ��� � %&4'$ �� ��(����� � �� ��/) ����� ��� ��������� � E>/1 ��������� � ���(� � ��( �( �� ��� � � ��� "+4&;; "(��( F����(� ����$

H�(������ E��� )5� );;4����� ���� �� E��� )=� );;4

%&' 1$ >(��� ��� �� ���� �� ��� ������ D����� D���� :�� ? � !*+,$%)' @$ 7$ @����� 7$ 7����� 6$ H ����� ��!�� ������ ���� !**+� �"� 45=$%4' �$ "��� ��������� ���� ��!� !*+*� #� )8&$%=' �$ 1������� �$ H������ ��� ����� ����� �$$�� #$%� &4B$%5' �$ 0$ 6��� �� .$ D$ @������� E$ 0$ "���� "$ �$ 2��R� "$ �$ @� ��� ���&

��� �$$$� �'� C=45$%8' 0$ F����� � (�������� �� )������� *����� ������ 0(�����( D����

� �� �� �0 !**!$%C' 2$ ������ �$ D$ "��� ��������� ������ ��� ���9 !����� 6�(����� F# !**$$%B' 0$ E$ #��� (�������� �� ���������9 6����� ��� 7���� :�� ? � !*+-$%I' 2$ E$ /����� H$ 6$ !����� �� �!!�� ��� �� ���� !*,*� ��� &C=&$

%&;' :$ �������� 0$ F����� �$ 1$ D����� ������ !*+*� +� &;&$%&&' 0$ .��R���� ?$ "����� �� ,����������� ���� !*+,� ���� 888$%&)' �$ �$ "���� ?$ #��� -��� .���� ���� ���� !**$� ��� &&B$%&4' 0$ !$ :������� H$ E$ @ �� ������ �� ������ ������� � �$ )� D�����

D���� :�� ? � !*-*$

BC8 � );;4 !.1>?+�67 ����� @��7 A 6 $ #@�0� !������ ����<<���$���+N ����$�� ���� ���� ������ �$$%� ��� : $ &&� : �����

���$ 5$ F���� ���(� � �� ��/) ����� ��� ����� � �� "0�� �� � ���(�� � �����(� ��� �����$

VVVVVVVVVVVVVVVVVVVVVV

����

�����

�� �� ��� �� ���<0� ��( 1��� 2�� ���� � � ��/) ��� ����� � ��*�� "���+0�������� � � �����