FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

Dr inż. Krzysztof Waczyński

Zakład Mikroelektroniki i Biotechnologii

Instytut Elektroniki

Politechnika Śląska, Gliwice

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)

Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: Krzysztof.Waczynski@polsl.pl)r

PRÓŻNIA

Własności gazów rozrzedzonych, metody wytwarzania próżni, metody pomiaru

próżni, wykorzystanie próżni w technologiach mikroelektronicznych

STRUMIENIE CZĄSTEK OBOJĘTNYCH

Źródła par, charakterystyki emisyjne źródeł par, zastosowanie strumieni cząstek molekularnych

w technologii elektronowej (wytwarzanie struktur cienkowarstwowych, wytwarzanie

struktur epitaksjalnych)

FALE ELEKTROMAGNETYCZNEWidmo fal elektromagnetycznych – metody wytwarzania

fal elektromagnetycznych o określonej długości fali, podstawowe własności fal elektromagnetycznych

(dyfrakcja, interferencja), oddziaływanie fali

elektromagnetycznej z ciałem stałym, wykorzystanie fali elektromagnetycznej w technologiach

mikroelektronicznych

WIĄZKA ELEKTRONOWA

Wytwarzanie i charakterystyka wiązki elektronowej, (emisja elektronów, termokatody, kinetyka elektronów, układy sterowania wiązką elektronową), oddziaływanie wiązki elektronowej na ciało stałe, zastosowanie wiązki elektronowej w technologiach mikroelektronicznych,

(systemy elektronolitografii, urządzenia z wiązką elektronową jako źródłem ciepła)

WIĄZKA JONOWAWytwarzanie i charakterystyka wiązki jonowej (źródła

jonów, układy sterowania wiązką jonową), oddziaływanie wiązki jonowej z ciałem stałym (wpływ

wiązki jonów na strukturalne własności rezystów, oddziaływanie wiązki jonowej z amorficznym ciałem

stałym oraz z monokryształem, trawienie powierzchni), zastosowanie wiązki jonowej w technologiach

mikroelektronicznych (jonolitografia, domieszkowanie półprzewodników)

PLAZMA

Sposoby wytwarzania plazmy, oddziaływanie składników plazmy z ciałem stałym, proces osadzania

powłok. Przenoszenie masy i energii do podłoża, charakterystyki emisyjne źródeł, mechanizmy

trawienia plazmowego, zastosowanie plazmy w mikrotechnologii (osadzanie warstw metodą

rozpylania katodowego, suche trawienie)

ZJAWISKA NA POWIERZCHNI CIAŁA

STAŁEGOAbsorpcja, adsorpcja i desorpcja gazu, kondensacja, fizyczne podstawy utleniania powierzchni materiałów

półprzewodnikowych, fizyczne podstawy epitaksji

DYFUZJA W CIAŁACH STAŁYCH

Opis dyfuzji, matematyczny opis dyfuzji, atomowe mechanizmy dyfuzji w monokryształach, zjawisko

dyfuzji w technologii elektronowej (przenikanie gazu przez ciała stałe), domieszkowanie dyfuzyjne

półprzewodników

PRÓŻNIA

Dosłowne znaczenie:

„Przestrzeń całkowicie pozbawiona materii”

Znaczenie techniczne:

„Stan gazu, którego koncentracja lub ciśnienie są niższe od ciśnienia lub koncentracji powietrza atmosferycznego tuż przy powierzchni Ziemi”

PRÓŻNIA

POWIETRZE ATMOSFERYCZNE

KOMORA PRÓŻNIOWA

PRÓŻNIA – OBSZAR OBNIŻONEGO

CIŚNIENIA

PRÓŻNIA

KOMORA PRÓŻNIOWA

PRÓŻNIA – OBSZAR OBNIŻONEGO

CIŚNIENIAPompy próżniowe

PROCESY PROWADZONE

W PRÓŻNI

PROCESY PROWADZONE W PRÓŻNI

Pompy próżniowe

Otrzymywanie bardzo czystych materiałów,

szczególnie takich, które łatwo reagują chemicznie

z gazami zawartymi w atmosferze. Są to techniki wytopów

próżniowych, czyszczenia strefowego

Pompy próżniowe

Usuwanie gazów i składników lotnych rozpuszczonych w

objętości lub zaadsorbowanych na

powierzchni. Destylacja molekularna, impregnacja

Pompy próżniowe

Wytwarzanie warstw cienkich o określonej

konfiguracji i małej ilości zanieczyszczeń.

Przygotowywanie „czystych”powierzchni.

Naparowywanie, napylanie w technice warstw cienkich,

czyszczenie jonowe

Pompy próżniowe

Wytwarzanie płyt CD, pokrywanie warstwami

przeciwodbiciowymi (warstwami

antyrefleksyjnymi) szyb

Pompy próżniowe

Pomiary spektroskopowe powierzchniowych

własności półprzewodników

Pompy próżniowe

Procesy technologiczne w technologii wytwarzania

struktur półprzewodnikowych. Implantacja jonów, elektronolitografia,

jonolitografia

PRÓŻNIA

OPIS FIZYCZNY

PRÓŻNIA

Próżnia może być scharakteryzowana przy wykorzystaniu jednostek opisujących ciśnienie

Ciśnienie wysokie

Ciśnienie niskie

próżnia niska

próżnia wysoka

JEDNOSTKI CIŚNIENIA

JEDNOSTKI CIŚNIENIA - SI

Jednostka ciśnienia 1 pascal (SI)

Tor (Tr) mm słupa rtęci Hg 1Tr

Ciśnienie wywierane przez

słup rtęci o wysokości 1mm

1mmrtęć (Hg)

micron μ 1mTr

słup rtęci o wysokości 1·10 m

1·10 m

Milimetry słupa wody 1mmWS

słup wody o wysokości 1mm

1 mm woda (H O)

Atmosfera fizyczna (atm) 1 atm

słup rtęci o wysokości 760mm

Atmosfera techniczna (at) 1 at

Mikrobar (baria) 1 μbar

dynabar

10 dyn

milibar 1 mbar

barmbar 3101

10 dyn

barbar 6101

Pa bar Torr atm at mmWS

Pa 1 1·10 7.5·10 9.87·10 1.02·10 0.102

bar 1·10 1 750 0.987 1.02 1.02·10

Torr 1.33·10 1 1.32·10 1.36·10 13.6

atm 1.01·10 1013 760 1 1.03 1.03·10

at 9.81·10 0.981 735.6 0.968 1 1·10

mmWS 9.81 9.81·10 7.36·10 9.68·10 1·10 1

-3 -6 -5

21.33·10

-3 -3 -3

-2 -2 -5 -4

hPaatm

hPa1070960 PROGNOZA POGODY

Atmosfera fizyczna

Atmosfera techniczna

atatm 03.11

Atmosfera fizyczna 1 atm

słup rtęci o

wysokości 0.76m lub słup wody o wysokości 10.3m

4m6m8m

10mHg H2O

atbar 02.11

ftlbfpsf

inchlbfpsi

Spotykane sporadycznie – w ang. literaturze

PODZIAŁ ZAKRESU

PODCIŚNIEŃ PRÓŻNI

PODZIAŁ ZAKRESU PODCIŚNIEŃ PRÓŻNI

NAZWA PRÓŻNI

JED.CIŚ. [mbar]

JED.CIŚ. [Pa]

JED.CIŚ. [Tr]

niska 1013÷1 10 000÷100 760÷1

średnia 1÷10 100÷10 1÷10

wysoka 10 ÷10 10 ÷10 10 ÷10

ultrawysoka <10 <10 <10

SKŁAD ATMOSFERY

GAZY % wagowe % objętościowe

N2 75.51 78.1

O2 23.01 20.93

Ar 1.29 0.93

CO2 0.04 0.03

Ne 1.2·10 1.8·10

He 7·10 7·10

CH4 2·10 2·10

Wilgotność względna 50% przy temperaturze 20°C

CISNIENIE CZĄSTKOWE - PARCJALNE

600kmPowietrze atmosferyczne

Wysoka próżnia

Ultrawysoka próżnia

WŁASNOŚCI GAZÓW

ROZRZEDZONYCH

PODSTAWOWE ZAŁOŻENIA

KINETYCZNEJ TEORII GAZÓW

WŁASNOŚCI GAZÓW ROZRZEDZONYCH

PODSTAWOWE ZAŁOŻENIA KINETYCZNEJ TEORII GAZÓW

1. Materia złożona jest z małych cząstek, zwanych molekułami. Dla określonej substancji chemicznej cząsteczki są identyczne pod względem masy, kształtu, objętości

2. Cząsteczki gazu są w nieustannym ruchu. Ich energia kinetyczna uzależniona jest od temperatury gazu

3. Temperatura gazu określa wyłącznie energię kinetyczną ruchu postępowego cząsteczek

4. Objętość własna wszystkich cząsteczek jest do pominięcia w porównaniu z objętością zbiornika

5. Cząsteczki nie wywierają wzajemnie na siebie żadnych sił

6. Zderzenia między cząsteczkami i ściankami zbiornika są zderzeniami elastycznymi

CIŚNIENIE I ENERGIA GAZU

Zbiornik wypełniony gazem o koncentracji „n”

Cząsteczka gazu może poruszać się w dowolnym kierunku

v – wypadkowa prędkość

vx – składowa w osi „x”vy – składowa w osi „y”vz – składowa w osi „z”

Część cząsteczek uderzy w wybrany fragment powierzchni „ΔS” zbiornika

Ilość cząstek „N” w elemencie objętości

n – koncentracja V - objętość

vx – składowa prędkości t - czas

Przy założeniu równouprawnienia wszystkich kierunków ruchu, połowa z tych

cząsteczek posiada dodatnie składowe prędkości w kierunku osi „x” i w czasie „t”

uderza w wybrany fragment powierzchni ścianki zbiornika „ΔS”

SvntN x /

Zderzenie elastyczne

- zmiana kierunku (znaku) pędu,

- bezwzględna wartość pędu nie ulega zmianie

Siła wywierana przez jedną cząstkę

Całkowita siła wywierana przez połowę cząstek gazu zawartych w elemencie objętości

vmNF x

Całkowita siła wywierana przez połowę cząstek gazu zawartych w elemencie objętości

Ponieważ:

2222zyx vvvv

Przy równouprawnieniu wszystkich kierunków ruchu:

222zyx vvv

Otrzymano:

22 3/1 vvx

Siła wywierana na ściankę:

SnvmFx 203/1

Ciśnienie wywierana na ściankę:

203/1 vnmp

PRAWO DALTONA

Jeżeli zbiornik wypełniony jest mieszaniną gazów, wówczas każdy z tych gazów będzie wywierał odpowiednią siłę

220222

210111

PRAWO DALTONA

Całkowita siła będzie sumą sił wywieranych przez poszczególne składniki

ixix FF

PRAWO DALTONA

Całkowite ciśnienie gazu jest równe sumie ciśnień cząstkowych wywieranych przez

poszczególne składniki

ENERGIA GAZU

Energia kinetyczna cząsteczki gazu

ENERGIA GAZU

Przy założeniu, że „v” jest, identyczną dla wszystkich cząsteczek, prędkością średnią

kwadratową (obliczoną dla wszystkich cząsteczek)

21 .../1 NK vvvNvv

ENERGIA GAZU

Całkowita energia kinetyczna gazu będzie sumą energii poszczególnych cząsteczek

202/1 vmE

ENERGIA GAZU

„m” – całkowita masa gazu

vmE 202/1

ENERGIA GAZU

Energia kinetyczna gazu

ENERGIA GAZU

Energia kinetyczna gazu - obliczenia

0/ nmVm ρ – gęstość gazu

n – koncentracja gazu

ENERGIA GAZU

203/1 vnmp

23/1 vp

ENERGIA GAZU

23/1 vp 2

ENERGIA GAZU

23 mvpV

ENERGIA GAZU

pVEK 2

Całkowita energia kinetyczna gazu:

ENERGIA GAZU

QEK 2/3

Ilość gazu QpV

ENERGIA GAZU

Energia kinetyczna gazu – a więc i jego temperatura zależy wyłącznie od ilości gazu

„Q” a nie od rodzaju gazu.

Przy ustalonej objętości zbiornika i ustalonym ciśnieniu gazu energie kinetyczne i temperatury wszystkich gazów są jednakowe

PRAWO AVOGADRO

Gaz A Gaz B

V1, p1, T1 V1, p1, T1

212121 ,, TTppVV

PRAWO AVOGADRO

2121 )2)1 TTpp

2/12/1

3/13/1

vmnvmn

PRAWO AVOGADRO

21 nn Przy tym samym ciśnieniu i w tej samej temperaturze koncentracja

cząsteczek gazu jest dla wszystkich gazów jednakowa

Prawo Avogadra

OBJĘTOŚĆ ZAJMOWANA PRZEZ GRAMOCZĄSTECZKĘ

GRAMOCZĄSTECZKA

Ilość gramów gazu równa jego liczbie molowej

Rozpatrzmy:

- dwa, różne gazy pozostające w tej samej temperaturze (T1=T2) i pod tym samym ciśnieniem (p1=p2)

- masa każdego z gazów jest równa jego masie molowej (M1, M2)

T1=T2 (oznacza to równość energii gazu)

211 2/12/1 vMvM

p1=p2 (równość ciśnień)

Objętość zajmowana przez gramocząsteczkę gazu w

ustalonych warunkach ciśnienia i temperatury jest wielkością stałą

dla wszystkich gazów

Objętość molowa gazu wyznaczona doświadczalnie przy ciśnieniu 1atm

i w temperaturze 0°C wynosi:

415,22

LICZBA AVOGADRO

Z poprzednio wyprowadzonych zależności wynika, że:

1. Przy tym samym ciśnieniu i w tej samej temperaturze koncentracja cząsteczek jest dla wszystkich gazów jednakowa

2. Objętość zajmowana przez gramocząsteczkę gazu, w ustalonych warunkach ciśnienia i temperatury jest wielkością stałą dla wszystkich gazów

LICZBA AVOGADRO

Ilość cząsteczek zawartych w jednym molu gazu jest wielkością stałą dla wszystkich

gazów niezależnie od ciśnienia i temperatury. Wielkość ta znana jest jako:

LICZBA AVOGADRO

LICZBA AVOGADRO - NA

Wyznaczona doświadczalnie

23100228,6 AN

LICZBA AVOGADRO

Znając masę molową substancji chemicznej oraz liczbę Avogadro można wyznaczyć pojedynczej

masę cząsteczki

LICZBA AVOGADRO

M - masa molowa substancji – liczba gramów substancji (gazu) równa jego liczbie masowej

Powłoki elektronoweOTlen15,9994

KLMNOPQ

Liczba atomowa

Symbol pierwiastka

Nazwa pierwiastka

Masa atomowa

RÓWNANIE STANU GAZU

Prawo Boyla-Mariotta

Prawo Gay - Lusaca

constTdlaconstVp

constpprzyTV

Uwzględniając oba powyższe prawa – uzyskano:

TVp Zależność jednakowa dla wszystkich gazów

Równanie Clapeyrona

TRVp R – stała uniwersalna

(Równanie Stanu Gazu Doskonałego)

Wartość liczbowa stałej uniwersalnej R dla 1 mola gazu

Objętość molowa gazu wyznaczona

doświadczalnie przy ciśnieniu p0=1atm i w temperaturze T0 = 0°C

wynosi V0=22,4l

VpRM 16.273

415,22760

mPaRM 16,273

10415,2210013,1 335

(dla dowolnej ilości gazu)

m/M – ilość moli rozpatrywanego gazu

Równanie Stanu Gazu Doskonałego

Obliczenie ilości moli gazu

m=64g O2

masa molowa cząsteczki tlenu O2

M=2·16g=32g

ZWIĄZEK MIĘDZY ENERGIĄ

KINETYCZNĄ CZĄSTECZKI A

TEMPERATURĄ GAZU

ENERGIA KINETYCZNA CZĄSTECZKI A TEMPERATURA GAZU

Energia kinetyczna dla 1 mola gazu

TRpV MpVEK 2

TRE MK 2

mTRMv M

Energia kinetyczna pojedynczej cząsteczki

1KE ANMm /1/0

Odwrotność liczby Avogadro

Stała BoltzmannakNR AM /

kTEK 2

Stała Boltzmanna

/10616,8

/1036,10

/10381,1

ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY

GĘSTOŚCIĄ GAZU A CIŚNIENIEM

ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY GĘSTOŚCIĄ GAZU A CIŚNIENIEM

Równanie stanu gazu:

TRmMpV

TRMmpV

ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY GĘSTOŚCIĄ GAZU A CIŚNIENIEM

Gęstość gazu jest proporcjonalna do ciśnienia gazu

ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY

KONCENTRACJĄ GAZU A

CIŚNIENIEM

ZALEŻNOŚĆ POMIĘDZY KONCENTRACJĄ GAZU A CIŚNIENIEM

nmVm 0/ Gęstość gazu:

m0 – masa cząsteczki gazun – koncentracja gazu

0/ mn Koncentracja gazu:

Koncentracja gazu:

Liczba Avogadro AN

Koncentracja gazu:

Odwrotność stałej Boltzmanna k/1

Koncentracja gazu:

Koncentracja gazu jest wprost proporcjonalna do ciśnienia a odwrotnie proporcjonalna do temperatury gazu

ZDERZENIA MIĘDZY CZĄSTECZKAMI

1. Cząsteczka gazu poruszając się w chmurze innych cząsteczek co pewien czas ulega zderzeniom

2. W wyniku każdego zderzenia zmienia się kierunek ruchu

3. Tor cząsteczki składa się z odcinków linii prostej. Długości tych odcinków nie są jednakowe

4. Dla dostatecznie długiego czasu „t” wyznaczyć można średnią drogę cząsteczki miedzy kolejnymi zderzeniami „L”[m]

5. Dla dostatecznie długiego czasu „t” wyznaczyć można średnią ilość zderzeń „z” [1/s]

DEFINICJAŚrednica cząsteczki jest to

najmniejsza odległość na jaką mogą zbliżyć się dwie cząsteczki

jednakowego gazud

DROGA PRZEBYTA PRZEZ CZĄSTECZKĘ

ŚREDNIA DROGA SWOBODNA

va – średnia prędkośćz – średnia ilość zderzeńL – średnia droga swobodna

czas t

droga l

Cząsteczka poruszająca się ze średnią prędkością „va” przebywa w czasie „t” drogę:

stsmvml a /

Cząsteczka w czasie t przebywa drogę równą średniej drodze swobodnej razy liczba zderzeń:

.. zdlmLml

Cząsteczka w czasie pokonywania odległości „l” w czasie „t” doznaje:

stszzdl /1..

Z cząsteczką gazu „2” zderzą się tylko te cząstki gazu „1”, których środki mas przechodzą przez

powierzchnię koła o promieniu „r12”v1

Z cząsteczką gazu „2” zderzą się tylko te cząstki gazu „1”, których środki mas przechodzą przez

powierzchnię koła o promieniu „r12”

212112

Liczba cząsteczek „N1” gazu znajdujących się w rozważanej objętości

n1 –koncentracja cząstek gazu

tvSnN 11211 1

Ilość zderzeń cząstek gazu „1” z nieruchomą cząstką „2” w jednostce czasu – „z12”

v1t112112

Średnia droga swobodna cząsteczki „L12”

v1t12112

W przypadku gazu jednorodnego

v1t 212

W przypadku gazu jednorodnego: wzajemna liczba zderzeń cząstek „z11” i średnia droga pomiędzy

zderzeniami „L11”

v1t211

PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA

PRZEPŁYWU

PRZEPŁYW GAZU OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU

ZBIORNIK (o objętości V)

PRZEWÓD (o przewodności G)

POMPA PRÓŻNIOWA

Podczas pompowania ciśnienie w zbiorniku maleje

a odpompowywany gaz przepływa do pompy

(natężenie przepływu gazu I) przez przewód łączący o

przewodności G

ZBIORNIK

wydajność pompowania

ciśnienie

szybkość pompowania

efektywna szybkość pompowania

WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA

DEFINICJA

WYDAJNOŚĆ POMPOWANIA DEFINICJA

Q – ilość gazup – ciśnienie gazu

V – ciśnienie gazut – czas

Q – ilość gazup – ciśnienie gazu

V – ciśnienie gazut – czas

m – masa gazuM – masa molowa

m – masa gazum0 – masa pojedynczej cząsteczki N – liczba cząsteczek gazu

m0 – masa pojedynczej cząsteczki gazuM – masa molowaN – liczba cząsteczek gazu

0/ mMN A Liczba Avogadro

AM NRk /Stała Boltzmanna

C – wydajność pompowania dN/dt – zmiana ilości cząsteczek gazu w czasie

SZYBKOŚĆ POMPOWANIA

DEFINICJA

SZYBKOŚĆ POMPOWANIA - DEFINICJA

ZBIORNIK

wydajność pompowania

ciśnienie

szybkość pompowania

efektywna szybkość pompowania

Wydajność pompowania w płaszczyźnie A-A

dQCA 2

W dowolnej chwili czasu „t” ciśnienie gazu w zbiorniku wynosi „p2”

Zmiana objętości pompowanego gazu

dVpCA 2

Szybkość pompowania „S” - definicja

Efektywna szybkość pompowania „SE” – szybkość opróżniania zbiornika w

płaszczyźnie A-A

Szybkość pompowania pompy „S” – szybkość opróżniania zbiornika przez

przewód w płaszczyźnie B-B

EA SpC 2Wydajność pompowania w płaszczyźnie A-A

Wydajność pompowania w płaszczyźnie B - B

SpCB 1

NATĘŻENIE PRZEPŁYWU

DEFINICJA

ZBIORNIK

12 ppGI I - natężenie przepływu

G - przewodność przewodu

OGÓLNE PRAWA PRZEPŁYWU

12/ ppGI

BA CIC

Wzdłuż drogi przepływu nie występują procesy wydzielania czy też pochłaniania

EFEKTYWNA SZYBKOŚĆ

POMPOWANIA

EFEKTYWNA SZYBKOŚĆ POMPOWANIA

SSG E /1/1/1

GSGS E

SSSG E

ZBIORNIK

Efektywna szybkość pompowania zbiornika

„SE” będzie zawsze mniejsza lub co najwyżej równa przewodności „G” kanału łączącego zbiornik

z pompą

PRZEWODNOŚĆ OPORNOŚĆ PRZEWODU

PRZEWODNOŚĆ (OPORNOŚĆ) PRZEWODU

Oporność przewodu równa jest odwrotności przewodności

WYPADKOWA PRZEWODNOŚĆ

(OPORNOŚĆ) PRZEWODU

WYPADKOWA PRZEWODNOŚĆ (OPORNOŚĆ) PRZEWODU

G1(W1) G2(W2) G3(W3) G4(W4)

WYPADKOWA PRZEWODNOŚĆ (OPORNOŚĆ) PRZEWODU

G1(W1)G2(W2)G3(W3)G4(W4)

ZACHOWANIE SIĘ CZĄSTEK GAZU W

RÓŻNYCH ZAKRESACH PODCIŚNIEŃ

PODZIAŁ ZAKRESU PODCIŚNIEŃ PRÓŻNI

NAZWA PRÓŻNI

JED.CIŚ. [mbar]

JED.CIŚ. [Pa]

JED.CIŚ. [Tr]

niska 1013÷1 10 000÷100 760÷1

średnia 1÷10 100÷10 1÷10

wysoka 10 ÷10 10 ÷10 10 ÷10

ultrawysoka <10 <10 <10

KONCENTRACJA CZĄSTECZEK

KONCENTRACJA CZĄSTECZEK, ŚREDNIA DROGA SWOBODNA

mbarp 11013PRÓŻNIA NISKA

mbarp 3101 PRÓŻNIA ŚREDNIA

mbarp 73 1010 PRÓŻNIA WYSOKA

mbarp 710PRÓŻNIA U-WYSOKA

POWIERZCHNIOWA SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ

OBJĘTOŚCIOWA SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ

POW. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ, OBJ. SZYBKOŚĆ ZDERZEŃ

132329

122023

131723

121720

121317

CZAS TWORZENIA SIĘ MONOMOLEKULARNEJ

WARSTWY

s25 1010

s10010 2

FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII

Documents

Optymalizacja przygotowania do leczenia nerkozastępczego nerkozastępcze... · Hemodializa - podstawy fizyczne Dyfuzja (usuwanie toksyn, regeneracja zasad) ... Powikłania dializy

Fizyczne podstawy badań środowiska Wykład VI

Fizyczne Podstawy Teledetekcji Wykład 8

Fizyczne Podstawy Teledetekcji Wykład 7

SPP.ogólna.T1 Rozdz. 14 - Osoby Fizyczne

Mirosław Cygan - przygotowanie fizyczne zespołu

Atmosfera ziemska i zjawiska fizyczne

Podstawy Konstrukcji Maszyn · 2020. 3. 18. · Podstawy Konstrukcji Maszyn 2 1. Metale. 2. Stopy metali. 3. metali i ich. a) fizyczne. b) mechaniczne. c) mechaniczne technologiczne

Właściwości fizyczne gleb

Wychowanie Fizyczne

Instalacje fotowoltaiczne. Podstawy fizyczne działania. Ochrona …yadda.icm.edu.pl/.../c/Jaskolowski_Wiatr_ZN_SGSP_Nr_59.pdf · 2016-12-08 · Instalacje fotowoltaiczne. Podstawy

NMR · Fizyczne podstawy NMR • Proton, neutron, elektron posiadaj ą spin ½ • Spin j ądra jest wypadkow ą spinów cz ąstek składaj ących si ę na j ądro

Układ pomiaru temperatury termoelementem typu K …layer.uci.agh.edu.pl/T.Stobiecki/dydaktyka/...Plan prezentacji Fizyczne podstawy działania termopary Zalety wykorzystania termopar

Fizyczne Podstawy Teledetekcji Wykład 9

Zjawiska fizyczne w gastronomii

Jednostki fizyczne Cechy fizyczne wody i powietrza Prawa fizyczne Przykłady obliczeń

· Podstawy balistyki Fizykochemia w kryminalistyce Metody fizyczne W kryminatistyce Laboratorium kryminalistyczne I dr Angelika Baranowska tqczkowska mgr Marcin Borowicz dr habe

sidzina.edupage.org · Web viewCzym zajmuje się fizyka? fizyka jako nauka doświadczalna procesy fizyczne, zjawisko fizyczne ciało fizyczne a substancja pracownia fizyczna przepisy

Hydrobiologia Właściwości fizyczne wody

Studia pierwszego stopnia - Wydział Chemiichemia.amu.edu.pl/__data/assets/pdf_file/0004/274306/RPS-2015-20… · 4 Podstawy chemii . 30 30 15 75 150 10 * 5 Wychowanie fizyczne