目次1. タイムテーブル · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 12. 会場 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 43. フロアマップ · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 54. 特別招待講演 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 55. 招待講演 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 56. チュートリアルセッション · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 67. ポスターセッション · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 68. オーサーズコーナー · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 69. イブニングセッション · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 610.商業展示・コマーシャルセッション · · · · · · · · · · · · 611.Luncheon Seminar · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 712.参加費 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 713.参加申込要領 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 814.キャンセル規定 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 915.宿泊施設のご案内 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 916.最新情報 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 917.シンポジウム企画運営委員会 · · · · · · · · · · · · · · · · · 918.ナノテスティング学会事務局 · · · · · · · · · · · · · · · · · 1019.講演プログラム · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 10

11月 9日 (水)午前 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 1011月 9日 (水)午後 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 1111月 10日 (木)午前 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 1211月 10日 (木)午後 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 1411月 11日 (金)午前 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 1611月 11日 (金)午後 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 17

20.著者索引 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 1921.商業展示 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 2122.賛助会員一覧 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 23

1 タイムテーブル

– 1 –

1

– 2 – – 3 –

2 会場講演会：

千里ライフサイエンスセンター 5F　ライフホール大阪府豊中市新千里東町 1-4-2 Tel: 06-6873-2010北大阪急行 (地下鉄御堂筋線)千里中央駅北口出口すぐ

商業展示：千里ライフサイエンスセンター 6F　千里ルーム同上

イブニングセッション：千里阪急ホテル　クリスタルホール大阪府豊中市新千里東町 2-1-D-1 Tel: 06-6872-2211

– 4 –

2

3 フロアマップ

千里ライフサイエンスセンター 5F

千里ライフサイエンスセンター 6F

4 特別招待講演11 月 10 日 (木) 17:20～18:20、Gerald Deboy 博士

(Senior Principal, Power Semiconductors and SystemEngineering, Infineon Technologies Austria AG PowerManagement & Multi-Market)による特別招待講演 “Failuremechanisms and identification of failure root causes inmodern power semiconductor devices”を実施します。

5 招待講演下記の予定で、招待講演を実施します。

11月 9日 (水) 13:55～14:55：村上恭和先生「電子線ホログラフィーによるナノ構造体の電磁場解析」(九州大学　大学院工学研究院)

– 5 –

11月 10日 (木) 13:50～14:50：鬼塚　真先生「グラフマイニングと IoT技術の動向と応用」(大阪大学　大学院情報科学研究科)

6 チュートリアルセッション下記の予定で、チュートリアルセッションを実施します。

11月 9日 (水) 10:55～11:45：須賀三雄様「3次元電子顕微鏡」(日本電子)

11月 9日 (水) 11:45～12:35：講演者未定「講演題目未定」(日立ハイテクノロジーズ)

11月 11日 (金) 9:00～9:50：寺田浩敏様「光学顕微鏡における超解像技術」(浜松ホトニクス)

7 ポスターセッション11月 10日 (木) 15:10～16:10、6F千里ルームにて、ポ

スターセッションを実施します。ポスターセッションで発表される論文のショート (1分)プレゼンテーションが、同日 12:05～12:20に、5F講演会場 (ライフホール) にて行なわれます。

8 オーサーズコーナー発表者の皆様とより活発な議論を行って頂ける場とし

て、講演後にオーサーズコーナーを設けます（特別セッション、コマーシャルセッションの講演は除く）。

9 イブニングセッションイブニングセッションでは、ナノテスティングに関す

る、世界での研究動向の報告と今後の展望について討論を行います。シンポジウム 2日目 11月 10日 (木) の夜、会場は講演会場から近い千里阪急ホテルです。コース Aのシンポジウム参加費用には、イブニングセッション参加費も含まれています。

10 商業展示・コマーシャルセッションシンポジウムでは、新たに開発した、改良した、ナノ

テスティングに関係する装置等を参加者にご紹介できる、

– 6 –

また、ディスカッションできる商業展示フロア (6階千里ルーム) を準備しています (2日目, 3日目)。さらに、講演会場にて新製品をショートプレゼンテーションにて紹介できる、コマーシャルセッションを準備しています (2日目)。

11 Luncheon Seminar11月 9日 (水)、10日 (木)の両日、昼食休憩時間帯に、

日本エフイー・アイ株式会社 (11月 9日)、浜松ホトニクス株式会社 (11月 10日)により Luncheon Seminarが開催されます。事前申し込みが必要ですので、シンポジウム参加申し込みの際、参加するセミナーをチェックしてください。

日本エフイー・アイ Luncheon Seminar：11月 9日 (水)

テーマ： 根本原因分析を向上させる電気的故障個所特定と物理的不良解析のインテグレーション

概要： 微細化と複雑化が進むことにより、根本原因の解明はより難しく、また、非常に重要になっています。根本原因分析の成功率を向上させ、低コストで確かな結果を迅速に得るための、電気的故障箇所特定と物理的不良解析のインテグレーションをご紹介します。

浜松ホトニクス Luncheon Seminar：11月 10日 (木)

テーマ： 光による半導体故障解析技術概要： 今回はパワーデバイス解析技術とケーススタディ、

各解析技術を支える故障解析装置に求められる光学技術について紹介いたします。

12 参加費参加費は、下記のいずれかの方法で 10月末日までにご

送金下さい。

– 7 –

3

《郵便振替》口座番号： 00910-0-16745加入者名： ナノテスティング学会

• 郵便振替用紙 (払込取扱票) の通信欄に参加者氏名を記入して、郵便局よりご送金下さい。

• 誠に恐縮ですが、振り込み手数料は、貴方にてご負担下さい。

《銀行振込》口座： りそな銀行　千里北支店　普通口座 6843152加入者名： ナノテステイングガツカイ　ナカマエ　コ

ウジ

• 送金後、所定の用紙で振込情報をご連絡下さい。連絡用紙は本会Webにてダウンロードして頂けます。

《クレジットカード》本会Webで参加申し込みをして頂くと、申し込み完了

後、クレジットカードによる参加費支払いのボタンが表示されます。ボタンをクリックし、画面の指示に従ってお支払いください。

請求書、領収証の発行について本会Webで参加申し込みをして頂くと、印影の入った

PDF請求書が表示されます。請求書の郵送が必要な場合は、参加申し込み時に、「請求書の郵送」欄をチェックしてください。期日までにお支払い頂き、入金確認が完了した場合に

は、シンポジウム受け付けにて領収書をお渡し致します。それ以外の場合は、参加申込時に「領収証の郵送」欄をチェックしている場合に限り、後日郵送にてお送りします。

13 参加申込要領10月 28日 (金)までに、本会Webにてお申し込み下さ

い。申込完了時に表示される参加証をプリントアウトし、当日、受付にご提出下さい。

http://www-NANOTS.ist.osaka-u.ac.jp/

当日、会場座席に余裕のある場合に限り、当日申し込みを受け付け致します。満席の場合には受け付けできませんので、できる限り、事前にお申し込み下さい。

– 8 –

講演者、商業展示担当者の皆様につきましても、全員参加申し込み手続きが必要です。

14 キャンセル規定キャンセルの場合、下記の通り、キャンセル料を申し

受けます。予めご了承ください。

• 11月 4日 (金) 17:00まで：参加費の 10%• シンポジウム当日まで、あるいは、ご連絡無くご欠席の場合：参加費の 100%

参加費をお支払い済みの場合、キャンセル料および銀行振り込み手数料を差し引いて、ご返金申し上げます。

15 宿泊施設のご案内会場から徒歩約 5分の位置に千里阪急ホテルがござい

ます。千里阪急ホテルは、イブニングセッションの会場にもなっています。宿泊ご希望の方は、下記、千里阪急ホテルWebサイトにてご予約下さい。満室になり次第、締め切りとなりますので、お早めにご予約下さい。

http://www.senri-htl.co.jp/

16 最新情報シンポジウムに関する最新情報は、下記Webに随時掲

載致します。適宜ご参照下さい。

http://www-NANOTS.ist.osaka-u.ac.jp/

17 シンポジウム企画運営委員会委員長 中前 幸治 (大阪大学)委 員 小瀬 洋一 (日立ハイテクノロジーズ)

後藤 安則 (トヨタ自動車)小山 徹 (ルネサスセミコンダクタマニュ

ファクチュアリング)須賀 三雄 (日本電子)寺田 浩敏 (浜松ホトニクス)二川 清 (金沢工業大学)則松 研二 (東芝　ストレージ＆デバイスソ

リューション社)樋口 裕久 (日立パワーデバイス)益子 洋治 (大分大学)三好 元介 (東京大学)茂木 忍 (日本 FEI)山崎裕一郎 (NGR)

　

– 9 –

18 ナノテスティング学会事務局ナノテスティング学会事務局 三浦克介・御堂義博

(2015年 6月に移転し、住所が変わりました)〒 565-0871吹田市山田丘 1-5大阪大学　大学院情報科学研究科情報システム工学専攻　中前研究室内Tel/Fax: 06-6879-7813 / 06-6879-7812E-mail: NANOTS@ist.osaka-u.ac.jpWeb: http://www-NANOTS.ist.osaka-u.ac.jp

19 講演プログラム

11月 9日 (水)午前. . . . . . . . . . . . . . . 9:15～9:20オープニング . . . . . . . . . . . . . . .

Process Evaluation Techniques: Metrologyand Inspection 9日 (水) a.m.

座長 山崎裕一郎

(1)9:20

FIBと CD-SEMを用いた 3Dデバイス形状の計測川田洋揮(a, 井古田まさみ(a, 栄井英雄(b / a)日立ハイテクノロジーズ 電子設, b)日立ハイテクノロジーズ開発 2グループ

(2)9:45

卓上型放射光MIRRORCLEによるサブミクロンX線顕微 CTへの展望尾崎健人, 前尾修司, 山田廣成 / 光子発生技術研究所研究開発部

(3)10:10

X線斜め CT撮影の高解像度化安達昭司 / ユニハイトシステム 技術営業部

. . . . . . . . . 10:35～10:55オーサーズコーナー&休憩 . . . . . . . . .

Tutorial: Trend in Electron Microscopy9日 (水) a.m.

座長 小瀬洋一・須賀三雄

(T1)10:55

チュートリアル: 3次元電子顕微鏡須賀三雄 / 日本電子

(T2)11:45

チュートリアル: 超高分解能走査電子顕微鏡の開発とその機能拡大佐藤 貢 / 日立ハイテクノロジーズ

– 10 –

4

. . . . . . . . . . . . . . . . 12:35～13:55昼食休憩 . . . . . . . . . . . . . . . .

(日本 FEI Luncheon Seminar※要事前登録)

11月 9日 (水)午後

Invited Talk 9日 (水) p.m.

座長 中前幸治

(I1)13:55

電子線ホログラフィーによるナノ構造体の電磁場解析村上恭和 / 九州大学 大学院工学研究院

. . . . . . . . 14:55～15:15休憩・招待講演者との懇談 . . . . . . . .

Power Device Analysis I 9日 (水) p.m.

座長 後藤安則

(4)15:15

高感度電子線ホログラフィーを用いたGaN/AlGaN界面における 2次元電子ガス層の可視化山本和生 / ファインセラミックスセンター ナノ構造研究所

(5)15:40

SiC/GaNパワー半導体応用における誤オンメカニズム解析山本真義 / 島根大学 総合理工学部

(6)16:05

走査型非線形誘電率顕微鏡法による局所 DLTS法の提案と SiO2/SiC界面欠陥の高空間分解能可視化技術への応用茅根慎通(a, 小杉亮治(b, 田中保宣(b, 原田信介(b,奥村 元(b, 長 康雄(a / a)東北大学 電気通信研究所, b)産業技術総合研究所

. . . . . . . . . 16:30～16:50オーサーズコーナー&休憩 . . . . . . . . .

Power Device Analysis II 9日 (水) p.m.

座長 樋口裕久

(7)16:50

SiC MOSFET負荷短絡時の素子破壊メカニズム解析生井正輝, 安 俊傑, 岩室憲幸 / 筑波大学 大学院数理物質科学研究科

– 11 –

(8)17:15

超高圧電子顕微鏡を用いたパワーデバイスの不良解析技術国宗依信(a, 加藤好美(a, 中嶋伸恵(a, 有江寛之(a,村田直文(a, 片山俊治(a, 井手 隆(a, 小山 徹(a,朝山匡一郎(b, 坂田孝夫(b, 安田英洋(b / a)ルネサスセミコンダクタマニュファクチュアリング 解析評価技術部, b)大阪大学 超高圧電子顕微鏡センター

(9)17:40

ストリークカメラによる IGBTのアバランシェ発光解析手法の開発末代知子(a, 遠藤幸一(a, 小倉常雄(a, 松本 徹(b,内山公朗(b, 新倉史智(b, 越川一成(b / a)東芝 ストレージ&デバイスソリューション社, b)浜松ホトニクスシステム事業部

. . . . . . . . . . . 18:05～18:25オーサーズコーナー . . . . . . . . . . .

11月 10日 (木)午前

Electron Optics & Applications10日 (木) a.m.

座長 小瀬洋一

(10)9:00

Quasi-Besselビームと環状ピクセル検出器を用いた位相 STEM法川崎忠寛(a, 石田高史(b, 児玉哲司(c, 松谷貴臣(d,丹司敬義(b, 生田 孝(e / a)ファインセラミックスセンター ナノ構造研究所, b)名古屋大学 未来材料システム研究所, c)名城大学 理工学部, d)近畿大学 理工学部, e)大阪電気通信大学 工学部

(11)9:25

大気圧下におけるバルク材料の走査電子顕微鏡観察技法大南祐介(a, 久田明子(b, 中平健治(c, 中林 誠(a,庄子美南(a, 吉原真衣(a, 伊東祐博(a / a)日立ハイテクノロジーズ 科学システム製品本部, b)日立製作所研究開発グループヘルスケアイノベーションセンタ,c)日立製作所 研究開発グループ生産技術研究センタ

(12)9:50

統計的 ALCHEMI法による Zn添加 Sr系W型フェライトにおける Zn置換サイト評価阿南義弘(a, 小林義徳(b, 大塚真弘(c, 武藤俊介(d /a)日立製作所 基礎研究センタ, b)日立金属 磁性材料研究所, c)名古屋大学 工学研究科, d)名古屋大学 未来材料・システム研究所

. . . . . . . . . 10:15～10:35オーサーズコーナー&休憩 . . . . . . . . .

– 12 –

Commercial Session 10日 (木) a.m.

座長 須賀三雄

(C1)10:35

エクスロン X線 CTテクノロジーアップデート清宮直樹 / エクスロン・インターナショナル 営業統括部

(C2)10:45

精密研磨装置 Bniシリーズに対応したホルダーユニットの紹介松林宏城 / ビーエヌテクノロジー ナノテクソリューション事業部精密研磨装置グループ

(C3)10:55

倒立型 iPHEMOSシリーズ用レーザマーカシステムの紹介久米俊浩, 鈴木浩司, 鈴木伸介 / 浜松ホトニクス システム営業推進部

(C4)11:05

Navi-gation system AZSA小西圭一, 山本盛一, 中村 愛, 森 雄歩 / アストロン 商品企画開発グループ

(C5)11:15

LAVIS-plusの新機能「高速インタラクティブ等電位追跡」,「スキャン・チェーン情報表示」,「回路情報表示」高橋利和 / TOOL EDA製品事業部技術部

(C6)11:25

DdProber自己検知型 AFM式ナノプローブ塩田 隆(a, 天野佳之(a, 中村靖宏(b, 笠原朋一(b /a)Wafer Integration, b)ヨコオ CTC事業部

(C7)11:35

nProberII新オプションショート不良個所絞り込み機能「EBIRCH」の紹介茂木 忍 / 日本エフイー・アイ EFA事業部

(C8)11:45

超高分解能 FE-SEM: JSM-7800F Primeによるバルク試料の低加速電圧分析事例菊地真樹, 作田裕介 / 日本電子 SM事業ユニット

(C9)11:55

ZEISS製 FIB-SEM Crossbeamシリーズによる最新アプリケーション紹介相蘇 亨, 鈴木直久 / 東陽テクニカ ナノイメージング&アナリシス

– 13 –

5

Poster Short Presentation 10日 (木) p.m.

座長 須賀三雄

. . . . . . . . 12:05～12:20 Poster Short Presentation . . . . . . . .

. . . . . . . . . . . . . . . . . . 12:20～12:30写真 . . . . . . . . . . . . . . . . . .

. . . . . . . . . . . . . . . . 12:30～13:50昼食休憩 . . . . . . . . . . . . . . . .

(浜松ホトニクス Luncheon Seminar※要事前登録)

11月 10日 (木)午後

Invited Talk 10日 (木) p.m.

座長 中前幸治

(I2)13:50

グラフマイニングと IoT技術の動向と応用鬼塚 真 / 大阪大学 大学院情報科学研究科

. . . . . . . . 14:50～15:10休憩・招待講演者との懇談 . . . . . . . .

Poster Session 10日 (木) p.m.

座長 茂木　忍

. . . . . . . . . . . 15:10～16:10会場：6F千里ルーム . . . . . . . . . . .

(13) 離散ウェーブレット変換と畳込みニューラルネットワークを用いた単一 SEM画像超解像度化三宅聡士, 御堂義博, 中前幸治 / 大阪大学 大学院情報科学研究科

(14) SEMシミュレーションと AI画像解析を用いた微細ラインパターン寸法計測の高精度化の検討御堂義博(a, 飯田悠介(b, 濱口 晶(b, 井田知宏(b,中前幸治(a / a)大阪大学 大学院情報科学研究科,b)東芝ストレージ&デバイスソリューション社

(15) 三次元電子顕微鏡像からの生体細胞構造認識のためのマルチクラス領域分割法の検討 (2)堤 勇人, 御堂義博, 中前幸治 / 大阪大学 大学院情報科学研究科

(16) 細胞培養時スクリーニングのための細胞画像の自動領域分割法有田亘佑, 御堂義博, 中前幸治 / 大阪大学 大学院情報科学研究科

– 14 –

(17) 機械学習を用いた三次元電子顕微鏡像からのミトコンドリア検出手法足立健太, 御堂義博, 中前幸治 / 大阪大学 大学院情報科学研究科

(18) 熱反射率光学プローブ法を用いた半導体デバイスの熱挙動解析遠藤幸一(a, 中村共則(b, 松本 徹(b, 越川一成(b,中前幸治(c / a)東芝 ストレージ&デバイスソリューション社ディスクリート半導体信頼性技術部, b)浜松ホトニクス システム事業部, c)大阪大学 大学院情報科学研究科

(19) 配線ネット長分布を用いたテストカバレジ改善手法 (配線カバー率)の提案塩沢健治(a, 永村美一(a, 小山 徹(a, 星 豊(b,野村周司(b / a)ルネサスセミコンダクタマニュファクチャリング 技術統括部解析評価技術部, b)ルネサスエンジニアリングサービス 評価解析部

(20) 故障解析装置を用いた AES暗号化回路への攻撃手法と耐攻撃設計の評価井野昂宜, 三浦克介, 中前幸治 / 大阪大学 大阪大学大学院情報科学研究科

(21) 閾値電圧ばらつきによるオフ電流発光変動考慮エミッション顕微鏡像シミュレーション世古充樹, 三浦克介, 中前幸治 / 大阪大学 大学院情報科学研究科

(22) FIB (SIM)式ナノプローブによる解析技術開発杉浦直人, 北村裕一 / パナソニックセミコンダクターソリューションズ 半導体ビジネスユニットグローバル品質保証センター

(23) Integrated sensor with nano-tesla sensitivity fornon-invasively detecting fault positions on IGBTchipsN.N. Mai-Khanh(a, T. Iizuka(b, S. Nakajima(c,K. Asada(b / a)Univ. Tokyo VLSI Design andEducation Center (VDEC), b)Univ. Tokyo Dept. ofElectrical Engineering, c)Device Analysis Corp.

(24) 荷電粒子ビームを用いた電流経路機構に関する研究内海元貴, 馬 晶鴻, 藤村陽平, 國重友里, 益子洋治 /大分大学 工学部電気電子工学科

(25) 3次元 X線顕微鏡を用いた非破壊での元素識別の検討堤 雅義, 鈴木一博, 照井裕二 / 東芝ナノアナリシス評価解析技術センター

– 15 –

Fault Localization I 10日 (木) p.m.

座長 寺田浩敏

(26)16:10

短周期テストパタンによるランダムロジック回路の Electro Optical Frequency Mapping解析手法松井 央(a, 松本賢和(a, 野中淳平(b, 重田一樹(c,岡 保志(a, 津久井博之(a / a)ルネサスエンジニアリングサービス 評価解析部, b)ルネサスセミコンダクタマニュファクチュアリング 解析評価技術部, c)ルネサスシステムデザイン テストインテグレーション部

(27)16:35

Imaging non-periodic test signals with laservoltage tracingC. Nemirow, N. Leslie / FEI Company ElectricalFailure Analysis

. . . . . . . . . 17:00～17:20オーサーズコーナー&休憩 . . . . . . . . .

Special Invited Talk 10日 (木) p.m.

座長 樋口裕久

(S1)17:20

Failure mechanisms and identification of failureroot causes in modern power semiconductordevicesG. Deboy / Infineon Technologies Austria AG PowerManagement & Multi-Market Senior Principal, PowerSemiconductors and System Engineering

. . . . . . . . . . . . . . . . . . 18:20～18:50休憩 . . . . . . . . . . . . . . . . . .

Evening Session 10日 (木) p.m.

18:50

–

20:50

○会場：千里阪急ホテル

11月 11日 (金)午前

Tutorial: 11日 (金) a.m.

座長 三好元介

(T3)9:00

チュートリアル: 光学顕微鏡における超解像技術寺田浩敏 / 浜松ホトニクス

. . . . . . . . . 9:50～10:10オーサーズコーナー&休憩 . . . . . . . . .

– 16 –

6

Fault Localization II 11日 (金) a.m.

座長 二川　清

(28)10:10

3D fault isolation on FBI modified multilayerstructure device using 3D magnetic fieldimagingA. Orozco(a, A. Jeffers(b, N. Gagliolo(a,F.C. Wellstood(b, A.B. Cawthorne(c / a)Neocera,b)Center for Nanophysics and Advanced Materials Dept.Physics, c)Trevecca Nazarene Univ. Dept. Science andMathematics

(29)10:35

532nm光源と差動検出系によるMOFM高感度化中村共則, 越川一成, 大高章弘 / 浜松ホトニクス システム事業部第 18部門

(30)11:00

Magneto-Optical Frequency Mappingを用いた半導体デバイス故障箇所特定手法の検討松本賢和(a, 松井 央(a, 岡 保志(a, 津久井博之(a,中村共則(b, 越川一成(b, 松本 徹(b / a)ルネサスエンジニアリングサービス 評価解析部論理解析課, b)浜松ホトニクス システム事業部第 18部門

. . . . . . . . . . . 11:25～11:45オーサーズコーナー . . . . . . . . . . .

. . . . . . . . . . . . . . . . 11:45～12:45昼食休憩 . . . . . . . . . . . . . . . .

11月 11日 (金)午後

Fault Localization III 11日 (金) p.m.

座長 則松研二

(31)12:45

超音波刺激によるパッケージ内配線の電流変動観察松本 徹(a, 穂積直裕(b / a)浜松ホトニクス システム事業部第 18部門, b)豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系

(32)13:10

光サンプリング技術を用いた Time-DomainReflectometryによる高密度 ICパッケージの解析前原泰秀(a, 内角哲人(a, 津久井博之(a, 鶴田浩巳(a,橋本昌一(b, 入澤昭好(b, 今村元規(b / a)ルネサスエンジニアリングサービス 評価解析部, b)アドバンテスト テラヘルツシステム事業部

(33)13:35

半導体デバイスに対する X線照射の影響と故障解析における考察小川美由紀(a, 遠藤幸一(a, 本郷智恵(a, 川井 望(a,松川尚弘(b, 瀬戸屋孝(a / a)東芝 ストレージ&デバイスソリューション社, b)東芝ビジネス&ライフサービス

– 17 –

. . . . . . . . . 14:00～14:20オーサーズコーナー&休憩 . . . . . . . . .

Physical Analysis I 11日 (金) p.m.

座長 小山　徹

(34)14:20

STEM-EBACシステムの開発と応用鈴木裕也, 金村 崇, 松本弘昭, 田中弘之, 影山 晃,長久保康平, 中村邦康, 水野貴之 / 日立ハイテクノロジーズ

(35)14:45

電圧印加を用いた EBACによるショート不良箇所のピンポイント検出に関する報告勝又啓行, 中里誠司, 和田慎一, 岡 保志, 鶴田浩巳 /ルネサスエンジニアリングサービス 評価解析部論理解析課

(36)15:10

Increasing the automation footprint in the failureanalysis labT. Templeton / FEI Company

. . . . . . . . . 15:35～15:55オーサーズコーナー&休憩 . . . . . . . . .

Physical Analysis II 11日 (金) p.m.

座長 益子洋治

(37)15:55

エネルギー分散型分光計による半導体ドーパント濃度の検出限界福永啓一, 遠藤徳明, 朝山匡一郎, 近藤行人 / 日本電子 EM事業ユニット

(38)16:20

走査型非線形誘電率顕微鏡法によるシリコン太陽電池のキャリア濃度の定量評価廣瀬光太郎(a, 棚橋克人(b, 高遠秀尚(b, 長 康雄(a /a)東北大学 電気通信研究所, b)産業技術総合研究所福島再生エネルギー研究所

(39)16:45

Scanning microwave microscopy solutions forcalibrated nanoscale semiconductor devicecharacterization and quantitative materialspropertiesF. Kienberger / Keysight Technologies Keysight LabsAustria

(40)17:10

Conductivity imaging of 2D materials andburied structures by scanning microwavemicroscopyG. Gramse(a, F. Kienberger(b / a)Johannes Kepler Univ.Institute of Biophysics, Dept. Applied ExperimentalBiophysics, b)Keysight Technology Keysight LabsAustria

. . . . . . . . . . . 17:35～17:55オーサーズコーナー . . . . . . . . . . .

– 18 –

20 著者索引※アルファベット無しの番号は技術セッション講演番号を、’C’ ＋番号はコマーシャルセッション講演番号を示します。

英文

Asada, K. . . . . . . . . 23Cawthorne, A.B. . 28Deboy, G. . . . . . . . S1Gagliolo, N. . . . . . 28Gramse, G. . . . . . . 40Iizuka, T. . . . . . . . . 23Jeffers, A. . . . . . . . 28Kienberger, F. 39, 40Leslie, N. . . . . . . . . 27Mai-Khanh, N.N. .23Nakajima, S. . . . . . 23Nemirow, C. . . . . . 27Orozco, A. . . . . . . . 28Templeton, T. . . . . 36Wellstood, F.C. . . . 28

ア行

相蘇　亨 . . . . . . . C9朝山匡一郎 . . . 8, 37足立健太 . . . . . . . . 17安達昭司 . . . . . . . . . 3阿南義弘 . . . . . . . . 12天野佳之 . . . . . . . C6有江寛之 . . . . . . . . . 8有田亘佑 . . . . . . . . 16安　俊傑 . . . . . . . . . 7飯田悠介 . . . . . . . . 14生田　孝 . . . . . . . . 10井古田まさみ . . . . . 1石田高史 . . . . . . . . 10井田知宏 . . . . . . . . 14井手　隆 . . . . . . . . . 8伊東祐博 . . . . . . . . 11井野昂宜 . . . . . . . . 20今村元規 . . . . . . . . 32入澤昭好 . . . . . . . . 32岩室憲幸 . . . . . . . . . 7内角哲人 . . . . . . . . 32内山公朗 . . . . . . . . . 9内海元貴 . . . . . . . . 24遠藤幸一 . . 9, 18, 33遠藤徳明 . . . . . . . . 37大高章弘 . . . . . . . . 29大塚真弘 . . . . . . . . 12大南祐介 . . . . . . . . 11岡　保志 . 26, 30, 35小川美由紀 . . . . . . 33奥村　元 . . . . . . . . . 6小倉常雄 . . . . . . . . . 9尾崎健人 . . . . . . . . . 2鬼塚　真 . . . . . . . . I2

カ行

影山　晃 . . . . . . . . 34笠原朋一 . . . . . . . C6片山俊治 . . . . . . . . . 8勝又啓行 . . . . . . . . 35加藤好美 . . . . . . . . . 8金村　崇 . . . . . . . . 34川井　望 . . . . . . . . 33川崎忠寛 . . . . . . . . 10川田洋揮 . . . . . . . . . 1菊地真樹 . . . . . . . C8北村裕一 . . . . . . . . 22國重友里 . . . . . . . . 24国宗依信 . . . . . . . . . 8久米俊浩 . . . . . . . C3越川一成 . . 9, 18, 29,30小杉亮治 . . . . . . . . . 6児玉哲司 . . . . . . . . 10小西圭一 . . . . . . . C4小林義徳 . . . . . . . . 12小山　徹 . . . . . . 8, 19近藤行人 . . . . . . . . 37

サ行

栄井英雄 . . . . . . . . . 1坂田孝夫 . . . . . . . . . 8作田裕介 . . . . . . . C8佐藤　貢 . . . . . . . .T2塩沢健治 . . . . . . . . 19塩田　隆 . . . . . . . C6重田一樹 . . . . . . . . 26庄子美南 . . . . . . . . 11須賀三雄 . . . . . . . .T1杉浦直人 . . . . . . . . 22鈴木一博 . . . . . . . . 25鈴木浩司 . . . . . . . C3鈴木伸介 . . . . . . . C3鈴木直久 . . . . . . . C9鈴木裕也 . . . . . . . . 34清宮直樹 . . . . . . . C1世古充樹 . . . . . . . . 21瀬戸屋孝 . . . . . . . . 33

タ行

高遠秀尚 . . . . . . . . 38高橋利和 . . . . . . . C5田中弘之 . . . . . . . . 34田中保宣 . . . . . . . . . 6棚橋克人 . . . . . . . . 38丹司敬義 . . . . . . . . 10茅根慎通 . . . . . . . . . 6長　康雄 . . . . . . 6, 38

津久井博之 . . 26, 30,32堤　勇人 . . . . . . . . 15堤　雅義 . . . . . . . . 25鶴田浩巳 . . . . 32, 35寺田浩敏 . . . . . . . .T3照井裕二 . . . . . . . . 25

ナ行

中里誠司 . . . . . . . . 35中嶋伸恵 . . . . . . . . . 8中林　誠 . . . . . . . . 11中平健治 . . . . . . . . 11中前幸治 13, 14, 15,16, 17, 18, 20, 21中村　愛 . . . . . . . C4中村邦康 . . . . . . . . 34中村共則 . 18, 29, 30中村靖宏 . . . . . . . C6長久保康平 . . . . . . 34永村美一 . . . . . . . . 19生井正輝 . . . . . . . . . 7新倉史智 . . . . . . . . . 9野中淳平 . . . . . . . . 26野村周司 . . . . . . . . 19

ハ行

橋本昌一 . . . . . . . . 32濱口　晶 . . . . . . . . 14原田信介 . . . . . . . . . 6久田明子 . . . . . . . . 11廣瀬光太郎 . . . . . . 38福永啓一 . . . . . . . . 37藤村陽平 . . . . . . . . 24星　豊 . . . . . . . . . . 19穂積直裕 . . . . . . . . 31本郷智恵 . . . . . . . . 33

マ行

前尾修司 . . . . . . . . . 2前原泰秀 . . . . . . . . 32益子洋治 . . . . . . . . 24馬　晶鴻 . . . . . . . . 24松井　央 . . . . 26, 30松川尚弘 . . . . . . . . 33松谷貴臣 . . . . . . . . 10末代知子 . . . . . . . . . 9松林宏城 . . . . . . . C2松本　徹 . . 9, 18, 30,31松本弘昭 . . . . . . . . 34松本賢和 . . . . 26, 30三浦克介 . . . . 20, 21水野貴之 . . . . . . . . 34

– 19 –

7

御堂義博 13, 14, 15,16, 17三宅聡士 . . . . . . . . 13武藤俊介 . . . . . . . . 12村上恭和 . . . . . . . . I1村田直文 . . . . . . . . . 8茂木　忍 . . . . . . . C7

森　雄歩 . . . . . . . C4

ヤ行

安田英洋 . . . . . . . . . 8山田廣成 . . . . . . . . . 2山本和生 . . . . . . . . . 4

山本真義 . . . . . . . . . 5山本盛一 . . . . . . . C4吉原真衣 . . . . . . . . 11

ワ行

和田慎一 . . . . . . . . 35

– 20 –

21 商業展示日時： 11月 12日 (木)、13日 (金)：10:00～17:00場所： 6F 千里ルーム

(展示フロアマップは、予告無く変更される場合があります)

※企業名の後の ’C’ ＋番号は、コマーシャルセッションの講演番号を示します。

1. 日本サイエンティフィック株式会社:新型レーザー装置 PL210他各種開封装置

2. エクスロン・インターナショナル株式会社:高分解能 X線 CTシステム

3. 日本バーンズ株式会社:プロジェクション・モアレ式高精度反り・変形計測システム TDM

4. 株式会社アドバンテスト:LSI配線故障解析システム TS9000-TDR

5. パーク・システムズ・ジャパン株式会社:電気特性測定・故障解析評価に最適な真空 AFMシステム NX-Hivac

6. 浜松ホトニクス株式会社:半導体故障解析

7. 日本エフイー・アイ株式会社:FIB/SEM/TEM解析装置、不良解析装置および回路修正装置

8. オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社:走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡 (sMIM)/原子間力顕微鏡 (AFM)

9. 株式会社アストロン:Navigationシステム AZSA

10. RKD Engineering Corp, Inc:The Industry Leader in Semiconductor SamplePreparation Equipment

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11. 日本電子株式会社:半導体解析事例

12. 株式会社日立ハイテクノロジーズ:微小デバイス特性評価装置

13. 株式会社アイテス:FIB断面に対して EBIC法とセミインレンズ検出器を活用したパワーデバイスの故障解析

14. ルネサスエンジニアリングサービス株式会社:故障位置特定解析のご紹介

15. 株式会社東陽テクニカ:ZEISS製 FIB-SEM複合機 “Crossbeam340/540”,ZEISS製 FE-SEM “GeminiSEM300/500”, Neocera製走査型 SQUID顕微鏡 “Magma”, Keysight製走査型マイクロ波顕微鏡 “SMM”他

16. 沖エンジニアリング株式会社:電子部品の信頼性評価サービス

17. TOOL株式会社:LAVIS-plusの新機能「高速インタラクティブ等電位追跡」,「スキャン・チェーン情報表示」,「回路情報表示」

18. 東機通商株式会社:リニア ICテスタと各種プローバ

19. 株式会社アポロウエーブ:マニュアルプローバー

20. 株式会社ビーエヌテクノロジー:超精密研磨装置 Bniシリーズ

21. アイトランス株式会社:解析サポートラボ，卓上プラズマエッチング装置TP-50B

22. 丸文株式会社:ELITE解析とナノフォーカス X線 CTシステムのコンビネーション

23. 株式会社アド・サイエンス:卓上型コーティング, SEM/FIB向けクライオ処理システム, SEM/FIB用マイクロマニピュレーター,コンタミネーション予防,除去ツール

– 22 –

8

22 賛助会員一覧(平成 28年 7月 27日現在、50音順)

• (株)アイテス• アイトランス (株)• (株)アストロン• (株)アド・サイエンス• (株)アドバンテスト• アプライドマテリアルズジャパン (株)• (株)アポロウエーブ• Wafer Integration(株)• エイビーム・テクノロジーズ・ジャパン (株)• ATEサービス (株)• エクスロン・インターナショナル (株)• (株)NGR• 沖エンジニアリング (株)• オックスフォード・インストゥルメンツ (株)• TOOL(株)• (株)テクノラボ• 東機通商 (株)• (株)東陽テクニカ• 株式会社ナノテクソリューションズ• 日本エフイー・アイ (株)• 日本サイエンティフィック (株)• 日本電子 (株)• 日本バーンズ (株)• パーク・システムズ・ジャパン (株)• ハイソル (株)• 浜松ホトニクス (株)• (株)ビーエヌテクノロジー• (株)日立ハイテクサイエンス• (株)日立ハイテクノロジーズ• 丸文 (株)• ルネサスエンジニアリングサービス (株)• MultiProbe Inc.• Shining Technology Croporation

(平成 28年 10月 18日版)

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