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ػCatalog No.16023(3)

座標測定機 - Mitutoyo...Catalog No.16023(3) 1 三次元測定機の起源となる測定機は1960年頃に欧州で生 まれたと言われています。ものの長さを精密に測定するた

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座標測定機

Catalog No.16023(3)

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三次元測定機の起源となる測定機は1960年頃に欧州で生

まれたと言われています。ものの長さを精密に測定するた

めに、ノギスやマイクロメータといった測定工具はすでに

普及していましたが、加工技術が向上し複雑な形状の製品

を加工できるようになってくると、単軸測定しかできない

測定工具類では限界があり、複軸を同時に測定できる測

定機のニーズが高くなっていったと考えられます。ミツトヨ

も1968年に三次元測定機マイクロコードA1シリーズを開

発いたしました。各軸の測長機構にアナログノギスで使用

されているバーニヤ目盛を採用し、Z軸(上下方向軸)に装

置した顕微鏡で目標位置を確定させ、その位置を各軸の

バーニヤ目盛で読んで手書きでメモを取り、1点の座標値

(幅方向:X軸、奥行き方向:Y軸、高さ方向:Z軸)を求めて

いき、必要に応じて複数の測定点から様々な長さを計算で

求めることができました。現在から考えれば気の遠くなるよ

うな作業ですが、当時は画期的な測定機として注目されま

した。しかし、土地付き1戸建てが購入できるほどの価格で

あったことから、普及には至りませんでした。その後、移動

距離を電気信号で取り出せる測長ユニットや測定子が触

れた瞬間に信号を出し現在位置を測長ユニットから自動

的に取り出せるセンサ、さらには手計算を必要としない各

種演算装置が開発され、より便利になったことで多くの企

業に採用していただけるようになりました。

ミツトヨも当初はスケールや演算装置は他社からの供給

を受けていましたが、1980年代には制御装置、スケール、ソ

フトウェア、プローブなど、あらゆる要素技術を自社開発、

内製化し、文字通り純国産三次元測定機が供給できる国内

唯一のメーカーとして世界の “ものづくり”を支えています。

 

History

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三次元測定機の活躍の場はその用途によって様々ですが、

一般的にはまだまだ品質保証部門で製品の最終検査を行

うイメージが強いと思います。しかし、時には生産部門で

加工途中品を測定しながら生産設備の変化を把握したり、

デザイナーが制作したモックアップを測定によって数値化

して三次元CADに取り込ませたりと、その仕事は単に製品

のOK/NGを判定させるだけにとどまらず、ものづくりの根幹

におけるあらゆる局面で見ることができます。これまでは、

“非生産設備” であるという位置づけゆえに、設備投資の対

象にしていただくハードルが非常に高かった三次元測定機

ですが、活躍の場が拡大したことによって、近年では加工設

備よりも優先してご検討いただくケースも増えています。

三次元測定機がこのように様々な局面で利用されるように

なったのは、やはりその進化によるものです。この進化は、

三次元測定機をご利用いただいている皆様からのご要望

を、根気よく1つずつ形にしてきたからこそ実現できた進化

でもあります。さらに、あらゆる機器をつないで生産現場や

流通を可視化し、生産性やコストの最適化を図る “インダス

トリー4.0” を実現するためには、その品質をどのように管

理・維持していくかも非常に重要です。三次元測定機はそ

の一角も担う設備として今後も注目され、そして更なる進

化を要求されるでしょう。そのために、ミツトヨはこれから

も切磋琢磨し、世界のものづくりを最先端の技術で支えて

いきます。

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世界で稼働するCNC三次元測定機では、現在でも実際に

測定物を使って測定手順を登録する “ティーチング” と呼

ばれる手法で自動測定プログラム(パートプログラム)が作

成されていることが大半です。この場合、測定対象の製品

や部品が出来上がってからその作業を行うため、測定評価

に入るまでにパートプログラムを準備する工数が必要にな

ります。特に多品種少量生産においては、それだけ多くの

パートプログラムを用意する必要があるため、CNC三次元

測定機の普及に伴い、特に大手企業はパートプログラムを

アウトソーシングするケースが増加する一方、逆にそれを

受託する企業も出てきました。しかし、三次元測定機のパー

トプログラムはものづくりにおける品質の要とも呼べるも

のです。測定ポイントをどこに設定するかによっても測定

結果に影響が出るような性質のものを社外に委託してしま

うことで、測定結果のOK/NGしか判断ができず、そこに潜む

潜在的な課題や不具合の原因追及が自社ではできなくな

るという品質マネジメント上の問題も生まれています。

自動測定プログラム自動生成ソフトウェア 

MiCAT-PlannerMSURF-Planner

MiCAT-Planner

~パートプログラム作成時間を限りなくゼロに~

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近年では、製品や部品が出来上がる前に、三次元CADモデ

ルを使ったシミュレーションでパートプログラムを作成す

るソフトウェアも三次元測定機メーカー各社から販売され

ています。しかし、それらは測定箇所を1箇所ごとに指示し

なければならず、ティーチングを行うことと比較してもそれ

ほどの工数低減が実現できなかったため、広く普及とまで

は至っておりません。

ミツトヨは、さらにそのソフトウェアを進化させ、PMI と呼ば

れる図面情報(公差情報)が付加された三次元CADモデル

から、その公差情報付きの部分の自動測定プログラムを自

動生成するソフトウェアMiCAT Planner(マイキャット・プラン

ナー)を発売しました。これにより、①プログラム作成時間

を95%削減 ②誰が作成しても同じプログラムが作成でき

る ③測定箇所の最適化で測定時間の短縮が可能 ④一か

ら操作方法を覚える必要がない、等の大きなメリットが提

供できます。これによって、各企業の設計部門が、加工情報

と測定情報を並行して指示をし、グローバルなものづくり

における品質を支える時代が到来することになります。

MSURF-Planner

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「1µm を切る」

数ある三次元測定機メーカーの中で、例えば500mmの長

さを測定したときの誤差(バラツキではなく長さの誤差)

が1µmを切る性能を持つ三次元測定機はミツトヨ LEGEXシ

リーズを含む世界の三次元測定機トップメーカー3社の最

上位機種だけ*1です。

三次元測定機の誤差要因は、各軸の運動に伴う変形誤差、

スケールの誤差、演算の誤差、内部振動、ヒステリシス、熱的

影響、プロービング精度など数多く存在し、これらを積み上

げても誤差が1µmを超えない性能を構築するには、それぞ

れの誤差を限りなくゼロに近づけなければなりません。

ミツトヨはこれらの課題に対して、要素技術開発から取り

組み、初項*20.28µmという世界トップクラスの高精度を実

現しています。たとえば、本体構造です。三次元測定機では

非常に珍しい門固定テーブル移動構造を採用し、門が動く

ことによる振動を排除しています。また、各軸にはミツトヨ・

オリジナルの熱膨張しないゼロガラススケールを搭載した

最小分解能0.01µmの測長システムを採用、さらには市販

のタッチトリガープローブ(ポイント・センサ)では、それだ

けで繰返し精度が1µmを超えてしまうため、ミツトヨ独自で

超高精度スキャニングプローブMPP-300を開発するなど、

多岐にわたる新技術を投入してLEGEXシリーズは誕生しま

した。

そのこだわりはこんなところにも表れています。 LEGEX に

は三次元測定機で一般的に使用されている石材を使って

いません。石定盤と言えば経年変化が極めて小さい天然

材ということで測定の分野だけでなく様々な分野で用いら

れているのは皆さんご存じの通りですが、天然素材である

がゆえのミクロレベルの材質不均一性や湿度の影響など、

1µmを保証するためには十分とは言えない課題があるの

超高精度CNC三次元測定機

LEGEXシリーズ

~世界中の研究機関で信頼されているマシン~

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も事実です。 そのためLEGEXでは原価の高い鋳物ベースを

あえて採用したという経緯があります。

これはLEGEX開発におけるこだわりのほんの1つにすぎま

せん。 LEGEXは以上のようにまずは機械構造・部品の精度

を徹底的に追求するところから作り上げられています。

しかし、いくら三次元測定機の性能が高くても、そもそも長

さ100mmの鉄の棒も温度が1℃変わるだけで約1µm 長さ

が変わりますし、その鉄の棒の両端それぞれの平面度や両

端の平行度が1µmを超えていたら、測定するポイントが違

うだけで長さに1µm以上の違いが生じます。測定する箇所

にホコリがついていても数値は数µm変わります。外部から

の振動の影響も受けるでしょう。

このように測定機本体の性能を云々する以前に、測定値に

影響を与える要因がいくつも存在するのです。 測定誤差を

1µm以下に抑えるには、様々な誤差要因をしっかりと把握

し、それを1つずつ取り除くことが必要になるわけです。

LEGEXは歯車、ボールネジ、ベアリングなどの精密機械要素

部品や、精密金型、宇宙航空関連部品などの極めて高い精

度が必要な分野で活躍しています。また、様々な研究機関

や企業の基礎開発部門でもマザーマシンとして高い評価

をいただいています。

LEGEND(伝説)+EXCELENT(優秀な)の造語から生まれた

LEGEX(リージェックス)。超精密加工を支えるミツトヨ・クオ

リティの頂点がここにあります。

*1:2016 年9月当社調べ*2:三次元測定機の長さ精度はA+BL(A,Bは任意の数値、Lは測定した長さ)

で表示され、Aを“初項”と呼ぶ。A+BLの値が小さいほど高精度であることを意味する。

LEGEX 574 LEGEX 776 LEGEX 9106

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「この三次元測定機で保証できる精度は?」

お客様からよくお伺いするご質問の1つです。しかし、この

ご質問、即答するには少々手強い相手です。測定機メー

カーにこの質問をすると、たいてい三次元測定機の精度

(カタログ値)が回答として返ってきますが、ご注意いただ

きたいのは、「三次元測定機のカタログ精度」=「製品(測

定物)の保証精度」ではないということです。100±0.005mmという図面公差のある製品を、誤差が±5µmある測定機を

使って測定しても当然その結果には信頼性はありません。

お客様が自社の品質保証の視点で質問をされているの

か、単に測定機単体の性能について質問されているのか

によって、答えは変わることになります。

それでは仮に、お客様が自社の製品の精度保証が可能か

どうかという意図で質問されたとした場合、測定機はどのく

らいの性能を持っていればよいでしょうか。

一般的には測定機は保証したい製品の精度の1/10の高精

度であることが理想であると言われます。そうすると、例え

ばある長さで±0.005mmの精度保証をする場合には、その

長さの測定誤差が0.0005mm以下の測定機が必要というこ

とになります。

高精度CNC三次元測定機

STRATO-Apexシリーズ

~超精密加工技術を支える~

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になります。 とは言え、1µmもしくはそれを上回る精度を持

つ三次元測定機は従来極めて高価でした。

ミツトヨはそういった高精度なものづくりを、精度面とコス

ト面の両方で支えるSTRATO-Apexシリーズを開発しました。

コストダウンに重点は置きながらも、キーテクノロジーには

LEGEXと同じ熱膨張しないゼロガラススケールを採用した

り、外部振動を除去するオートレべリング除振装置を標準

搭載するなど、門移動構造の三次元測定機の限界に挑戦す

べく徹底した精度追求を行っています。

STRATOの語源はStratosphere[成層圏]。超高精度レベルの

高い性能を汎用機クラスの価格で提案します。

商品の品質に対する市場の目は日々厳しくなりつつあり、

ものづくりにおける製品・部品に要求される精度もどんど

ん高くなっています。 1/1000mm台の公差が入っている図

面も当たり前になってきました。こういった状況で常に1/10の超高精度測定機に固執すると、時に回収の見込みも困

難な程の大きな投資が必要となってくることにもなりかね

ません。こういったケースでは、設備額と性能の適正なバラ

ンスを考慮したほうがいいでしょう。 私たちの検証では、測

定機側の精度が保証したい製品の精度の1/5程度で十分で

ある、というのが様々な検証から得られた現実性のある数

値です。そうすると前出のケースではカタログ精度1µm程

度の三次元測定機であれば、製品の保証が可能と言うこと

STRATO-Apex574STRATO-Apex9106

STRATO-Apex 163012

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製品・部品の測定において、 “機上計測” が用いられること

があります。機上計測とは加工品を機械に固定したまま測

定を行うこと全般を指しますが、工作機械のヘッドにつけ

られている工具を測定センサに取り替えて、様々な測定を

行うという考え方、手法も普及しています。しかし、 “機上計

測” には課題が存在することを忘れてはいけません。その

点を理解しないで評価結果をそのまま信頼することは非

常に危険です。そもそも、同じ機械で加工と測定をやるとい

うのは、自分の仕事を自分で監査するようなもの。監査は

第三者機関がやらなければ、時として重大な問題を見逃し

てしまう可能性もあるわけです。 位置決め精度や動的精

度に誤差のある工作機械で加工した製品をその機械で測

定しても、その誤差は発見できません。 また、その工作機

械の精度がどんどん変化していったとしても、それに気づ

くことができません。 強い力でクランプされた加工品の拘

束を解いたときの変形も把握できません。 正確にその製

品を評価するのであれば、やはり別の装置で評価するのが

筋でしょう。 人命を預かる製品を作られているある業界で

は、加工した製品を2台の三次元測定機を使って別々のオ

ペレータが測定するという徹底した品質管理が義務づけら

れているケースもあります。

CNC三次元測定機

CRYSTA-Apex S/EXシリーズ

~幅広い業界・業種で"ものづくり"を支えるベストセラーマシン~

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1990年代以前は、三次元測定機と言えば、加工機の何倍も

する非常に高額な設備でしたが、今では500mmサイズの

CNC三次元測定機でも数百万円とCNC三次元測定機が登

場した頃の1/3くらいの価格で導入できます。また16~26℃

の温度環境下でマイクロメートル台の精度保証を実現し

ていますので、恒温室も用意する必要がなく、今や国内で

も数万台が稼働する認知度の高い設備として普及してい

ます。

三次元測定機に求められるものは何でしょうか。 信頼、便

利さ、高精度、効率化、低価格、多機能、使いやすさ…それ

はお客様によって様々です。 時には相反する複数のご要望

をお聞きすることもあります。 高速で高精度とか多機能で

使いやすいこと、などがそうです。それらをできるだけ1台

のマシンで実現しようと総力をあげて開発したCNC三次元

測定機がこのCRYSTA-Apex/EXシリーズです。 同シリーズは

16~26℃の幅広い温度環境下での同クラストップレベル

の精度保証と高加速/高加速度駆動によるスループット向

上の共存が図られたミツトヨ主力商品です。

CRYSTAの語源は“CRYSTAL(水晶)”。 お客様が作られる製品

がいつまでも輝きますようにという祈りをこめてつけられ

た名前です。

CRYSTA-Apex EX 544T

CRYSTA-Apex S 9106

CRYSTA-Apex S 122010

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インライン対応三次元測定機 

MACH-V/3A/Ko-ga-meシリーズ

ものづくりにおける機械加工等の生産エリアで長さを評価

するために使われる主な長さ測定具にはノギス、マイクロ

メータ、ハイトゲージといった線度器やゲージブロック、プ

ラグゲージ、ハサミゲージといった端度器など、実にたくさ

んの種類があります。 これらの測定具は、1度の測定では1方向の単純寸法評価しかできないため、加工が複雑なも

のには対応できない場合があります。 例えば位置度や振

れなどがそうです。 この場合、測定具と治具を組合せた専

用ゲージを製作することで解決する場合があります。 丸棒

の円周振れをダイヤルゲージだけで測定するのは無理で

すが、丸棒を軸中心で回転させ、ダイヤルゲージの測定子

をその丸棒軸の側面円周上に押し当てることのできる治

具を製作することで評価をする例はもっとも知られている

ものです。 しかし、自動車エンジン部品のようにさらに複

雑で高度な製品を測定するための専用ゲージとなると、数

百万円もするような大がかりな装置になってきます。 こう

いった専用ゲージは、基本的に測定する製品の形状が変

わると製作し直さなければなりませんので、近年のように

あらゆる製品のライフサイクルが短くなってきている状況

下では専用ゲージにかかるコストは増える一方です。 ま

た、ゲージを使うこれらの測定は “比較測定” と呼ばれ、必

ずゲージブロックなどの基準器やマスターワーク(ゲージ

内の各種センサの位置をゼロセットするための基準品)が

必要となります。 しかし、近年、コストダウンを目的として部

品の共通化が推進されるようになると、1つの部品を複数

の企業でしかもグローバルで生産することになり、その結

果、専用ゲージに必要なマスターワークも多数必要になっ

ています。そのため、そのマスターワークに個体差(バラツ

キ)があると、A国のB社とC国のD社では品質に差が出てし

まうという課題も出てきています。 さらには、ゲージ測定で

は、OK/NGの判定が主で、たとえば加工位置がどの方向に

どれだけの量がずれているかを把握することには不向き

で、修正量をフィードバックすることが難しいという課題も

あります。

~生産ラインで数値管理を実現する~

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三次元測定機は、市場に登場した当初から、自動車のエン

ジン部品のような複雑な測定に最も活用されていました

が、1990年代後半までは20℃に管理された測定室でしか

性能を発揮できませんでした。特にマニュアル三次元測定

機は、測定に非常に時間がかかっていたことから、試作品

の評価や量産品でも1日数個程度の抜き取り測定など、生

産エリアで活躍する測定具やゲージとは全く別の役割を

担っていました。三次元測定機がインラインやラインサイ

ドで使われることはまずなかったわけです。

しかし、製品の品質を高いレベルでグローバルにマネジメ

ントしていくためには、専用ゲージの持つ “比較測定” とし

ての手法には限界があり、三次元測定機のように “絶対測

定” が可能で、かつ多品種の測定に対応できる汎用機をラ

インやラインサイドに組み込んだ方が様々な課題に対処

できるうえ、中長期的にみるとコストダウンにもつながるこ

とがわかってきました。

もちろん、これまでのような門型三次元測定機をそのまま

ラインに組み込んで長時間連続稼働させるのにはまだま

だ課題も多かったことから、それらを解決する新しいコン

セプトの三次元測定機を新たに開発する必要がありまし

た。 MACHシリーズは完全インラインに対応できるCNC三

次元測定機としてミツトヨ独自で開発投入されました。 圧

倒的な高速/高加速駆動、5~40℃での広範囲温度補正機能

(MACH-3A)で生産エリアでの“絶対測定”を提供します。さ

らに、MACH Ko-gameシリーズは小さな測定範囲を持った

CNC三次元測定機を世界で初めてユニット化し、単独設置

だけでなく、様々な装置とのシステム化も可能にした画期

的なソリューションを提供いたします。

MACH-3A 653 MACH-V9106 MACH Ko-ga-me

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航空機部品、工作機械部品、建設機械部品、自動車車体用

金型など、非常に大きな製品の高精度寸法評価にも三次

元測定機が採用されるケースが増えています。 しかし、測

定範囲が門幅で2mを超えるような大型三次元測定機を従

来の石定盤をベースにした構造で作ってしまうと、その石

定盤だけでも公道を運搬できないほどのサイズになって

しまいます。 そこでミツトヨはこのクラスの三次元測定機

に “ガントリー” と呼ばれる構造を採用しました。この構造

は、2本の巨大なガイドレールを床に並行に設置し、その上

を門形構造体が電車のように走るというもので、これであ

れば各ガイドレールを別々に運搬し、現地で組み上げるこ

とが可能になります。 ただし、この構造には大きな欠点が

あります。 世界に数社この構造を採用している三次元測定

機メーカーがありますが、ガイドレールを床に何か所もア

ンカーを打って固定するので、床の形状に合わせてガイド

レールが曲がってしまうのです。

超大型セパレートガイドCNC三次元測定機

FALCIO-Apex GシリーズCrysta-Apex CGシリーズ

FALCIO-Apex 305015G

~大型製品のマザーマシン~

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また、いくら頑強な基礎工事を施しても、経年変化や季節

の気温変化による床の変化は避けられず、それも精度に影

響する要素になります。 この課題に対してミツトヨはガイ

ドレールを直接床に固定せず、床の形状に影響されない

ように1本のガイドレールを最適な2箇所で支え、また、支

えとガイドレールは完全に固定せず、温度変化によるガイ

ドレールの伸び縮みを逃がす特殊な構造を採用していま

す。 さらに、床の経年変化および季節変化については、ミ

ツトヨ独自の床変形補正システム(MOVAC:Mitutoyo Onsite

Volumetric Accuracy Compensation system)によって床変形に

よる精度への影響をお客様自身で緩和させるという画期

的なシステムも搭載しています。

Crysta-Apex C306020G

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自動車のデザイン。流れるようなフォルム、特徴的なキャラ

クターライン、歪みのない美しい塗装。それらはまずデザ

インから始まります。 デザイナーのアイディアスケッチを

3D-CADデータ化し、そこから1/4・1/1クレイモデルを製作、

その後、試作~量産設計に入っていきます。

2000年を過ぎた頃から、クレイモデルを製作せず、製品設

計から製造・検査までの全ての工程をコンピュータによる

シミュレーション技術を駆使したバーチャルの世界で行う

というものづくりが、特に自動車産業で話題になりました。

実際に三次元CADをフルに活用してクレイモデルを製作

せずに新車開発を行うメーカーも存在するようです。

しかし、一方では、車に “命を込める” ためには、クレイモ

デルを製作し、徹底的に細部までこだわっている自動車

メーカーもあります。 このあたりは、それぞれの自動車メー

カーの考え方、こだわりの違いというところでしょうか。

とは言っても、3Dプリンタも高性能化しており、インテリア

の検証では3Dプリンタを使った部品試作も行われはじめ

ました。

こういった自動車開発の流れにおいて、三次元測定機は単

に部品を加工した後の評価に利用されているだけではあ

りません。クレイモデルを3Dデータ化するときや、自動車パ

ネル用の金型製作のときの評価など、その活躍の場は品

質保証部門にとどまらず、開発設計、製造部門など、様々な

シチュエーションでその力を発揮します。

横型CNC三次元測定機

CARB-Strato/Apex

~美しいデザインを具現化する~

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CARBシリーズは本体2台を対向させれば自動車の車体を

左右からまるごと測定することができる横型CNC 三次元測

定機です。 このクラスでは世界最高の移動速度と測定精

度を兼ね備え、基礎の変化に影響されにくい独自の3点支

持ベースを採用(Strato:X 軸6mタイプまで)したことで、長

期にわたって安定した精度維持が可能です。使用環境を

考慮し、温度補正機能の標準装備に加え、全軸防塵カバー

(Strato:X軸ベース上はカバーの上を歩くこともできる)も

装備しています。

さらに大型三次元測定機に必要な軽快性と安全性を共存

させた3ポジション・デッドマンスイッチ付きの専用コント

ロールボックス、Y 軸スピンドルが測定物などに異常接触

する前に非常停止をかけるためのY軸ジャバラ内のセン

サ、自動測定中に測定機設置エリア内に作業者が進入した

ときに非常停止をかけるエリアセンサ(エリアセンサはオ

プション)など、安全性にも十分に配慮をした設計となって

います。

CARB の語源は「CAR BODY」。自動車部品はもちろん、建設

機械部品、建築部品、発電機部品、液晶パネル部品など、

様々な分野で活躍しています。

CARBapex 601624(シングルタイプ)CARBstrato 601624D(デュアルタイプ)

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2000年前後あたりから、カメラ式の三次元測定機が普及を

はじめました。測定物にターゲットと呼ばれるシールを貼

り、その位置を求めるものや、スリット状のレーザ光を測定

物表面に当て、その反射光をCCDカメラで受け、三角測量

の原理で測定物表面との距離情報を得て三次元データ化

するもの(光切断法)です。

当初は測定物の色や表面状態に強く影響を受けたため、

苦手な色や光沢の強い測定物の場合、測定物にパウダー

をかけたり、表面の光沢を溶剤で曇らせたりして測定しや

すくする必要がありました。 近年では、特に自動車車体の

評価において、大型プロジェクタのような筐体を持った測

定機が急速に普及をしています。 それは、主に位相シフト

方式を原理とした測定機で、複数パターンに変調させた格

子状のレーザ光を照射し、測定物で反射して戻ってきた光

と同じ光源から得られる参照光との位相差により対象物と

の距離を求めるというものです。 光切断法は1断面のデー

タしか得られないので、面のデータを得るには光を振って

やる必要がありますが、この方法であれば全画素におい

て計測値が得られるため、面の情報を1秒に数万~数十万

点もの座標情報として収集できます。 カメラ式の測定機

は、スタンド(三脚など)に設置して、測定物の周りを移動し

ながら測定をするか、円テーブルの上に測定物を置いて、

測定物を回転させて死角部分を補いながら測定をします。

(いずれの場合も測定データは様々な方法で結合させま

す。)

インライン検査システム

MAPVISION Quality Gateシリーズ

~100%全数×100%全項目評価を実現~

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これらの測定機の欠点は、1カ所の測定は数秒と非常に速

いものの、測定箇所が複数にわたる場合には、セッティン

グをやり直す必要があり、たとえばドアパネル1枚くらいの

大きさの測定(穴位置や面高さ)を行うと、結局は数十分の

時間がかかります。ロボットを活用したとしても測定箇所

が増えれば、それだけ測定箇所間を移動させる時間がかか

ることになります。

ミツトヨが提供するMAPVISION社のQualitiy Gateは、測定機

筐体内に、数十~百基の小型カメラと照明を配置し、測定

物の測定箇所を一気に測定してしまう画期的なシステム

です。 全測定箇所を測定するために必要な小型カメラと

補助照明を必要な数だけ必要な場所に事前に配置するこ

とで、測定中にカメラを “移動” させる必要がないことか

ら、“秒” レベルでの超高速測定が可能になります。 Quality

Gate は、穴位置や面高さだけでなく、部品が取りついてい

るかどうかのチェックを行う機能も持っており、たとえば自

動車車体やシャシなどの溶接部品の評価に威力を発揮し

ます。 Quality Gateが提供するソリューションは “全数/全項

目測定”。 後工程への不良品流出をシャットアウトするだけ

でなく、立ち上げ時の部品のバラツキをいち早く収束・最

適化させるために必要なデータを世界最速でフィードバッ

クします。 さらに、測定データの長期保管により、後で判明

した設計・開発段階の不具合情報に基づいてデータ上で

再評価をし、その部品が搭載されてしまった個体を指定し、

ピンポイントでの対応を可能にすることでのコストダウン

にも貢献します。

Quality Gate 4200

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三次元測定機にはZ軸スピンドル先端部を手で保持して操

作するマニュアル(手動)タイプと、数値制御による自動測

定ができるCNCタイプがあります。 市場に登場した最初の

三次元測定機はもちろんマニュアルタイプですが、1980年

代にCNC三次元測定機が登場してからも、1990年代前半ま

ではその主役はマニュアル三次元測定機でした。1990年代

後半にCNC三次元測定機の低価格化が進むにつれ、その

主役はCNC三次元測定機に取って代わられることになりま

したが、マニュアル三次元測定機は、①CNC三次元測定機

のようにパートプログラム(動きの手順)を組まなくても測

定できる ②ゲージ感覚で測定したいところだけを簡単に

測定できる ③設備額がCNC三次元測定機の半分(300万円

台~) ④維持費が安い、などの利点から、現在でも根強く

活躍しています。

マニュアル三次元測定機

CRYSTA-Plus Mシリーズ

~ゲージ感覚で数値管理を可能に~

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CRYSTA-Plus Mシリーズは、マニュアル三次元測定機では他

にあまり例のない15~30℃の温度範囲における精度保証

を実現していますので、まさにゲージ感覚で生産現場での

検査が可能になります。 入り組んだところを測定するとき

の手元照明(544/574)や、顕微鏡を使用するときの微動つ

まみを1箇所に配置(443/544)、人による測定のバラツキを

緩和するためのコンスタントグリップ(776)など、随所に使

いやすさを追求した独自の機構が組み込まれています。

Crysta-Plus M443Crysta-Plus M574

Crysta-Plus M7106

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1980年代にそれまでと全く違うコンセプトの三次元測定機

が登場しました。義足メーカー向けに開発されたというそ

の三次元測定機は、それまでのような門型構造の直角座標

を持たない多関節アーム型のものでした。

従来の門型三次元測定機が空間の任意の位置を3軸の直

交するスケール等の測長ユニットからX,Y,Z(縦,横,高さ)の

座標値として取り出すことで特定する構造であるのに対

し、多関節アーム型は球座標(動径rと2個の偏角θ,ø)で空

間の任意の位置を特定する構造が使われています。

この三次元測定機の最大の特長は何と言っても “持ち運べ

ること”にあります。 設置据置型の三次元測定機の場合、測

定物がどんなに大きくても、どんなに重くても、三次元測定

機の上に(もしくは測定範囲内に)載せなければ測定できま

せんが、多関節アーム型三次元測定機であれば、測定範囲

が3mを超えるものでも測定物のあるところまで本体を持っ

ていくことができます。 加工途中の部品を加工機から取り

出さずに測定することも可能です。これは、測定の効率から

考えると非常に大きなメリットとなります。 義足メーカー向

アーム型三次元測定機

SpinArm-Apexシリーズ

~手軽に持ち運べるコンパクトマシン~

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けに作られたというのも、まずはこのポータブル性が重要

だったのでしょう。また、門型三次元測定機の場合は、測定

範囲内に入らない測定物は測定できませんが、多関節アー

ム型三次元測定機では、自身の測定範囲を超えるサイズの

大型測定物でも、その周りを移動しながら測定し、測定結果

をつないでいくという機能によって測定を可能にすること

ができます。 ミツトヨは当初、海外製の多関節アーム型三

次元測定機を輸入販売していました。(ソフトウェアはミツト

ヨ製)

2013年には自社製のSpinArm-Apexシリーズをリリース。 同

時期にそれまで購入品に頼っていたラインレーザセンサ

も内製化に成功し、それを搭載した非接触システムも各種

成形品評価や、リバースエンジニアリング分野など、幅広い

業界のお客様に活用していただいています。

SpinArm-Apex 367H

※米国での使用または米国への輸出はお控えください。

SpinArm-Apex 186H

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三次元測定機の性能を飛躍的に向上させたのはソフト

ウェアの進化があったからこそと言えます。 たとえば穴加

工の評価についても、昔は3点の測定点から円計算(直径と

中心座標)をしていただけでしたが、最新のソフトウェアで

は、測定点数に制限はなく、計算式も平均円・外接円・内接

円から選び、測定方式をポイント方式かスキャニング方式

かを選択し、直径・中心座標だけでなく、真円度や位置度、

公差照合判定、はめあい計算…というように、かなりの多

機能になっています。

三次元測定機メーカーは世界に数十社ありますが、実はソ

フトウェアを自社開発している会社は多くありません。 ソフ

トウェア開発には終わりがなく、膨大な時間とエネルギー

が必要ですので、ほとんどのメーカーは他社から供給を受

けているというのが現実です。

ミツトヨは1970年代から自社でソフトウェア開発を開始、

1980 年代には、データ処理装置のハードウェアも自社開発

し、マニュアル式三次元測定機を中心に搭載を行い、普及

が進みました。1990年代からはCNC三次元測定機に主役

が移り、さらに低価格化が始まった市販のパーソナルコン

ピュータにソフトウェアを搭載するようになり、従来の寸法

評価だけでなく、曲面の評価や歯車の評価など様々なソフ

トウェアを開発・搭載し、その活躍の場を拡大しています。

CAT1000P[オン・オフラインティーチングプログラム]

CAT1000S[曲面評価プログラム]

ソフトウェア

SOFTWARE

~様々な技術を多面的に解析する~

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近年では、三次元CADとの連携も進み、測定データと設計

データを数値や視覚での比較照合を行うだけでなく、測定

データを設計データにフィードバックして修正を行ったり、

さらにはCADデータを使って三次元測定機の動きそのもの

を自動プログラミングする機能など、従来は試行錯誤をし

ながら時間と人手をかけて行っていた仕事を、大幅に削減

できる提案も可能になっています。

また、これから世界はスマートファクトリーの実現を目指

して、センサや設備を含めた工場内のあらゆる機器をイ

ンターネットに接続し(IoT:Internet of things)、開発・生産・

品質・流通などの様々な情報を「見える化」し、情報間の因

果関係の明確化により、設備同士さらには設備と人が協働

していくことを推進していきます。そのとき、ソフトウェア

の役割はますます重要になるはずです。 ミツトヨは、新し

いものづくりの中でも常に “品質” に軸足を置き、様々なソ

リューションを提供してまいります。 そのためのソフトウェ

ア開発にもこれまで以上に力を注ぎ、自社で持つ総合技術

(機械、電気・電子、光学、材料、制御、コンピュータ)との相

乗効果で革新的な提案をお届けすることをお約束します。

GEARPAK[歯車評価プログラム] ROUNDPAK[真円度・円筒度評価プログラム] MeasurLink[計測データネットワークシステム]

試作

Trial

量産

Production

CAD/CAM

設計

Design

品証

Quality

インライン計測

リアルタイム・データフィードバック

デジタイジング

オフライン・プログラミング 三次元モデル照合

計測データネットワーク

校正

外段取り

計測データベース

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三次元測定機を高性能化した最大の要素とも言えるのが

“プローブ” と呼ばれる各種センサです。 三次元測定機が

登場した頃は、必要な座標値を得るために、Z軸先端に取り

付けた針状の測定子を目標点に当てておいて各座標値を

読んでいました。 その後、各軸の移動量を電気信号で取り

出してカウンタで表示させたり、そのカウンタ値をフットス

イッチで出力して演算装置で簡単な計算をさせることがで

きるようになりました。

一方で、座標値をもっと簡単に取得するために、接触した

瞬間に信号を自動的に出す装置も考えられるようになりま

した。 中には、測定物と測定子にそれぞれ±の電極を取り

付け、測定子が測定物に触れて通電した瞬間を接触信号

として取り出す商品もありました。 爆発的に普及したのが

英国レニショー社が発売したタッチトリガープローブと呼

ばれるセンサです。 手のひらサイズの小型で、繰り返し精

度も高く、測定物も傷つけないという画期的なものでした。

演算装置も高機能化し、オペレータは測定したいところに

次々と測定子を当てていくだけで複雑な寸法が求められる

ようになりました。

三次元測定機が手動式のものからCNCタイプに主導権が

移っていくことに併せて、センサの向きも自動で変えたいと

いうニーズに対応するための自動回転ヘッドも登場し、普

及に拍車をかけました。

近年では、さらにセンサにも様々なものが求められるよう

になっています。 高精度化、スキャニング、非接触など…。

MPP-310Q SurfaceMeasure QVP

プローブ

PROBES

~交換式センサであらゆる形状データを収集~

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市販品で不可能なものは、当社も独自に開発を行っていま

す。 脱着可能なスキャニングプローブ、画像プローブ等は

当社が世界で最初に発売したセンサですし、ねじ有効深さ

プローブ、超小径接触式プローブなどは、未だ他の追随を

許さないセンサです。 また、それまでは専用メーカーの独

壇場だった非接触レーザプローブも内製化に成功し、三次

元測定機本体より高額だったレーザプローブを普及価格

レベルまで低価格化したのも当社が最初でした。

プローブを開発するにあたっては、当然ながらそれだけを

開発すればよいわけではなく、それを動かす制御技術や解

析のためのソフトウェアも開発する力がなくては実現でき

ません。 ミツトヨは、「キーテクノロジーを内製化する」とい

うことも事業方針の1つとして掲げています。 画期的なソ

リューション提案を実現するためには、できるだけ多方面

の技術を保有していることが有利なことは明白です。その

中の1つでも他社に頼ってしまうと、理想の新商品は生ま

れないでしょう。 常に新しいソリューションを提供できる環

境がミツトヨにはあるのです。

SURFTEST PROBE REVO PH20

オートプローブチェンジャー

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三次元測定機の導入に当たっては、導入機種や用途によっ

て、様々な周辺設備も必要です。 ミツトヨは、これまでの経

験を生かし、あらゆるお客様のご活用目的に応じた提案を

させていただきます。

もし、超高精度三次元測定機を導入されるのであれば、高

いレベルで温度管理された部屋が必要です。

また、汎用クラスの三次元測定機を生産エリアに設置し、よ

り検査の迅速性を求めるなら、それを実現できる検査室の

設置が必要です。 ミツトヨは、これらのご要望にお応えでき

る経験と、それを提供できる実績のあるサプライヤと協働

することができます。

エア供給の必要な三次元測定機であれば、コンプレッサや

エアドライヤも必要です。 さらに近年、三次元測定機をイ

ンラインに設置する事例も増加しています。 このとき、測

定物の搬送をどうするのか、どのような治具を用意すれば

いいのか、そういった測定機以外の周辺機器についても、

最適な提案をさせていただくことができます。

搬送装置 免震システム

周辺機器

~最高のパフォーマンスを提供するために~

治具パレット手動搬送システム JIGDAS(株式会社トレサ 様)

(THK 株式会社 様)

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私たちは、測定機をただ販売してそれで終わりという考え

は持っておりません。 いかにして、お客様のものづくりに貢

献できるか、そのために最適な提案は何かを常に考えて

います。 時には当社製品ではないものを提案することもあ

るでしょう。 でもそれは、お客様にとってそれが最善だとわ

かっているからです。 日々進化し、複雑化していくものづく

りに対して、次々と課題は山積していく時代だからこそ、私

たちはお客様のご要望を私たち自身の手で形にしていき

たいと心から思っています。 お困りのことがあれば、何なり

とご相談いただき、私たちの経験をぜひご利用ください。

検査室

エアサーバー

ロータリーテーブル MRT320

クランピングツール

(LEGEX シリーズ用)

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三次元測定機の精度評価について

三次元測定機の性能評価として、2003年にJIS B 7440シリーズが改訂発行され、2013年に一部規格が改定されています。2013年の規格変更点を含め代表的な検査の内容を説明します。

JIS B 7440-2(2013)では以下の項目が追加されています。

※JIS B 7440-2(2003)で測定位置は任意の7方向とされていましたが、 JIS B 7440-2(2013)では空間4方向が必須とし、各軸と平行な測定を推奨

と位置づけています。

図1 長さ測定誤差測定方向

図2 Z軸スタイラスオフセットが150mmにおける長さ測定誤差

図3 長さ測定の繰り返し範囲

表 1 JIS B 7440(2003)シリーズ

E0,MPE(MPEE)=A+L/K≦ B

E0,MPE(MPEE)=A+L/K

E0,MPE(MPEE)=B

A:製造業者によって提供される定数(µm)

K:製造業者によって提供される無次元の定数

L:測定された長さ(mm)

B:製造業者によって示された規格の上限値(µm)

■三次元測定機の性能評価方法

寸法標準器を用いて、指定された長さの両端を挟み込む形で、図1の7方向各5試験長さ測定を3回繰返し行います。それによって得られた105個の長さ測定の不確かさを含む結果すべてが、製造業者の示した規格値よりも小さい場合、その三次元測定機の性能が検証されたことになります。合否判定は不確かさを考慮して行うよう記述されています。この測定における最大許容誤差

(規格値)は、マイクロメートル(μm)を単位として、以下3つのうちのどれかで表します。

JIS B 7440-2(2013)では7方向の長さ測定に加えプローブをオフセットさせYZ面もしくはXZ面対角に対して2本長さ測定を行います。

※スタイラスのオフセットは150mmをディフォルトとして行います。

長さ測定において3回繰り返し測定を行った各々の測定値の繰り返し測定のばらつき幅を評価し、繰り返し範囲R0を計算します。

■最大許容長さ測定誤差 E0,MPE 【JIS B 7440-2(2013)】

■最大許容長さ測定誤差、Z軸スタイラスオフセットが150mm における長さ測定誤差 E150,MPE 【JIS B 7440-2(2013)】

■長さ測定の繰り返し範囲の最大許容限界 R0,MPL 【JIS B 7440-2(2013)】

■最大許容回転軸半径方向誤差 MPEFR 【JIS B 7440-3(2003)】 最大許容回転軸接線方向誤差 MPEFT 【JIS B 7440-3(2003)】 最大許容回転軸軸方向誤差   MPEFA 【JIS B 7440-3(2003)】

名 称 規格番号 発行時期1 用語 JIS B 7440-1(2003) 2003/32 長さ測定※ JIS B 7440-2(2013) 2013/103 ロータリーテーブル付三次元測定機 JIS B 7440-3(2003) 2003/34 スキャニング測定 JIS B 7440-4(2003) 2003/35 シングル及びマルチスタイラス測定※ JIS B 7440-5(2013) 2013/106 ソフトウェア検査 JIS B 7440-6(2004) 2004/3

※2013年に改訂

長さ測定誤差 3(Z) 長さ測定誤差 4

長さ測定誤差 7

長さ測定誤差 5

長さ測定誤差 6

長さ測定誤差 1(X)

長さ測定誤差 2(Y)Z

Y

X

ZY

X

Z

X or Y軸150mm

150mm

X or Y軸Z

XY

6.0

4.0

2.0

0.0

-2.0

-4.0

-6.00

1 2 3

R0

200 400測定長さ[mm]

Error[µm]

600 800規格値

図 5 最大許容スキャニングプロービング誤差測定目標断面と評価の考え方

スキャニングプローブ搭載時の精度規格です。検査基準球の指定4断面をスキャニング測定し、4断面全ての測定点を用いて計算した最小二乗球中心に対して、全測定点の存在する範囲

(図5-A寸法)と4断面全ての測定点を用いて計算した最小二乗球の中心を基準にした時、校正された基準球半径値と最大測定点との距離もしくは最小測定点との距離で大きい方(図5-B寸法)を計算し、それぞれの値に「スタイラスチップの形状の不確かさ」と「検査用標準球の形状の不確かさ」を合成した拡張不確かさの値を加えた値が、両方とも規格値以下であれば、合格となります。

■最大許容スキャニングプロービング誤差 MPETHP【JIS B 7440-4(2003)】

スタイラス

Scan plane 1

Scan plane 2

Scan plane 3

Scan plane 4

45°

最小二乗球中心

最小二乗球

測定点

A

B

基準球直径校正値

ロータリーテーブル上に図4のように2本の基準球を設置し、0°および+方向へ7箇所、-方向に7箇所の合計15位置にロータリーテーブルを回転させ、2つの基準球の中心座標をそれぞれ測定します。このとき、基準球中心座標の半径方向成分・接線方向成分・回転軸軸方向成分それぞれのバラツキ(範囲)+基準球の形状の不確かさの値が、規格値以下であれば、合格となります。

図 4 ロータリーテーブル付三次元測定機の評価

Y

rX

h

hA

hB

基準球 BZ

基準球 A

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本測定はJIS B 7440-2(2003)寸法測定に含まれていましたが、2013年の改訂でJIS B 7440-5(2013)シングル及びマルチスタイラス測定での記述に変更されています。測定方法についての変更は無く、以下の手順で実施されます。

検査用標準球上の目標点(図6:25点)を測定し、その全ての測定点から、最小二乗球の中心を計算します。さらにその25の測定点に対して、最小二乗球の中心からの距離Rをそれぞれ計算し、Rmax-Rminを求め、その値に「スタイラスチップの形状の不確かさ」と「検査用標準球の形状の不確かさ」を合成した拡張不確かさの値を加えた値が、規格値以下であれば、合格となります。

■最大許容シングルスタイラス形状誤差 PFTU,MPE【JIS B 7440-5(2013)】

図 6 最大許容プロービング誤差   測定目標点

22.5゜

22.5゜a22.5゜

22.5゜

22.5゜

三次元測定機による円測定の例

三次元測定機の不確かさ要因の実験による定量化

三次元測定機の測定の不確かさを生じさせる主な要因

測定結果の信頼性を客観的に評価する尺度として測定の不確かさがあります。JIS B 0641-1 : 2001(ISO 14253-1 : 1998)では、測定機の検査結果や製品の測定結果を仕様と照らし合わせる際に不確かさを考慮することが提唱されています。しかしながら、三次元測定機によって工業製品を測定する際の測定の不確かさを推定することは簡単ではありません。測定の不確かさ推定は、不確かさを生じる要因をひとつひとつ定量化し、それらが測定結果に伝搬する過程を明らかにする必要があります。三次元測定機は、測定点の配置やデータムの定義など測定物をどのように測定するか(測定タスク、または測定戦略)を、パートプログラムによって図面指示や測定者の意思により自由に設定することができます。しかし、このことは不確かさ要因の結果への伝搬の過程を明らかにすることを難しくします。円測定の例を見ても、たった1点測定点の数や配置が違うだけで伝搬の過程が異なり、不確かさ計算をやり直すことにつながります。また三次元測定機は考慮すべき不確かさの要因が多く、それらの相互の影響も複雑です。このようなことから、三次元測定機は、測定の不確かさ推定の一般的な方法を示すことが現実的ではありません。

Virtual CMMはこのように複雑な三次元測定機の測定の不確かさを推定するためのソフトウェアです。Virtual CMMは、実機の特性に基づく三次元測定機をコンピュータ上に再現し、仮想的に測定(シミュレーション測定)を行います。仮想的な測定は測定者が作成したパートプログラムに従って行われます。実機の特性は、測定機本体の幾何的な特性、プロービング特性、温度環境などを実験値から見積もりそれを適用します。このVirtual CMMを用いることによって、三次元測定機の測定の不確かさを簡便に見積もることができるようになります。ISO15530シリーズのパート4(ISO/TS 15530-4(2008))において、コンピュータシミュレーションによる測定タスク固有の不確かさ推定の検証方法が決められています。Virtual CMMはこの規格に準拠しています。

※Virtual CMMはドイツの国立物理工学研究所PTBによって開発され たソフトウェアです。※ISO 15530シリーズ Geometrical Product Specifications(GPS) -- Coordinate measuring

machines(CMM):Technique for determining the uncertainty of measurement --

Part 3: Use of calibrated workpieces or measurement standards Part 4: Evaluating task-specific measurement uncertainty using simulation

[Technical Specification]

製品の幾何特性仕様-座標測定機:測定の不確かさの決定のための方法-Part 3:校正されたワークまたは基準器の使用Part 4:シミュレーションによるタスク固有の測定不確かさの評価方法

■三次元測定機の測定の不確かさ

■三次元測定機の測定の不確かさと Virtual CMM

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石定盤温度が上昇すると石定盤よりも測定物の熱膨張係数が高いため変形してしまう。

測定物

固定具回転止め

温度が上昇しても測定物は相似形に伸びることができる

測定物が変形してしまう固定の例 測定物の変形を抑制する固定の例

三次元測定機の性能を最大限に生かすための注意事項

三次元測定機はソフトウェアやGUIの進化によって、複雑な

測定をより簡単なオペレーションで使用できるようになりま

したが、三次元測定機は本体だけでなくプローブやソフトウ

ェアなど、その構成は複雑であるため、より信頼性の高い値

を導き出すには細かいノウハウが存在するのも事実です。そ

れらを知っているのと知らないのとでは、測定結果に違いが

出るかも知れません。その結果、合格品をNGにしたり、NG

品を合格にしたりということが起こったとすると、それは企

業にとっては大きなマイナスです。ここでは、三次元測定機

の性能をより生かすための注意点についてご紹介をします。

1. 適切なスタイラスの選定

①適切なスタイラスチップ径を選定

・小さな径ほど表面性状(粗さやキズなど)の影響が大きくな

ります。

②適切なスタイラスチップ材質を選定

・アルミ部品をルビースタイラスでスキャニング測定すると、

アルミが剥離してスタイラスに付着することがあります。こ

の場合はカーボンスタイラス等を使用します。

③必要以上に長いスタイラスは使用しない

・軸のたわみによって先端のスタイラスチップではなく、軸が

接触することのないように注意をしてください。

2. 製品(測定物)の確実な固定

①スタイラスの接触等で測定物が動かないこと

②測定物が予期しない変形をするような保持をしないこと

・薄い板を三次元測定機の石定盤にベタ置きすると石定盤

に形状がなじんで変形します。(石定盤の平面度は10µm前

後)また、測定物をパラレルブロック等で支える場合には測

定物の自重による変形に注意が必要です。

1. 入力点への注意事項

①入力点の位置とアプローチ方向の注意

・スタイラスチップが確実に接触していること

・測定面に対して可能な限り垂直にアプローチする。(横滑り

をして目標からズレるのを防ぐ)

②入力点の分布

・できるだけ広い範囲に入力点を分散させた方が精度が高

くなります。(円ならば180°以上)

③入力点数

・円測定の最適入力点数で言うと、タッチトリガープローブが

持つ方向性、ゴミなどによる異常点を緩和させるためには

入力点が多い方が望ましいですが、円の中心位置に注目す

るだけであれば効率も考慮すると4点で十分との検証デー

タがあります。

2. 測定が困難な図面への対応

①基準要素部分が短い場合

・下図のように測定エリアが狭いと誤差が拡大するため、こ

ういう場合は評価部分を基準にして基準部分で評価します。

(取引先との交渉が前提です)

3. 清掃

球原点、スタイラス、プローブのジョイント部、そして測定物

にゴミやホコリが付着していると測定値に想像以上の影響

を与える可能性がありますので、測定前にはしっかりと清掃

を行います。このとき、アルコールなどを使用してしまうと、

スタイラスチップの接着が剥がれてしまう場合があるので、

使わないようにします。

③測定物が変形してしまうような強い力で固定しないこと

④温度変化による測定物の変形(ねじれなど)を逃がすよう

な固定をすること

⑤球原点、プローブ、スタイラスが緩み無くしっかりと取り付

けられていること

準備

測定

a

a (a≒0.577ℓ)

エアリー点(両端が平行になる)

100mm以上のゲージブロックはエアリー点で支持するのが標準姿勢

ベッセル点(中立軸上の両端間距離に与えるたわみの影響が最小になる)

(a≒0.559ℓ)

AA◎

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三次元測定機の測定データを添付して納品したはずの製品が

三次元測定機を保有している取引先にNGで返品されないため

に、取引先と測定方法について事前にコンセンサスを取ってお

くことが重要です。

測定機はものづくりにおける最後の砦であり、ものづくり企業の

信頼を支えるものです。正しいメンテナンスを行って、常に高い

パフォーマンスを出せるようにしておくことは極めて重要です。

②要素のわずかな部分しか測定できない

・下図のケースでR4,500やR5,500をその部分だけで円測定し

ても、とんでもない誤差が出てしまいます。この場合は、評

価したい部分を設計値曲線として与え、公差内に測定点が

あるかどうかで評価をする方が確実です。

③基準が架空線になっている場合

・下図のケースでは測定で基準を正確に設定することは不

可能です。このケースでは基準になっていない円1,2を使っ

て仮の基準を作り、ベストフィット機能を使って測定誤差を

最小にする手法が最適です。

①三次元測定機を使うのか、それ以外の測定機を使うのかを

確認します。

②使用するスタイラスの径・長さを合わせます。

③同じ位置を同じ強さで固定します。

④固定によって形状が矯正されても構わないか確認します。

⑤重量物であっても固定は確実に行います。

⑥基準位置を合わせます。

⑦入力位置や測定点数を合わせます。

⑧演算方式(円ならば平均円か内接円か)を合わせます。

⑦測定が難しい場合の代用方法を合わせます。

⑧測定する環境(温度環境など)を確認します。

[日常チェック項目]

①供給空気圧[毎日]

②エアフィルタ・ミストセパレータ:水分・油分が溜まってい

ないか確認[毎日]、エレメントは年1回交換します。

③XYZ各軸案内部の清掃

各軸の案内面に水分や微細な粉塵が付着している場合、

柔らかい布または紙(繊維の抜けないもの)で拭き取りま

す。油膜など汚れが取れないときは揮発性溶剤(無水アル

コール等)を併用します。[毎日]

④測定テーブル(石定盤)

汚れは柔らかい布を使った、から拭きもしくは専用のクリ

ーナかアルコールで拭き取ります。水や油は石定盤の膨張

の要因になるため、使用は厳禁です。[適時]

⑤各軸スケール

スケールの汚れはミスカウントの原因になります。オイル

ミストなどの油分が付着した場合、アルコールで拭き取り

ます。[適時]

⑥制御装置のエアフィルタ

汚れに応じて洗浄もしくは交換します。

④ねじ穴の位置

・ねじ穴位置を通常円測定で測定すると、その中心位置は全

く安定しません。よってタップやピンゲージをねじ込んで、

軸の部分を測定する方法が取られます。しかし、手間がか

かる上に、少しでもガタがあれば誤差要因になります。

らせん状に円筒測定をするねじマクロ機能を用いれば、高

精度なねじ穴直接測定が可能です。

データの整合性について

日常メンテナンス

R4,500R5,500

設計値曲線

入力点

公差(誤差倍率を拡大して表示)

円1(円弧)

円2

0.1mm

h

通常測定 ねじマクロ測定

中心位置の誤差大 中心位置の誤差小

●ねじマクロ機能で測定したねじ穴中心▲ねじゲージをねじ込んで測定した穴中心 (各4回)ねじゲージは90度ずつねじ込み角度を変えて測定。ねじゲージとねじ穴のガタが誤差となって現れている。

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国内サービスネットワーク三次元測定機を含め、ミツトヨ各種測定機器をご導入いただくための様々な実機検証や、ご導入後の操作実習、課題検証、日常のご質問への回答、校正・修理など、数百名の各専門スタッフがお客様をサポートいたします。

はじめて導入される測定機でも、安心してご活用いただけるようにすること、そしてお客様のものづくりに貢献できるようにすること、それが私たちの使命だと思っています。

ミツトヨ計測学院 カスタマーサポート課M3 Solution Center テクノサービス事業本部

お客様にご満足いただける「最高品質のサービス」を目指し、ミツトヨ商品の検査・校正・保守・修理に加え計測課題に対する最適なソリューションのご提案から、安心してご使用いただくためのトータルサポートまで全国で一貫したサービスをご提供いたします。

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宇都宮

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川崎

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安城神戸

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テクノサービス事業本部は、試験所及び校正機関認定のための国際規格 ISO/IEC 17025に適した JCSS認定校正事業者として、国家標準又は国際標準にトレーサブルな校正サービスをお客様にご提供いたします。校正・検査・修理料金の閲覧、標準器の校正予約は、弊社ホームページからご利用いただけます。 弊社ホームページ http://www.mitutoyo.co.jp

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海外ネットワーク

アメリカMitutoyo America CorporationAurora, U.S.A.M3 Solution Center-IllinoisAurora, U.S.A.M3 Solution Center-OhioMason, U.S.A.M3 Solution Center-MichiganMichigan, U.S.A.M3 Solution Center-CaliforniaCity of Industry, U.S.A.M3 Solution Center-North CarolinaHuntersville, U.S.A.M3 Solution Center-AlabamaHoover, U.S.A.M3 Solution Center-Washington Renton, U.S.A.M3 Solution Center-Texas Houston, U.S.A.M3 Solution Center-MassachusettsMarlborough, USA

カナダMitutoyo Canada Inc.Mississauga, Ont. L5N 5N1., CANADAMontreal OfficeQuebec, CANADA

アルゼンチンMitutoyo Sul Americana Ltda.Argentina BranchBuenos Aires – ARGENTINASucursal CordobaCordoba, ARGENTINA

ブラジルMitutoyo Sul Americana Ltda.São Paulo - SP, BRASILRegional OfficeBelo Horizonte - MGRio Grande do Sul / PR, SCRio de Janeiro - RJSanta Barbara D’Oeste - SPNorte, Nordeste, Centro Oeste

メキシコMitutoyo Mexicana S. A. de C. V.Estado de México, MÉXICOMonterrey Office / M3 Solution Center Guadalupe, MÉXICOTijuana Office / M3 Solution Center Tijuana, MÉXICO Querétaro Office / M3 Solution Center Fraccionamiento ObservatorioAguascalientes Office / M3 Solution Center Aguascalientes Ags, MÉXICOIrapuato Office / M3 Solution Center Irapuato Irapuato, Gto., MÉXICO

インドMitutoyo South Asia Pvt. Ltd.Head Office / M3 Solution Center New Delhi, INDIAMSA Gurgaon technical center Gurgaon, INDIAMumbai Region Head officeMumbai, INDIAPune Office / M3 Solution Center Pune, INDIAVadodara officeVadodara, INDIABengaluru Region Head office / M3 Solution CenterBengaluru, INDIAChennai Office / M3 Solution Center Chennai, INDIAKolkata Office Kolkata, INDIA

台湾Mitutoyo Taiwan Co., Ltd. / M3 Solution Center TaipeiTaipei City TAIWAN (R.O.C.)Taichung Branch / M3 Solution Center TaichungTaichung City, TAIWAN(R.O.C.)Kaohsiung Branch / M3 Solution Center KaohsiungKaohsiung City, TAIWAN(R.O.C.)

韓国Mitutoyo Korea CorporationHead Office / M3 Solution CenterGyeonggi-do, KOREABusan Office / M3 Solution CenterBusan, KOREADaegu Office / M3 Solution CenterDaegu, KOREA

中国Mitutoyo Measuring Instruments (Shanghai) Co., Ltd.Shanghai, CHINASuzhou Office / M3 Solution Center China (Suzhou)Suzhou, CHINAWuhan OfficeWuhan, CHINAChengdu OfficeSichuan, CHINAHangzhou OfficeHangzhou, CHINATianjin Office / M3 Solution Center TianjinTianjin, CHINAChangchun OfficeChangchun, CHINAQingdao Office / M3 Solution Center QingdaoShandong, CHINAXi’an OfficeXi’an, CHINADalian OfficeDalian, CHINAZhengzhou OfficeZhengzhou City, CHINAMitutoyo Leeport Metrology (Hong Kong) LimitedKwai Chung, NT, HONG KONGMitutoyo Leeport Metrology (Dongguan) Limited/ M3 Solution Center DongguanGuang Chang Road, Chong Tou ZoneMitutoyo Leeport Metrology (Dongguan) Limited – Fuzhou officeFuzhou City, CHINAMitutoyo Leeport Metrology (Dongguan) Limited – Changsha officeHunan Province, CHINA

ヨーロッパMitutoyo Europe GmbHNeuss, GERMANY

ドイツMitutoyo Deutschland GmbHNeuss, GERMANYM3 Solution Center HamburgHamburg, GERMANYM3 Solution Center BerlinBerlin, GERMANYM3 Solution Center EisenachEisenach, GERMANYM3 Solution Center IngolstadtIngolstadt, GERMANYM3 Solution Center LeonbergLeonberg, GERMANYMitutoyo-Messgeräte Leonberg GmbHLeonberg, GERMANY

イギリスMitutoyo (UK) Ltd.Hampshire UNITED KINGDOMM3 Solution Center CoventryWarwickshire, UNITED KINGDOMM3 Solution Center HalifaxWest Yorkshire, UNITED KINGDOMM3 Solution Center East KilbrideEast Killbride, UNITED KINGDOM

フランスMitutoyo FranceParis, FRANCEM3 Solution Center LYONSaint-Priest, FRANCEM3 Solution Center STRASBOURGGeispolsheim, FRANCEM3 Solution Center CLUSESScionzier, FRANCEM3 Solution Center TOULOUSETOULOUSE, FRANCEM3 Solution Center RENNESNoyal-Châtillon sur Seiche, FRANCE

イタリアMitutoyo ITALIANA S.r.l.Corso Europa, ITALYM3 Solution Center TORINOVolpiano (TO), ITALYM3 Solution Center CHIETIRocca S. Giovanni (CH), ITALYM3 Solution Center PADOVAMestrino (PD), ITALY

オランダMitutoyo Nederland B.V.KW Veenendaal, THE NETHERLANDS

ベルギーMitutoyo Belgium N.V.Kruibeke, BELGIUM

スウェーデンMitutoyo Scandinavia ABUpplands Väsby, SWEDENM3 Solution Center AlingsasAlingsas, SWEDENM3 Solution Center VärnamoVärnamo, SWEDEN

フィンランドMitutoyo Scandinavia Aktiebolag Finnish BranchPirkkala, FINLAND

スイスMitutoyo Schweiz AGUrdorf, SWITZERLANDMitutoyo Suisse SAYverdon-les Bains, SWITZERLAND

ポーランドMitutoyo Polska Sp.z o.o.Wroclaw, POLAND

チェコMitutoyo Cesko, s.r.o.Teplice, CZECH REPMitutoyo Česko M3 Solution Center Ivančice Ivančice, CZECH REPMitutoyo Česko M3 Solution Center Ostrava MošnovMošnov, CZECH REP

ハンガリーMitutoyo Hungária Kft.Budapest, HUNGARY

ルーマニアMitutoyo Romania SRLOTOPENI-ILFOV, ROMANIAShowroom in BrasovBrasov-Judetul Brasov, ROMANIA

ロシアMitutoyo RUS LLCMoscow, RUSSIAN FEDERATION

オーストリアMitutoyo Austria GmbHTraun, AUSTRIA

シンガポールMitutoyo Asia Pacific Pte. Ltd.Head Office / M3 Solution CenterSINGAPORE

マレーシアMitutoyo (Malaysia) Sdn. Bhd.Kuala Lumpur Head Office / M3 Solution CenterSelangor, MALAYSIAPenang Branch office / M3 Solution CenterPenang, MALAYSIAJohor Branch office / M3 Solution CenterJohor, MALAYSIA

インドネシアPT. Mitutoyo IndonesiaHead Office / M3 Solution CenterBekasi, INDONESIA

タイMitutoyo (Thailand) Co., Ltd.Bangkok Head Office / M3 Solution CenterBangkok, THAILANDCholburi Branch / M3 Solution CenterCholburi , THAILANDAmata Nakorn Branch / M3 Solution CenterCholburi, THAILAND

ベトナムMitutoyo Vietnam Co., Ltd.Hanoi Head Office / M3 Solution CenterHanoi, VIETNAMHo Chi Minh City Branch Office / M3 Solution CenterHo Chi Minh City, VIETNAM

フィリピンMitutoyo Philippines, Inc.Laguna, PHILIPPINES

1963年(昭和38年)、販売会社MTI社(米国)設立以来、全世界にそのマーケットを拡大しているミツトヨ。現在、29か国に研究開発・製造・販売・技術サービス拠点と80数か国の代理店網をネット。各地域社会に合わせたサービスで、世界のトップメーカとしての地位を不動のものとしています。

■ 販売

Mitutoyo Europe GmbH Mitutoyo(UK)L.td. Mitutoyo France S.A.R.L Mitutoyo America Corporation Head Office

Mitutoyo Italiana S.R.L. Mitutoyo Asia Pacific Pte. Ltd. Regional Headquarters

欧州 米州

東南・南アジア

東アジア

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座標測定機

精密センサ

画像測定機

試験・計測機器

形状測定機

スケールユニット

光学機器

測定工具、測定基準器、計測システム

●外観・仕様などは商品改良のために、一部変更することがありますのでご了承ください。●本カタログに掲載されている仕様は2017年8月現在のものです。

119 1708(3)B-(CH)NE 131

弊社商品は外国為替及び外国貿易法に基づき、日本政府の輸出許可の取得を必要とする場合があります。製品の輸出や技術情報を非居住者に提供する場合は最寄りの営業所へご相談ください。 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533

http://www.mitutoyo.co.jp

http://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/domestic/list.html#sale

最寄りの営業所をご確認いただけます。

お求めは当店で—

M3 Solution Center…商品の実演を通して最新の計測技術をご提案しています。事前に弊社営業所にご連絡ください。UTSUNOMIYA 宇都宮市下栗町 2200 〒321-0923 電話 (028) 660-6240 ファクス (028) 660-6248TOKYO 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 813-1611 ファクス (044) 813-1610SUWA 諏訪市中洲 582-2 〒392-0015 電話 (0266) 53-6414 ファクス (0266) 58-1830ANJO 安城市住吉町 5-19-5 〒446-0072 電話 (0566) 98-7070 ファクス (0566) 98-6761OSAKA 大阪市住之江区南港北 1-4-34 〒559-0034 電話 (06) 6613-8801 ファクス (06) 6613-8817HIROSHIMA 呉市広古新開 6-8-20 〒737-0112 電話 (082) 427-1161 ファクス (082) 427-1163FUKUOKA 福岡市博多区博多駅南 4-16-37 〒812-0016 電話 (092) 411-2911 ファクス (092) 473-1470

計測技術者養成機関…各種のコースが開催されています。 詳細は弊社営業所にご連絡ください。ミツトヨ計測学院 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 822-4124 ファクス (044) 822-4000

カスタマーサポートセンタ…商品に関しての各種のお問合せ、ご相談をお受けしています。 電話 (050) 3786-3214 ファクス (044) 813-1691

仙台営業所 仙台市若林区卸町東1-7-30 〒984-0002 電話(022)231-6881 ファクス(022)231-6884 郡山駐在所 電話(024)931-4331宇都宮営業所 宇都宮市平松本町796-1 〒321-0932 電話(028)660-6240 ファクス(028)660-6248 つくば駐在所 電話(029)839-9139伊勢崎営業所 伊勢崎市宮子町3463-13 〒372-0801 電話(0270)21-5471 ファクス(0270)21-5613 さいたま駐在所 電話(048)667-1431 新潟駐在所 電話(025)281-4360川崎営業所 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話(044)813-1611 ファクス(044)813-1610 東京駐在所 電話(03)3452-0481厚木営業所 厚木市岡田1-7-1 ヴェルドミールSUZUKI 105 〒243-0021 電話(046)226-1020 ファクス(046)229-5450 八王子駐在所 電話(042)620-5380 富士駐在所 電話(0545)55-1677 諏訪営業所 諏訪市中洲582-2 〒392-0015 電話(0266)53-6414 ファクス(0266)58-1830 上田駐在所 電話(0268)26-4531浜松営業所 浜松市東区和田町587-1 〒435-0016 電話(053)464-1451 ファクス(053)464-1683安城営業所 安城市住吉町5-19-5 〒446-0072 電話(0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761名古屋営業所 名古屋市昭和区鶴舞4-14-26 〒466-0064 電話(052)741-0382 ファクス(052)733-0921金沢営業所 金沢市桜田町1-26 ドマーニ桜田 〒920-0057 電話(076)222-1160 ファクス(076)222-1161大阪営業所 大阪市住之江区南港北1-4-34 〒559-0034 電話(06)6613-8801 ファクス(06)6613-8817 神戸駐在所 電話(078)924-4560京滋営業所 草津市大路2-13-27 辻第3ビル1F 〒525-0032 電話(077)569-4171 ファクス(077)569-4172岡山営業所 岡山市北区田中134-107 〒700-0951 電話(086)242-5625 ファクス(086)242-5653広島営業所 東広島市八本松東2-15-20 〒739-0142 電話(082)427-1161 ファクス(082)427-1163福岡営業所 福岡市博多区博多駅南4-16-37 〒812-0016 電話(092)411-2911 ファクス(092)473-1470センシング営業部 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話(044)813-8236 ファクス(044)822-8140