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기획 4 2014년 8월 6일 수요일 제406호 스마트폰과 조선 등 우리의 주요 수출품목이 중국의 거 센 추격을 받으며 주춤거려 국민들의 우려를 낳고 있는 가 운데 그래도 꿋꿋하게 우리 경제의 버팀목이 되고 있는 산 업이 있다. 바로 D램 반도체가 그것이다. 5일 업계에 따르면 삼성전자의 지난 2분기 실적에서 반 도체 부문은 전 분기 대비 매출은 4% 증가한 9조7800억 원, 영업이익은 5% 감소한 1조8600억원의 실적을 올렸 다. 시장의 기대수준에는 미치지 못했지만 그래도 선방했 다는 평가다. 특히 하반기 메모리 시장은 계절적 수요 증가 속 제한적 인 공급 증가로 실적 개선 추이가 지속될 것 으로 전망되고 있다. 한편 SK하이닉스는 상반기 최대 실적을 올 렸다. SK하이닉스는 2분기 연속 영업이익 1조원 이상을 올려 올 상반기 영업이익 2조원을 돌파했다. 이렇게 우리 경제의 버팀목이 되고 있는 D램 반도체는 언 제까지 승승장구할 수 있을까? 익명을 요구한 학계 인사는 “D램을 비롯한 메모리 시장 에서의 우위는 최소한 5년 정도는 유지될 것”이라며 “메모 리 제조 기술의 경쟁력은 고집적 양산 기술을 통한 가격 경 쟁력 확보에서 나오는데 경쟁업체들이 단기간에 확보하 기에는 자금과 시간상 어려울 것이기 때문”이라고 말했다. 그는 “무엇보다 장기간 1~2위를 유지해온 국내 업체들 의 자금력은 대체 메모리 기술 개발에서 앞서갈 수 있는 자 원이 되고 있다”고 덧붙였다. 그런데 우리는 계속 D램 반도체를 앞으로도 사용하 게 될까? 이 질문에 학계 인사는 "FeRAM(강유전체 램), MRAM(고 체 자 기 메 모 리), STTRAM(Spin Transfer Torque RAM) 등의 차세대 메모리가 개발되어 왔으나 각 각의 장점이 차별화되지 못하고 아직 D램이나 플래시 메 모리만큼 뚜렷하게 기존 기술을 대체할 것으로 보이는 대 표 주자는 없는 상태"라고 말했다. 글로벌 기업 삼성전자를 떨게 하는 회사가 있다. 그 회사 는 세계 반도체 장비업계 1위인 미국 어플라이드머티어리 얼스다. 미국 어플라이드머티어리얼스(AMAT)와 3위 업체인 일본 도쿄일렉트론(TEL)은 합병을 진행 중인데 이를 바라 보는 삼성전자는 ‘떨떠름’하다. 왜냐하면 이 두 회사가 합 병할 경우 합병회사 의 반도체 핵심 장비 점유율이 50% 이상 이 되기 때문이다. 즉, 파는 사람이 큰 소리 치는 상황이 된 다는 이야기다. 1967년 설립된 어 플라이드머티어리얼 스의 작년 매출은 75억 달러였다. 직원 수는 1만3700명이 고 보유 특허 수는 1만400건에 달한다. 글로벌 네트워크는 18개국 84개소에 뻗어있고 한국에 도 어플라이드머티어리얼스 코리아가 운영되고 있다. 1989년 한국에서 사업을 시작한 어플라이드머티어리 얼스 코리아의 작년 매출은 약 2조원이었고 반도체-디스 플레이-태양광 분야에서 사업을 벌이고 있다. 어플라이드머티어리얼스는 부품과 장비만 파는 회사가 아니다. 이들은 서비스도 같이 팔고 있다. 이들이 팔고 있는 서비스란 컨설팅이다. 팹 생산성에 대 한 컨설팅, 수율과 예측성에 관한 컨설팅 등을 진행하고 있다. 어플라이드머티어리얼스 코리아의 주요 고객사는 삼성 전자와 하이닉스, 삼성-LG디스플레이 등이며 증착, 열처 리, 배선, 평탄화, 검사, 식각, 도금, 이온주입 등 대부분의 반도체 장비를 공급 중이다. 디스플레이는 박막트랜지스터(TFT) 분야를 주력으로 하고 있다. 곽호성 기자 한국은 세계적인 반도체 강국으로 인정받고 있지만 반도체 장비 분야에 서는 아직 두각을 나타내지 못하고 있 어 반도체 장비 분야 육성 노력을 기 울여야 한다는 목소리가 일고 있다. 5일 업계에 따르면 현재 반도체장비 국산화 비율은 30% 정도다. 반도체 장비의 종류는 크게 둘로 나 눌 수 있다. 전공정에 들어가는 장비 와 후공정에 들어가는 장비 이렇게 둘 이다. 전공정은 우리가 흔히 알고 있는 반 도체 칩을 만들기 전의 상태인 웨이퍼 (실리콘 결정체)를 만드는 공정이다. 후공정은 전공정 다음 조립과 검사에 관련된 공정이다. 전공정 장비로는 트랙커, 스테퍼 (노 광장비) , 얼라이너, 에처, 애셔가 있다. 전공정 장비에 포함되는 세정장비로 는 왯 스테이션, 드라이클리닝, 웨이 퍼 스크러버, 드라이어가 있다. 열처리 장비로는 퍼니스, 어넬링 M/ C, RTP(rapid thermal processing) 가 있 고, 불순물 주입 장비로 이온 임플랜 터가 있다. 박막형성 장비로는 CVD(chemical vapor deposition), PVD(physical vapor deposition), CMP(chemical mechanical planarization) 장비 등이 있다. 후공정 장비로는 다이서, 다이 본더, 와이어 본더, 탭 본더가 있고 검사장 비로는 웨이퍼 프로버, 테스터, 테스 트 핸들러, 번인이 있다. 익명을 요구한 학계 인사는 “현재 반도체 국산화율은 70% 정도 진척이 된 것으로 본다”며 “30% 정도 진척이 된 것으로 보는 견해도 있는데 반도체 장비 금액으로 보면 그렇게 생각할 수 도 있다”고 설명했다. 반도체 공정의 경우 일반 공정과 최 근 나온 첨단 제품을 생산하는 첨단 공정이 있는데 첨단 공정은 아직 국산 화율이 낮은 반면 장비의 가격은 매우 높기 때문이다. 주의 깊게 봐야 할 점은 현재 달성한 장비 국산화율이 다시 떨어질 수도 있 반도체 장비 국산화율 30% 신제품 국내 메이저社 채택할 수 있게 세제혜택 등 정부 육성책 · 시급 첨단 장비부분서 특히 취약 소프트웨어 · OS 등 기술부족 비메모리 장비 함께 키워야 정부,시스템LSI투자지원을 D램의 절대강자 한국반도체 최소 5년간 세계 최강 독주 삼성을 떨게하는 이 회사 반도체 장비회사의 지존 어플라이드머티어리얼스 다는 사실이다. 그래서 학계와 업계에서는 정부의 정책적 배려가 중요하다고 강조하고 있다. 학계 인사는 “우선적으로 정부의 역 할이 중요하며 정부가 의지를 가지 고 국산화율을 개선할 수 있도록 기 업 과제를 지원해야 한다”며 “개발된 제품이 국내 메이저 반도체 업체들에 채택될 수 있도록 세제혜택이나 인센 티브를 제공하는 것이 초기에는 필요 하다”고 말했다. 이어 국내 비(非)메모리 반도체 산 업과 관련, “반도체 산업이 발전을 하 려면 메모리 반도체나 반도체 장비 와 함께 비메모리 반도체 분야가 크 게 발전해야 하는데 현재 우리는 비 메모리 반도체와 밀접한 연관이 있는 OS(operating system software)기술 이 부족해 큰 문제”라고 지적하고 “한 가지 사례를 들면 구글이 내놓은 안 드로이드의 경우 외산 AP(application processor)들은 안드로이드에 잘 연 동이 되기 때문에 좋지만 국내 AP의 경우 외산 OS에 완전히 연동시키기 가 쉽지 않아 AP 매출 증대에 어려움 이 있다”고 지적했다. 이런 문제를 해결하기 위해 정부가 IT분야에 더욱 관심을 쏟고 특히 소 프트웨어 분야와 시스템LSI 분야에 투자를 진행해야 한다는 것이 학계와 업계의 공통된 의견이다. 곽호성 기자 삼성전자 2분기 매출 10조 SK하이닉스 사상최고 실적 D램 · 플래시메모리 대체 할 차세대메모리 시장 아직은~ 세계3위 日社와 합병 논의 합치면 세계시장 50%점유 공급자가 가격주도권 장악 장비 서비스 컨설팅까지~ VISION PLACEMENT - 30000L. 반도체 패 키징 공정에 필수적인 장비로, 절단 후 자동 화된 3D 비전 검사 (Vision Inspection) 기능을 통해 불량 패키지를 자동 검사해 선별 및 분 류한다.(사진 위) 한미반도체=제공 어플라이드 엔듀라 볼타 CVD 코발트 시스 템. 어플라이드 머티어리얼즈 코리아=제공 어플라이드머티어리얼즈 Applied AKT-PiVot™ PVD 시스템 20나노 4Gb DDR3양산 삼성전자 20나노D램. 장비 개발 어디까지 왔나

반도체 장비 국산화율 - pdf.egreennews.compdf.egreennews.com/406/40604.pdf · 4 2014년 8월 6일 수요일 기획 제406호 스마트폰과 조선 등 우리의 주요 수출품목이

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Page 1: 반도체 장비 국산화율 - pdf.egreennews.compdf.egreennews.com/406/40604.pdf · 4 2014년 8월 6일 수요일 기획 제406호 스마트폰과 조선 등 우리의 주요 수출품목이

기획4 2014년 8월 6일 수요일 제406호

스마트폰과 조선 등 우리의 주요 수출품목이 중국의 거

센 추격을 받으며 주춤거려 국민들의 우려를 낳고 있는 가

운데 그래도 꿋꿋하게 우리 경제의 버팀목이 되고 있는 산

업이 있다. 바로 D램 반도체가 그것이다.

5일 업계에 따르면 삼성전자의 지난 2분기 실적에서 반

도체 부문은 전 분기 대비 매출은 4% 증가한 9조7800억

원, 영업이익은 5% 감소한 1조8600억원의 실적을 올렸

다. 시장의 기대수준에는 미치지 못했지만 그래도 선방했

다는 평가다.

특히 하반기 메모리 시장은 계절적 수요 증가 속 제한적

인 공급 증가로 실적

개선 추이가 지속될 것

으로 전망되고 있다.

한편 SK하이닉스는

상반기 최대 실적을 올

렸다.

SK하이닉스는 2분기

연속 영업이익 1조원

이상을 올려 올 상반기

영업이익 2조원을 돌파했다.

이렇게 우리 경제의 버팀목이 되고 있는 D램 반도체는 언

제까지 승승장구할 수 있을까?

익명을 요구한 학계 인사는 “D램을 비롯한 메모리 시장

에서의 우위는 최소한 5년 정도는 유지될 것”이라며 “메모

리 제조 기술의 경쟁력은 고집적 양산 기술을 통한 가격 경

쟁력 확보에서 나오는데 경쟁업체들이 단기간에 확보하

기에는 자금과 시간상 어려울 것이기 때문”이라고 말했다.

그는 “무엇보다 장기간 1~2위를 유지해온 국내 업체들

의 자금력은 대체 메모리 기술 개발에서 앞서갈 수 있는 자

원이 되고 있다”고 덧붙였다.

그런데 우리는 계속 D램 반도체를 앞으로도 사용하

게 될까? 이 질문에 학계 인사는 "FeRAM(강유전체 램),

MRAM(고 체 자 기 메 모 리), STTRAM(Spin Transfer

Torque RAM) 등의 차세대 메모리가 개발되어 왔으나 각

각의 장점이 차별화되지 못하고 아직 D램이나 플래시 메

모리만큼 뚜렷하게 기존 기술을 대체할 것으로 보이는 대

표 주자는 없는 상태"라고 말했다.

글로벌 기업 삼성전자를 떨게 하는 회사가 있다. 그 회사

는 세계 반도체 장비업계 1위인 미국 어플라이드머티어리

얼스다.

미국 어플라이드머티어리얼스(AMAT)와 3위 업체인

일본 도쿄일렉트론(TEL)은 합병을 진행 중인데 이를 바라

보는 삼성전자는 ‘떨떠름’하다. 왜냐하면 이 두 회사가 합

병할 경우 합병회사

의 반도체 핵심 장비

점유율이 50% 이상

이 되기 때문이다.

즉, 파는 사람이 큰

소리 치는 상황이 된

다는 이야기다.

1967년 설립된 어

플라이드머티어리얼

스의 작년 매출은 75억 달러였다. 직원 수는 1만3700명이

고 보유 특허 수는 1만400건에 달한다.

글로벌 네트워크는 18개국 84개소에 뻗어있고 한국에

도 어플라이드머티어리얼스 코리아가 운영되고 있다.

1989년 한국에서 사업을 시작한 어플라이드머티어리

얼스 코리아의 작년 매출은 약 2조원이었고 반도체-디스

플레이-태양광 분야에서 사업을 벌이고 있다.

어플라이드머티어리얼스는 부품과 장비만 파는 회사가

아니다. 이들은 서비스도 같이 팔고 있다.

이들이 팔고 있는 서비스란 컨설팅이다. 팹 생산성에 대

한 컨설팅, 수율과 예측성에 관한 컨설팅 등을 진행하고

있다.

어플라이드머티어리얼스 코리아의 주요 고객사는 삼성

전자와 하이닉스, 삼성-LG디스플레이 등이며 증착, 열처

리, 배선, 평탄화, 검사, 식각, 도금, 이온주입 등 대부분의

반도체 장비를 공급 중이다.

디스플레이는 박막트랜지스터(TFT) 분야를 주력으로

하고 있다. 곽호성 기자

한국은 세계적인 반도체 강국으로

인정받고 있지만 반도체 장비 분야에

서는 아직 두각을 나타내지 못하고 있

어 반도체 장비 분야 육성 노력을 기

울여야 한다는 목소리가 일고 있다.

5일 업계에 따르면 현재 반도체장비

국산화 비율은 30% 정도다.

반도체 장비의 종류는 크게 둘로 나

눌 수 있다. 전공정에 들어가는 장비

와 후공정에 들어가는 장비 이렇게 둘

이다.

전공정은 우리가 흔히 알고 있는 반

도체 칩을 만들기 전의 상태인 웨이퍼

(실리콘 결정체)를 만드는 공정이다.

후공정은 전공정 다음 조립과 검사에

관련된 공정이다.

전공정 장비로는 트랙커, 스테퍼(노

광장비), 얼라이너, 에처, 애셔가 있다.

전공정 장비에 포함되는 세정장비로

는 왯 스테이션, 드라이클리닝, 웨이

퍼 스크러버, 드라이어가 있다.

열처리 장비로는 퍼니스, 어넬링 M/

C, RTP(rapid thermal processing)가 있

고, 불순물 주입 장비로 이온 임플랜

터가 있다.

박막형성 장비로는 CVD(chemical

vapor deposition), PVD(physical vapor

deposition), CMP(chemical mechanical

planarization) 장비 등이 있다.

후공정 장비로는 다이서, 다이 본더,

와이어 본더, 탭 본더가 있고 검사장

비로는 웨이퍼 프로버, 테스터, 테스

트 핸들러, 번인이 있다.

익명을 요구한 학계 인사는 “현재

반도체 국산화율은 70% 정도 진척이

된 것으로 본다”며 “30% 정도 진척이

된 것으로 보는 견해도 있는데 반도체

장비 금액으로 보면 그렇게 생각할 수

도 있다”고 설명했다.

반도체 공정의 경우 일반 공정과 최

근 나온 첨단 제품을 생산하는 첨단

공정이 있는데 첨단 공정은 아직 국산

화율이 낮은 반면 장비의 가격은 매우

높기 때문이다.

주의 깊게 봐야 할 점은 현재 달성한

장비 국산화율이 다시 떨어질 수도 있

반도체 장비 국산화율 30%신제품 국내 메이저社 채택할 수 있게 세제혜택 등 정부 육성책·시급

첨단 장비부분서 특히 취약

소프트웨어·OS 등 기술부족

비메모리 장비 함께 키워야

정부, 시스템LSI 투자 지원을

D램의 절대강자 한국반도체

최소 5년간 세계 최강 ‘독주’ 삼성을 떨게하는 이 회사

반도체 장비회사의 ‘지존’

‘어플라이드머티어리얼스’

다는 사실이다.

그래서 학계와 업계에서는 정부의

정책적 배려가 중요하다고 강조하고

있다.

학계 인사는 “우선적으로 정부의 역

할이 중요하며 정부가 의지를 가지

고 국산화율을 개선할 수 있도록 기

업 과제를 지원해야 한다”며 “개발된

제품이 국내 메이저 반도체 업체들에

채택될 수 있도록 세제혜택이나 인센

티브를 제공하는 것이 초기에는 필요

하다”고 말했다.

이어 국내 비(非)메모리 반도체 산

업과 관련, “반도체 산업이 발전을 하

려면 메모리 반도체나 반도체 장비

와 함께 비메모리 반도체 분야가 크

게 발전해야 하는데 현재 우리는 비

메모리 반도체와 밀접한 연관이 있는

OS(operating system software)기술

이 부족해 큰 문제”라고 지적하고 “한

가지 사례를 들면 구글이 내놓은 안

드로이드의 경우 외산 AP(application

processor)들은 안드로이드에 잘 연

동이 되기 때문에 좋지만 국내 AP의

경우 외산 OS에 완전히 연동시키기

가 쉽지 않아 AP 매출 증대에 어려움

이 있다”고 지적했다.

이런 문제를 해결하기 위해 정부가

IT분야에 더욱 관심을 쏟고 특히 소

프트웨어 분야와 시스템LSI 분야에

투자를 진행해야 한다는 것이 학계와

업계의 공통된 의견이다.

곽호성 기자

삼성전자 2분기 매출 10조

SK하이닉스 사상최고 실적

D램·플래시메모리 대체 할

차세대메모리 시장 아직은~

세계3위 日社와 합병 논의

합치면 세계시장 50%점유

공급자가 가격주도권 장악

장비 서비스 컨설팅까지~

VISION PLACEMENT - 30000L. 반도체 패

키징 공정에 필수적인 장비로, 절단 후 자동

화된 3D 비전 검사 (Vision Inspection) 기능을

통해 불량 패키지를 자동 검사해 선별 및 분

류한다.(사진 위) 한미반도체=제공

어플라이드 엔듀라 볼타 CVD 코발트 시스

템. 어플라이드 머티어리얼즈 코리아=제공

어플라이드머티어리얼즈 Applied AKT-PiVot™ PVD 시스템

20나노 4Gb DDR3양산 삼성전자 20나노D램.

장비 개발 어디까지 왔나