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8 | SMALL VACUUM PUMPS CATALOG ■ポンプ選定のしおり 80 60 40 20 0 1×10 4 2 3 Pa (L/min) DA-121D DA-60D DA-30D DA-20D DAT-50D example 1 50リットルの容器を大気圧から10000Paまで5分で減圧したい。どのポンプを選べばいいでしょうか? example 2 80リットルのタンクを、大気圧から 13kPa まで減圧するのに要する時間は? ポンプは DA-121D を使用する。 図の通り、10000Pa で 23L/ min 以上の排気速度が必要で すから、DA-30D 以上のポン プをお選びください。ただし、 配管コンダクタンスや漏れ等 を考慮して、実際には安全率 を見込んでお選びください。 S= S ≒ 23 L /min (at 1Pa) t 5 V 50 P2 10,000 P1 100,000 × 2.303 log t = t0= t1 + t2 + t3 + …… S V P2 P1 × 2.303 log タンク容積 (L) 初期圧力 (Pa) 最終圧力 (Pa) 排気時間 (min) ポンプ排気速度 (L/min) 1.排気時間、排気速度の計算式 2.真空により、吸着吸引する場合の計算式 下記の計算式と機種別排気速度曲線により、使用目的によるポンプが選定できます。 100 80 60 40 20 120 140 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 ×10kPa 50Hz 圧力 Pressure L/min (L/min) 排気速度 Pumping Speed DA-121D 真空吸着とは、真空と大気圧との差圧を利用して物体を真空側に吸い付 けることです。大気圧は1 kg/cm 2 です。したがって差圧による力は、絶 対真空(真空圧力0)の場合は1kg/cm 2 、真空圧力50662Pa(1/2気圧)の 場合は0.5kg/cm 2 となります。 真空吸着 実際の吸着 真空ポンプへ 吸着パッド 真空ポンプへ 吸着用ブロック 真空ポンプへ 吸着用ブロック 工作機械テーブル 加工物 刃物 実際に吸着する際は、一般的に吸着パット、吸着ブロックが利用されます。 パイプ 漏れが無いこと 真空状態 大気の圧力 大気圧→90kPa S1=124L/min S= t1= 80 124 2.303 log ×2.303Log 101324 90000 =0.08 90kPa→80kPa S2=123L/min t2= 80 123 2.303 log 90000 80000 =0.10 80kPa→70kPa S3=122L/min t3= 80 122 2.303 log 80000 70000 =0.10 70kPa→60kPa S4=120L/min t4= 80 120 2.303 log 70000 60000 =0.10 60kPa→50kPa S5=116L/min t5= 80 116 2.303 log 60000 50000 =0.15 50kPa→40kPa S6=111L/min t6= 80 111 2.303 log 50000 40000 =0.16 40kPa→30kPa S7=108L/min t7= 80 108 2.303 log 40000 30000 =0.21 30kPa→20kPa S8=96L/min t8= 80 96 2.303 log 30000 20000 =0.50 20kPa→13kPa t0=t1~+t2~+t9=1.80min S9=86L/min t9= 80 86 2.303 log 20000 13000 =0.40 v t P1 初期圧力 P2 最終圧力

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■ポンプ選定のしおり

100

80

60

40

20

120

140

0 1×104 2 3 4 5 6 7 7.6Pa

50Hz

(L/min)

DA-121D

DA-60D

DA-30D

DA-20D

DAT-50D

100

80

60

40

20

120

140

example 1 50リットルの容器を大気圧から10000Paまで5分で減圧したい。どのポンプを選べばいいでしょうか?

example 2 80リットルのタンクを、大気圧から13kPaまで減圧するのに要する時間は?ポンプはDA-121Dを使用する。

図の通り、10000Paで23L/min 以上の排気速度が必要ですから、DA-30D以上のポンプをお選びください。ただし、配管コンダクタンスや漏れ等を考慮して、実際には安全率を見込んでお選びください。

S=

S ≒ 23 L/min (at 1Pa)

t 5V 50

P2 10,000P1 100,000

× 2.303 log

t =

t0= t1 + t2 + t3 + ……SV

P2P1

× 2.303 logタンク容積(L)

初期圧力(Pa)

最終圧力(Pa)排気時間

(min)

ポンプ排気速度(L/min)

1.排気時間、排気速度の計算式

2.真空により、吸着吸引する場合の計算式

下記の計算式と機種別排気速度曲線により、使用目的によるポンプが選定できます。

100

80

60

40

20

120

140

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10×10kPa

50Hz

圧力Pressure L/min

(L/min)

排気速度

Pumping Speed

DA-121D

 真空吸着とは、真空と大気圧との差圧を利用して物体を真空側に吸い付けることです。大気圧は1 kg/cm2です。したがって差圧による力は、絶対真空(真空圧力0)の場合は1kg/cm2、真空圧力50662Pa(1/2気圧)の場合は0.5kg/cm2となります。

●真空吸着

●実際の吸着

真空ポンプへ

吸着パッド

真空ポンプへ

吸着用ブロック真空ポンプへ

吸着用ブロック

工作機械テーブル

加工物

刃物 実際に吸着する際は、一般的に吸着パット、吸着ブロックが利用されます。

パイプ

漏れが無いこと真空状態

大気の圧力

大気圧→90kPa S1=124L/min

S=

t1= 80124 2.303 log

×2.303Log

10132490000 =0.08

90kPa→80kPa S2=123L/min t2= 80123 2.303 log 9000080000 =0.10

80kPa→70kPa S3=122L/min t3= 80122 2.303 log 8000070000 =0.10

70kPa→60kPa S4=120L/min t4= 80120 2.303 log 7000060000 =0.10

60kPa→50kPa S5=116L/min t5= 80116 2.303 log 6000050000 =0.15

50kPa→40kPa S6=111L/min t6= 80111 2.303 log 5000040000 =0.16

40kPa→30kPa S7=108L/min t7= 80108 2.303 log 4000030000 =0.21

30kPa→20kPa S8=96L/min t8= 8096 2.303 log 3000020000 =0.50

20kPa→13kPa

t0=t1~+t2~+t9=1.80min

S9=86L/min t9= 8086 2.303 log 2000013000 =0.40

vt

P1 初期圧力P2 最終圧力

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 真空吸着の力は、真空ポンプの性能と吸着パットや吸着ブロックの吸着面積により決まります。

●実際の計算式

垂直吊りの場合理論計算値×3

横吊りの場合理論計算値×6

A= = =101,324×W

(101,324-P)×T101,324×0.5

101,324-40,000

0.5kgのワークを垂直吊りする場合、吸着パットの面積は?吸着パットの圧力を40,000Paとする。

垂直吊りなので、0.83×3=2.69cm2 となります。

0.83(cm2)

W=(101,324-P)101,324

×A×TW=理論の吸着力(kg)P=吸着パットの圧力(Pa)A=吸着パットの面積(cm2)T=大気圧による力(1kg/cm2)

吸着パッドの場合の吸着面積Aの考え方

吸着前はA=πd2/4 実際に吸着するとA=πD2/4

φd φdφD

多孔ブロックの場合の吸着面積Aの考え方

A=πd2/4×n(n:穴の数)となる

φd

真空ポンプへ

●実際の計算例

●安全率

 計算式では次の通りです。

真空

大気圧-大気圧=0<起動トルク

アンローダーバルブ作動図

大気圧 大気圧 大気圧

真空

真空 真空

大気圧 大気圧 大気圧

大気圧 大気圧

真空

大気圧-大気圧=0<起動トルク

アンローダーバルブ作動図

大気圧 大気圧 大気圧

真空

真空 真空

大気圧 大気圧 大気圧

大気圧 大気圧

■アンローダーバルブ

 アンローダーバルブは、ダイアフラム型ドライ真空ポンプを止めた際、ポンプヘッド内部に大気をすばやく導入し、ポンプヘッドと外側の差圧をなくし、ポンプの起動特性を改善するものです。

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