光學式瞳位追蹤器設計

結合微影裝置之機器視覺量測技術

設備資源

研究成果

專長: 光電量測 機器視覺 人機介面

研究室簡介: 本研究室致力於微影與光電量測、產業創新技術研發工作。涵蓋範圍為微影與光電，企圖整合光、機、資、電，專心於次微米級元件之光電量測技術及機器視覺監控方面的應用與研發。

(1)影像量測機器視覺計統 (2)機板裝著 (3)TFL-LCD蝕刻電晶體線寬與線距 (4)ACF之導電粒子破裂變形狀況之自動量測判斷 (5)瞳位追蹤器、影像式頭控系統之人機介面設計 (6)LCD導光板視覺檢測系統 (7)應用於手機鏡頭之液態透鏡變焦模組運作模擬分析及三維輪廓量測與重建系統 (8)生物試劑與生物碟片自動化檢測系統 (9)光電元件之自動化生產與量測技術

(1)雷射掃描儀 (2)雷射影像式量測儀 (3)LCD設備對準設備PC監控 (4)X-Y TABLE

(5)雷射位移計 (6)麥克森干涉儀 (7)雷射切割系統 (8)PC-PLC

(9)立體顯微鏡 (10)光學光速測定模組 (11)步進馬達驅動器與微處理機

(1)瞳位追蹤器是結合頭盔與CCD攝影機 (2)眼睛轉動來控制滑鼠位置之眼控滑鼠系統 (3)智慧型瞳位追蹤器 研究案例：MOST 104-2221-E-035-040

(1)鏡面元件瑕疵檢測 (2)光源瑕疵檢測 (3)自動光學檢測 (4)邊緣瑕疵檢測 (5)平均邊緣參差度

中心線

基底邊緣或基底參考線

實際鍍膜邊緣

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