1 2

マイクロエレクトロニクス用■ポールDFAフィルターは、低流量や小スケールのバッチプロセス用として、

便利で使いやすく、経済的なカプセルフィルターです。

■一般工業用途に幅広く対応できるように、豊富なメディア材質と継手を用意しています。

■フィルターメディアとカプセルが一体構造になっているため、シール性に優れています。

■豊富なメディア材質（PTFE、ナイロン-6,6、親水性PVDF、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン）■豊富な継手ラインアップ（スウェージロックタイプ、ピラースーパー、NPTネジ、ホース継手）■コンパクトなオールプラスチック一体構造■全品出荷前完全性試験、気密試験実施済み（エレクトロニクス・グレード）

＊国産品の場合

■処理量やろ過精度に合わせたろ過システムの構築が可能■エアー抜き、ドレン抜きが容易■少ないろ過残液

■一般仕様

※流体適合性については、担当営業にお問い合わせください。 （注）DFAはポール社の登録商標です。（商標番号2710417号）

DFA小型カプセルフィルター

＊

フォトレジスト、現像液、純水、およびブローガスのろ過

※1 5nmはDFA1、DFA2、DFA6402のみ

製品名 エンフロン ウルチポアN66 ウルチプリーツ・P-ナイロン フロロダイン ペンフロン PE-クリーン HDCⅡ プロファイル・スター

材

質

メディア PTFE（疎水性） ナイロン 6,6（親水性） ナイロン 6,6（親水性） PVDF（親水性） PTFE（疎水性） 高密度ポリエチレン ポリプロピレン ポリプロピレン

その他の部品 ポリプロピレン ポリエステル

ポリプロピレン高密度ポリエチレンポリプロピレン ポリプロピレン 高密度ポリエチレン

ポリプロピレン高密度ポリエチレンポリプロピレン ポリプロピレン ポリプロピレン

ろ過精度（μm） 0.05、0.1、0.2、0.45 0 .1、0.2 10nm、20nm、40nm、0.15 0 .1、0.2 0 .05、0.1、0.2 5nm※1、10nm、30nm、0.05、1 0.6、1.2、2.5、4.5、610、20、40、70 0.8、1、1.5、3、5

最高使用温度 38 ℃ 38 ℃ 38 ℃ 38 ℃ 38 ℃ 38 ℃ 38 ℃ 38 ℃

最高使用圧力（38℃）

液体 0.49 MPaG 0.49 MPaG 0.49 MPaG 0.49 MPaG 0.49 MPaG 0.49 MPaG 0.49 MPaG 0.49 MPaG

気体 0.34 MPaG 0.34 MPaG 0.34 MPaG 0.34 MPaG 0.34 MPaG 0.34 MPaG 0.34 MPaG 0.34 MPaG

耐差圧（38℃） 0.34 MPa 0.34 MPa 0.34 MPa 0.34 MPa 0.34 MPa 0.34 MPa 0.34 MPa 0.34 MPa

主な用途ベントエアープロセスガス有機溶剤

フォトレジスト現像液純水

フォトレジスト現像液純水

超純水水溶性薬品

フォトレジスト有機溶剤各種薬液

フォトレジスト有機溶剤各種薬液

酸、アルカリ純水溶剤

懸濁液高粘度流体コーティング液

梱包単位 6個 6個 6個 6個 6個 6個 6個 6個

関連カタログ PFS018PFS057

PFS016PFS031 PFSH018 PFS044 PFS811 PFS905 PFS049 PFS605

DFA１ DFA3201, 4201, 5301, 6402特 長

利 点

DFA1□SW44/84M DFA1□NP64M/84M DFA1□NP64

3 4

■DFA1、2シリーズ① 形状コード ③ 継手コード＊5② メディアの種類とグレードコード＊1

12

少流量用中流量用

＊１�エレクトロニクスグレードの製品型式の末尾にはEまたはEYが記されています。＊２�HDCⅡおよびプロファイル・スターにはフラッシングオプション（F）があります。＊３�オプションとして、初期抽出物量の低減処理を施したSグレードも供給可能です。＊４�Rオプションは、リピート製品用として、出入口のスリーブ、ナットの非装着にした製品です。

＊５�標準継手ラインアップ以外にもオプションが設定されています。＊６�スウェージロック社の商標＊７�日本ピラー社の商標

■外形図

DFA2□SW84 DFA2□NP124M DFA2□＊FL6/64

■DFA3201、4201、5301、6402シリーズ製品型式：DFA ④ 形状・継手コード ⑤ メディアの種類とグレードコード＊1

＊１�エレクトロニクスグレードの製品型式の末尾にはEまたはEYが記されています。＊２�HDCⅡおよびプロファイル・スターにはフラッシングオプション（F）があります。＊３�オプションとして、初期抽出物量の低減処理を施したSグレードも供給可能です。＊４�4201J012、4201J025、DFA3201は□部にPと表示される場合がありますが性能は全く変りません。＊５�スウェージロック社の商標＊６�PE-クリーン5nmは、DFA1、DFA2、DFA6402シリーズにラインナップされています。

DFA3201 DFA4201 DFA5301 DFA6402■外形図

マイクロエレクトロニクス用 DFA マイクロエレクトロニクス用 DFA

製品型式：DFA

（注）表に記載されている各コードの組み合わせによる全製品型式についての標準化はしておりません。ご希望の製品型式が注文可能なものかどうか、必ずご確認ください。

6個梱包単位

6個梱包単位

＊ベント/ドレンなし

（注）表に記載されている各コードの組み合わせによる全製品型式についての標準化はしておりません。ご希望の製品型式が注文可能なものかどうか、必ずご確認ください。

① ③

②

④

⑤

継手コード出入口 ベント、ドレン

サイズ 形　状 サイズ 形　状

DFA1DFA1DFA1DFA1DFA1DFA1DFA1

SW44SW84MNP64NP64MNP64MR＊4

NP84MNP84MR＊4

1/4″8mm3/8″6mm6mm8mm8mm

スウェージロック＊6タイプスウェージロック＊6タイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプ

1/4″4mm4mm4mm4mm4mm4mm

スウェージロック＊6タイプスウェージロック＊6タイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプ

DFA2DFA2DFA2DFA2DFA2DFA2DFA2

FL6FL64NP64NP84MNP124MNP124MR＊4

SW84

3/8″3/8″3/8″8mm12mm12mm1/2″

フレアスタイルフレアスタイルピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプスウェージロック＊6

なし1/4″1/4″4mm4mm4mm1/4″

なしフレアスタイルピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプピラー＊7スーパータイプスウェージロック＊6

エンフロン＊3 ウルチポアN66ウルチプリーツ・P-ナイロン フロロダイン ペンフロン PE-クリーン HDCⅡ＊2 プロファイル・

スター＊2

コード ろ過精度 コード ろ過精度 コード ろ過精度 コード ろ過精度 コード ろ過精度 コード ろ過精度 コード ろ過精度 コード ろ過精度

FDEFTEFRE

0.050.10.2

NIEYNAEY

0.10.2

AN01EANMEANDEAN15E

10 nm20 nm40 nm0.15

V001EYV002EY

0.10 .2

UFDEUFTEUFRE

0.050.10 .2

UG5EUG001EUG003EUG005EUG100E

5 nm10 nm30 nm

0.051.0

J006□J012□J025□J045□J060□J100□J200□J400□J700□

0.61 .22 .54 .56

10204070

A008□A010□A015□A030□A050□

0.811.535

継手コード出入口 ベント、ドレン

サイズ 形　状 サイズ 形　状

3201420153016402

3/8″1/4″6mm3/8″

ホース口NPTオススウェージロック＊5タイプスウェージロック＊5タイプ

1/8″1/8″4mm1/4″

NPTオスNPTオススウェージロック＊5タイプスウェージロック＊5タイプ

エンフロン＊3 ウルチポアN66ウルチプリーツ・P-ナイロン フロロダイン ペンフロン PE-クリーン HDCⅡ＊2�＊4 プロファイル・

スター＊2

コード ろ過精度 コード ろ過精度 コード ろ過精度 コード ろ過精度 コード ろ過精度 コード ろ過精度 コード ろ過精度 コード ろ過精度

FDEFTEFREFXE

0.050.10.20.45

NIEYNAEY

0.10.2

AN01EANMEANDEAN15E

10nm20nm40nm0.15

V001EYV002EY

0.10 .2

UFDEUFTEUFRE

0.050.10 .2

UG5E＊6

UG001EUG003EUG005EUG100E

5nm10nm30nm0.051.0

J006□J012□J025□J045□J060□J100□J200□J400□J700□

0.61 .22 .54 .56

10204070

A008□A010□A015□A030□A050□

0.811.535

5 6

■流量−圧力損失特性（水、20℃）DFA4201 DFA1□SW44

初期圧力損失（kPa）

初期圧力損失（kPa）

初期圧力損失（kPa）

初期圧力損失（kPa）

AN01E

ANME

ANDE

AN15E

初期圧力損失（kPa）

NIEY

NAEY

初期圧力損失（kPa）

初期圧力損失（kPa）

AN01E

ANME

ANDE

AN15E

初期圧力損失（kPa）

NIEY

NAEY

■流量−圧力損失特性（水、20℃）DFA4201 DFA1□SW44

初期圧力損失（kPa） FDE

FTE

初期圧力損失（kPa）

初期圧力損失（kPa）

FRE

FXE

初期圧力損失（kPa）

FDE FTE

FRE

初期圧力損失（kPa）

V001EV002E

初期圧力損失（kPa）

UFDE

UFTE

UFRE

初期圧力損失（kPa）

UG5E UG003E

UG005E

UG001E

UG100E

初期圧力損失（kPa）

V001E

V002E

初期圧力損失（kPa）

UFDE

UFTE

UFRE

初期圧力損失（kPa）

UG003E UG001E

UG005E

UG100E

マイクロエレクトロニクス用 DFA マイクロエレクトロニクス用 DFA

D F Aマイクロエレクトロニクス用

小型カプセルフィルター

■流量−圧力損失特性（水、20℃）DFA6402、DFA2

初期圧力損失（kPa）

A010

A050

A015A030初

期圧力損失（kPa）

初期圧力損失（kPa）

AN01E

ANME

ANDE

AN15E 初期圧力損失（kPa）

NIEY

NAEY

初期圧力損失（kPa）

FDE

FTE

FRE

初期圧力損失（kPa）

V001EV002E

初期圧力損失（kPa）

UFDE

UFTE

UFRE

初期圧力損失（kPa）

UG5E UG003E UG001E UG005E

UG100E

マイクロエレクトロニクス用 DFA PFLT006JPm

本カタログに記載されているデータは特定条件下で得られた代表値です。本カタログに記載された情報により得られる結果並びに本製品の安全性に付いては保証するものではありません。本製品をご使用になる前に、本製品が使用目的に対して適正かつ安全であることをご確認ください。なお、本カタログに記載されている内容は予告無しに変更される場合がございます。

2019/06改訂04V

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マイクロエレクトロニクス事業部