Upload
shiro
View
30
Download
1
Embed Size (px)
DESCRIPTION
Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-mel. Készítő: Hoksza Zsolt Fazekas Mihály Főv. Gyak. Ált. Isk. és Gimn. Tanára: Dvorák Cecília Mentora: dr. Radnóczi György Zoltán. Feladat. Transzmissziós elektronmikroszkóp működésének alapjai Saját képek elkészítése a mintáról (Ag szemcsék Si hordozón) - PowerPoint PPT Presentation
Citation preview
Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-meEzüst szemcsék vizsgálata TEM-mell
11
Ezüst szemcsék Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-melvizsgálata TEM-mel
Készítő: Hoksza Zsolt Készítő: Hoksza Zsolt Fazekas Mihály Főv. Gyak. Ált. Isk. és Gimn.Fazekas Mihály Főv. Gyak. Ált. Isk. és Gimn.
Tanára: Dvorák CecíliaTanára: Dvorák CecíliaMentora: dr. Radnóczi György ZoltánMentora: dr. Radnóczi György Zoltán
Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-meEzüst szemcsék vizsgálata TEM-mell
22
FeladatFeladat Transzmissziós elektronmikroszkóp működésének Transzmissziós elektronmikroszkóp működésének
alapjaialapjai Saját képek elkészítése a mintáról (Ag szemcsék Saját képek elkészítése a mintáról (Ag szemcsék
Si hordozón)Si hordozón)
Meglévő és saját készítésű képek alapján:Meglévő és saját készítésű képek alapján:– Kamerahossz kalibrációja Si egykristályonKamerahossz kalibrációja Si egykristályon– Ezüst szemcsék minősítéseEzüst szemcsék minősítése– Ezüst-szilícium határfelület minősítéseEzüst-szilícium határfelület minősítése
Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-meEzüst szemcsék vizsgálata TEM-mell
33
A TEM felépítéseA TEM felépítése 200 kV gyorsítófeszültség200 kV gyorsítófeszültség 0,0025 nm hullámhossz0,0025 nm hullámhossz 0,3 nm felbontás 0,3 nm felbontás
(lencsehibák miatt)(lencsehibák miatt) 1000x - 600 000x 1000x - 600 000x
nagyításnagyítás
Rezgésmentes szerkezetRezgésmentes szerkezet Vákuum rendszerVákuum rendszer
Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-meEzüst szemcsék vizsgálata TEM-mell
44
Leképezési módokLeképezési módok KépekKépek
– Világos látótérVilágos látótér– Sötét látótérSötét látótér– Nagyfelbontású képekNagyfelbontású képek
ElektrondiffrakcióElektrondiffrakció
Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-meEzüst szemcsék vizsgálata TEM-mell
55
Kamerahossz kalibrációjaKamerahossz kalibrációja
Bragg-egyenlet: 2d sin Bragg-egyenlet: 2d sin θθ = n = nλλ 2 sin 2 sin θθ ≈ R/L ≈ R/L
Névleges kamerahossz: L0 = 2 mR111 = 1,5*10-2 m, λλ = 0,0025 nm = 0,0025 nm dd111111 = 0,31355 nm = 0,31355 nm
L = R*d / λλ = 1,5*10-2 m * 0,31355 nm / 0,0025 nm = = 1,5*10-2 m * 0,31355 nm / 0,0025 nm = 1,88 1,88 mm
Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-meEzüst szemcsék vizsgálata TEM-mell
66
Ezüst szemcsék minősítéseEzüst szemcsék minősítése Hordozó felülete:Hordozó felülete:
– Konkáv oldalú csúcsok, Konkáv oldalú csúcsok, átlagos magasság: 30 nmátlagos magasság: 30 nm
Ag szemcsék:Ag szemcsék:– Átlagos szélesség: 230 nmÁtlagos szélesség: 230 nm– Átlagos magasság: 150 nmÁtlagos magasság: 150 nm
Ezüst szemcsék vizsgálata TEM-meEzüst szemcsék vizsgálata TEM-mell
77
Köszönet…Köszönet… Az MFA vezetésénekAz MFA vezetésének
Dr. Daróczi CsabaDr. Daróczi Csaba Dvorák CecíliaDvorák Cecília
Czigány Zsolt, Misják Fanni, Czigány Zsolt, Misják Fanni, Fogarassy Zsolt, Szerencsi Marianna, Fogarassy Zsolt, Szerencsi Marianna,
Glázer FerencnéGlázer Ferencné Radnóczi György ZoltánRadnóczi György Zoltán