High Performance Mass Flow Controller

RoHS대응

글로벌지원

안전공급

품질-신뢰

RoHS대응지구 환경 보전 활동을 통해 완수하는 기업의 사회적 책임(CSR).환경 분석 기기의 톱 메이커, HORIBA의 그룹 기업으로서 항상 지구 환경을 배려한 제품의 개발・제조에 노력하고 있습니다.

국제 네트워크를 활용한 안심 서포트 체제잔 세계에 퍼져있는네트위크를 활용하고, 스킬 높은 엔지니어가 세세하게 서포트합니다.

교토・아소・미국의 3 거점 체제로 안정적인 공급을 실현본사 기능을 가지는"교토", 최신 생산 설비를 완비한 HORIBA 그룹의 양산 공장인"아소", 민첩한 공급을 실현하는"미국" 2 거점 체제를 정돈하고 있습니다.

높은 신뢰성으로 업계를 리드합니다호리바에스텍은 전세계의 장치 메이커로부터 지지 받고 있습니다.이것은 최고 수준의 품질을 가진 신뢰성 높은 제품을 계속 공급하고 있다는 증거입니다.

2

반도체 제조 장비의 주요 부품 MASS FLOW CONTROLLER.

그 성능과 품질은 반도체의 디바이스 퀄리티 그 자체에 영향을 줄 정도로 중요한

역할을 담당하고 있습니다.

그런 엄격한 업계에 있어 고품질로 기능성을 높인 제품을 계속해서 시장에 투입,

전 세계 30% 이상의 쉐어를 자랑하고 있는

호리바 에스텍에서 종래의 개념을 깨뜨린 완전히 새로운 타입의 MASS FLOW

CONTROLLER가 탄생하였습니다.

[SEC-Z500X]

이제가지 가스의 종류 별, 혹은 유량 별로 필요했던 MASS FLOW의 기능을 집약하여,

고객이 스스로 필요로 하는 MASS FLOW에 고객 스스로 사양 변경을 할 수 있습니다.

또한, RoHS 규제에 대응 하여 환경보전, 기업가치의 향상에도 역할을 다하고 있습니다.

미래의 매력이 넘치는 고성능, 고부가가치의 [X].

바로 반도체 업계의 미래를 책임질 MASS FLOW의 탄생입니다.

유량정토의향상

y=ax5+bx4+cx3+dx2+ex+f

60%

1

2

3

4

5

80% 100%

Sen

sor

outp

ut (V

)

Flow rate

80%60%40%25%0

5

10

15

-5

-10

-15

Acc

urac

y (%

S.P

.)

F.S. Accuracy±1%F.S.

S.P. Accuracy±1%S.P.

Flow%

100%100%

가스 유량 특성 커브

HBr

Ar

N2

3

KYOTO, JAPAN

RENO, U.S.A

Accuracy ±1.0% S.P. : 25 –100% F.S.±0.25% F.S. : ≦ 25% F.S.

미국 표준 기술국（NIST）

유량 기준 기기：사내 설비

SEC-Z500X series

미국 표준 기술국（NIST）

유량 기준 기기：사내 설비

SEC-Z500X series

유 량

센서출력

다항식 근사 곡선에 의한 고도의 보정을 사요하여으로, 전유량 제어영역에 있어서 유량 정도의 고정도화를 실현했습니다. 또, 다종에 걸치는 프로세스 가스 유량을 고정도 유량 기준 시스템을 이용해 계측해, 프로세스 가스 유량 정도의 향상을 도모하고 있습니다.

±1.0% S.P. (SET POINT) 정도를 향상

프로세스에 사용되는 가스는 여러가지 물성을 가지고 있습니다. 이 때문에 SEC-Z500X 시리즈가 채용한 유량 교정 기능은, 각각의 프로세스 가스에 있어서 유량 특성을 유량 레인지마다 고도로 계측한 데이터로 교정을 실시합니다. 방대한 계측 데이터와 신뢰성 높은 유량 센서, 최신의 교정 기술에 의해 고정도의 프로세스 가스 유량 제어를 실현했습니다.

트레이서빌리티SEC-Z500X 시리즈의 유량 교정은 미국 표준 기술국(NIST: National Institute of Standards and Technology)와의 traceability가 되고 있습니다. NIST 표준에 맞는 유량 기준 기기로 유량 교정을 실시하고 있습니다.

고정도 유량 기준 시스템일본, 미국의 2 거점에는 최신의 고정밀도 유량 기준 시스템을 설치하고 있습니다. 빌드업법에 따른는 시스템은, 독성이 높은 가스나 활성도 높은 가스등의 프로세스 가스 유량을 고정도로 계측할 수 있습니다. 계측한 데이터를 본사에 설치되어 있는 데이터-베이스에 로 관리하여, 프로세스 가스 유량의 고정도화에 최선을다하고 있습니다.

Full range 1초 이내(T98)신개발 Variable PID 알고리즘을 탑재, 전유량 제어영역에 있어1초 이내의 고속 응답을 실현했습니다. VariablePID 알고리즘은,설정 유량의 변위에 응한 PID 계수를 연속적으로 변화하는 것입니다. 풀스케일 유량・가스종의 변경 후도 고속 응답을 실현하고 있습니다.

PID 알고리즘 방식의 차이에 의한 응답 속도 비교

전유량영역에서의 고속 응답

전면적 변경 분 전면적을25%에 변경 후

4

MFC SET

MFC OUT1sec

MFC SET

MFC OUT1sec

MFC SET

MFC OUT

1sec

MFC SET

MFC OUT

1sec

MFC SET

MFC OUT

1sec

MFC SET

MFC OUT1sec

2%

1초

3초

5초

10% 50%

설정 유량

응답

속도

100%

아날로그 MFC(종래): 1개의 PID 계수

SEC-Z500X: 설정 유량에 응한 PID 알고리즘

(%)

100

60

20

0

(%)

20

10

0

(%)

4

2

0

SEC-Z500X 0→100% F.S.응답특성

전면적 변경 분 전면적을25%에 변경 후SEC-Z500X 0→100% F.S.응답특성

전면적 변경 분 전면적을25%에 변경 후SEC-Z500X 0→100% F.S.응답특성

최고의 품질을 약속합니다. M

FC

MFC

MFC

MFC

MFC M

FCM

FC

MFC

MFC

MFC

MFC

MFC

N2

ArCF4CO

C2H4C2F6NF3

O2SiH4

PH3SiF4

H2SF6Easy spec change

at customer

멀티가스 멀티레인지 대응

N2 100 SCCMAr 110 SCCM

B2H655 SCCM例： SEC-Z500X MR・MG-02

에： SEC-Z500X MR・MG-04N2 1000 SCCM N2 250 SCCM

유량 제어 범위20～1000 SCCM

유량 제어 범위5～250 SCCM

5

Multi Range 대응 풀스케일 변경이 자유입롭습니다.

풀스케일 유량의 변경 범위

가스・풀스케일 유량의 일례

교정 가스의 풀스케일 유량치(FS치)는, 프로세스 가스 각각의 열전도율의 차이에 의해, 같은 FS치여도 MR・MG번호가 다를 수가 있습니다. 보다 고정도의 유량 교정을 해하기 위하여 폐사에서는 아래와 같이 MR・MG번호를 라인 업 하고 있습니다.

Multi Gas 대응 가스 종류의 변경이 자유롭습니다.

유저 사이드에서의 가스종 변경, 풀스케일 유량 변경을 가능하게 했습니다. 사양 변경을위해 전용의 소프트웨어(Z500 Configuration Software)를 준비되어 있습니다. 매스 플로우 콘트롤러를 가스 패널이나 배관으로부터 떼어내는 일없이, 사양을 변경할 수 있습니다. 또, 고객의 예비품으로 관리 하고 있는 MFC의 저감과 코스트・시간의 삭감을 제안할 수 있는 기능입니다.

3 – 10

8 – 30

25 – 100

75 – 300

250 – 1000

750 – 3000

2500 – 10000

4 – 11

11 – 35

35 – 110

110 – 350

350 – 1100

1100 – 3500

3500 – 11000

—

8 – 30

25 – 100

75 – 300

250 – 1000

750 – 3000

2500 – 10000

1 – 3

3 – 11

9 – 36

28 – 100

90 – 350

260 – 1000

780 – 3100

—

—

5 – 9

9 – 17

15 – 28

25 – 50

44 – 86

79 – 150

150 – 280

280 – 540

470 – 930

860 – 1700

1600 – 3100

—

—

—

—

5 – 6

6 – 11

11 – 20

19 – 37

34 – 67

60 – 110

110 – 200

190 – 370

360 – 700

R01

R1.5

01

1.5

02

2.5

03

3.5

04

4.5

05

5.5

06

10000 – 30000

30000 – 50000

10000 – 30000

30000 – 50000

10000 – 30000

30000 – 50000

—

—

—

—

—

—

—

—

6.5

07

08

SEC-Z51_X series

SEC-Z52_X series

N2 Ar H2 SF6 HBr WF6

가스 종류

MR・MG번호

(최소 유량 ー 최대 유량)단위:SCCM

6

Configuration Software: 사양 변경 소프트 멀티 레인지・멀티 가스 기능은, Configuration Software에 의해 행해집니다. 본 소프트는 사용되는 가스종, 유량 레인지를 입력하는 것으로"MR・MG번호"를 선택할 수 있는 기능이나, 고객의 수입 검사시 행해지는 N2가스에 의한 유량 측정시에 편리한"N2가스 환산 기능"을 가지고 있습니다. 폐사에서는 본소프트의 정확한 사용을 위하여로, 조작 설명 세미나를 개최하고 있습니다. 당세미나의 개최에 대해서는 폐사에 의뢰 주시기 바랍니다.

名 称

（Serial converter） （CA-DP9RJ45）

LAN케이블USB-시리얼변환기

備 考 OS:일본어・영어、Windows ¤ 2000/XP/Vista Configuration Software 사용에 관해서는 폐사 개최 세미나를 수강해 주십시요RS-485

PC～통신변환기SEC-Z500X통신LAN케이블

PC (Windows)SEC-Z500Configuration Software

Serial Converter

CA-DP9RJ45RS232C

SC-EDH

LAN RS485

RS232C

Power supply+15, -15VDCPAC-D2X

SEC-Z500X

자세한 것은 문의부탁드립니다.

케이블

케이블

케이블

변환 장치

PC소프트웨어

통신변환기변환장치

라벨프린터

RS232C케이블

프린터

케이블

통신변환기～LAN케이블

시리얼 포트가 없는 PC에 필요당사에 문의해 주시기바랍니다.

풀스케일유량

매스플로우콘트롤러 매스플로우미터

(N2환산유량)

디지탈인터페이스접가스부재질구동전원

표준피팅

설치자세

SEC-Z514KX

SEF-Z514KX

SEC-Z514MGX

SEF-Z514MGX

SEC-Z524MGXN

SEF-Z524MGXN

SEC-Z524MGX

SEF-Z524MGX

풀스케일유량 (N2환산유량）

밸브밸브전폐시유량유량제어범위유량측정범위 (SEF)유량정도사용가능주위온도응답성직선반복재현성

동작 차압

사용압력 (SEF)최대동작 (사용)압력내압력외부Leak Rate

밸브밸브전폐시유량유량제어범위유량측정범위 (SEF)유량정도사용가능주위온도응답성작선성반복재현성

동작 차압

사용압력 (SEF)최대동작 (사용)압력내압력외부Leak Rate

유량설정신호유량출력신호디지탈인터페이스접가스촉부재질구동전원신호

표준Fitting

설치자세

SEC-Z522MGX

SEC-Z522X

SEF-Z522MGX

SEF-Z522X

SEC-Z522MGXN

SEC-Z522XN

SEF-Z522MGXN

SEF-Z522XN

SEC-Z512MGX

SEC-Z512X

SEF-Z512MGX

SEF-Z512X

SEC-Z512KX

SEF-Z512KX

액추에이터:피에조,비통전시 (클로스):C /(오픈):O

액추에이터:피에조,비통전시 (클로스):C /(오픈):O

풀스케일의2%이하

풀스케일의2%〜100%풀스케일의０%〜100%

풀스케일의2%이하풀스케일의2%〜100%풀스케일의０%〜100%

5～50℃(추장온도 15～45℃)1초이내：전유량제어범위

풀스케일의±0.5%풀스케일의±0.2%

5～50℃(추장온도 15～45℃)1초이내：전유량제어범위

풀스케일의±0.5%풀스케일의±0.2%

300kPa(d)이하 450kPa(g)1000kPa(g)

5×10-12Pa・m3/s(He)이하

300kPa(d)이하 450kPa(g)1000kPa(g)

SUS-316L, 내면연마처리표준ODVA규격합격물 DC 24V,4.0VA

DeviceNetTM Protocol5×10-12Pa・m3/s(He)이하

0.1～5VDC(2%～풀스케일) 입력임피던스1MΩ이상 0～5VDC(0%～풀스케일) 최소부하저항2kΩ

어드레스기능부:RS-485(전달속도38400bps)F-Net Protocol SUS-316L,내면연마처리

＋15V ±5% 150mA －15V ±5% 150 mA아날로그:D-Sub9핀(TOP) 디지털:RJ-45커넥터2개(TOP)

지유

±1.0%S.P.(설정유량＞25%F.S.)±0.25%F.S.(설정유량≦25%F.S.)

±1.0%S.P.(설정유량＞25%F.S.)±0.25%F.S.(설정유량≦25%F.S.)

#5.5, #06: 100 to 300kPa

MR/MG 번호 #R01: 10 SCCM

#R1.5: 17.5 SCCM #01: 30 SCCM#1.5: 55 SCCM #02: 100 SCCM#2.5: 175 SCCM #03: 300 SCCM#3.5: 550 SCCM #04: 1 SLM#4.5: 1.75 SLM #05: 3 SLM#5.5: 5.5 SLM #06: 10 SLM

1/2 SCCM

±1.0% F.S.

±1.0% F.S.

50～300kPa(d)

MR/MG 번호#6.5: 22 SLM#07: 30 SLM#08: 50 SLM

MR/MG 번호 #R01: 10 SCCM

#R1.5: 17.5 SCCM #01: 30 SCCM#1.5: 55 SCCM #02: 100 SCCM#2.5: 175 SCCM #03: 300 SCCM#3.5: 550 SCCM #04: 1 SLM#4.5: 1.75 SLM #05: 3 SLM#5.5: 5.5 SLM #06: 10 SLM

1/2 SCCM

MR/MG 번호#6.5: 22 SLM#07: 30 SLM#08: 50 SLM

200～300kPa(d)

옵션:1.125인치가수패널마운트 1.5인치가수패널마운트 1/4VCR상당 1/4VCR상당옵션:1.125 인치가수패널마운트 1.5인치가수패널마운트

지유옵션:1.125인치가수패널마운트 1.5인치가수패널마운트 1/4VCR상당 1/4VCR상당

옵션:1.125 인치가수패널마운트 1.5인치가수패널마운트

※1

※1

※2

※1※1

※2

제품서양일람표

디지털/아날로그 통신모델

※1 SEC（SEF）-Z512MGX, Z522MGX, Z522MGXN, Z532MGX, Z542MGX는, 유저 사이드에서 전용 소프트를 이용해 가스종, 풀스케일의 변경이 가능합니다.

※1 SEC（SEF）-Z512MGX, Z522MGX, Z522MGXN, Z532MGX, Z542MGX는, 유저 사이드에서 전용 소프트를 이용해 가스종, 풀스케일의 변경이 가능합니다.

※2 유량 정도의 보증 온도는, SEMI 규격 E56-1296에 준거하고 있습니다. MR, MG번호의 풀스케일치에 대한 정도입니다. ※ SCCM, SLM는 가스 유량(mL/min, L/min, at 0℃101.3 kPa)을 나타내는 기호입니다.

※2 유량 정도의 보증 온도는, SEMI 규격 E56-1296에 준거하고 있습니다. MR, MG번호의 풀스케일치에 대한 정도입니다.※ SCCM, SLM는 가스 유량(mL/min, L/min, at 0℃101.3 kPa)을 나타내는 기호입니다.

7

50～300kPa(d)

#5.5, #06: 100 to 300kPa50～300kPa(d) 200～300kPa(d)50～300kPa(d)

매스플로우콘트롤러

매스플로우미터

DeviceNetTM 통신 모델

SEC-Z534MGX

SEF-Z534MGX

SEC-Z544MGX

SEF-Z544MGX

SEC-Z534KVX

SEF-Z534KX

SEC-Z544KVX

SEF-Z544KX

SEC-Z532MGX

SEF-Z532MGX

SEC-Z542MGX

SEF-Z542MGX

SEC-Z532KVX

SEF-Z532KX

SEC-Z542KVX

SEF-Z542KX

※1

※1

※2

※1※1

※2

8

매스플로우콘트롤러 매스플로우미터

액추에이터:피에조,비통전시 (클로스):C /(오픈):O 액추에이터:솔레노이드,비통전시 (클로스):C 풀스케일의5%이하풀스케일의2%이하

풀스케일의5%〜100%풀스케일의2%〜100%풀스케일의０%〜100%

5～50℃(추장온도 15～45℃)1.5초이내：전유량제어범위1초이내：전유량제어범위

풀스케일의±0.5%풀스케일의±0.2% 풀스케일의±0.5%

300kPa(d)이하

300kPa(d)이하

300kPa(g) 450kPa(g)

300kPa(g) 450kPa(g)

200〜300kPa(d) 100〜300kPa(d)

1000kPa(g)5×10-12Pa・m3/s(He)이하

5×10-12Pa・m3/s(He)이하

ODVA규격합격물 DC 24V,7.0VAODVA규격합격물 DC 24V,7.5VAODVA규격합격물 DC 24V,4.0VA

DeviceNetTM Protocol

0.1～5VDC(2%～풀스케일) 입력임피던스1MΩ이상 0.25～5VDC(5%～풀스케일) 입력임피던스1MΩ이상0～5VDC(0%～풀스케일) 최소부하저항2kΩ

어드레스기능부:RS-485(전달속도38400bps)F-Net Protocol SUS-316L,내면연마처리,PEFE,자성스테인리스SUS-316L,내면연마처리

SUS-316L,내면연마처리,PEFE,자성스테인리스SUS-316L,내면연마처리

＋15V ±5% 150mA －15V ±5% 250 mA＋15V ±5% 150mA －15V ±5% 150 mA아날로그:D-Sub9핀(TOP) 디지털:RJ-45커넥터2개(TOP)

지유

±1.0%S.P.(설정유량＞35%F.S.)±0.35%F.S.(설정유량≦3 5%F.S.)

액추에이터:피에조,비통전시 (클로스):C /(오픈):O 액추에이터:솔레노이드,비통전시 (클로스):C 풀스케일의5%이하풀스케일의2%이하

풀스케일의5%〜100%풀스케일의2%〜100%풀스케일의０%〜100%

5～50℃(추장온도 15～45℃)1.5초이내：전유량제어범위1초이내：전유량제어범위

풀스케일의±0.5%풀스케일의±0.2% 풀스케일의±0.5%

±1.0%S.P.(설정유량＞35%F.S.)±0.35%F.S.(설정유량≦3 5%F.S.)

100SLM 200SLM 100SLM 200SLM

100SLM 200SLM 100SLM 200SLM

200～300kPa(d)100～300kPa(d)

1/2VCR상당3/8VCR상당

옵션:1.5 인치가수패널마운트1/2VCR상당

옵션:1.5 인치가수패널마운트

지유

1/2VCR상당3/8VCR상당

옵션:1.5 인치가수패널마운트1/2VCR상당

옵션:1.5 인치가수패널마운트

매스플로우콘트롤러

매스플로우미터

풀스케일유량 (N2환산유량）

밸브밸브전폐시유량유량제어범위유량측정범위 (SEF)유량정도사용가능주위온도응답성직선반복재현성

동작 차압

사용압력 (SEF)최대동작 (사용)압력내압력외부Leak Rate유량설정신호유량출력신호디지탈인터페이스접가스촉부재질구동전원신호

표준Fitting

설치자세

풀스케일유량 (N2환산유량)

디지탈인터페이스접가스부재질구동전원

표준피팅

설치자세

밸브밸브전폐시유량유량제어범위유량측정범위 (SEF)유량정도사용가능주위온도응답성작선성반복재현성

동작 차압

사용압력 (SEF)최대동작 (사용)압력내압력외부Leak Rate

디지털/아날로그 통신모델

A

B

C

D

E

RS-485통신. 데이지체인접속이가능. 구동전원의 공급. 아날로그통신커넥터제로점보정스위치 제로점보정스위치 0×01～0×99의범위에서 설정이 가능 00～63의범위에서 설정이 가능 (단,0×△A～△F는설정불가) 아날로그구동시:녹색점등 디지털통신시:녹색점멸 ※경보,제로점보정이상시는적색이 됩니다.

디지털통신커넥터아날로그커넥터 통신속도스위치 통신속도를설정.ZERO어저스트스위치 ZERO어저스트스위치MAC ID설정스위치 MAC ID설정스위치 인디케이터LED

인디케이터LED

F

G

H

I

J

MSD

ADDRESSZERO

LSD

ADDRESSZERO

DATA RATE125kb

250kb500kb

PGM

MSDPGM 0

64

2

0

64

2 8

NET MODSTATUS

LSD

A

B E G

IHFDC

FlowFlow

J

설 명 명 칭 기호 설 명명 칭기호

형식 선정에 대하여SEC-Z512MGX

모델

_TO 1 , ,, ,,,MR.MG-02 100SCCM 4CR B SUC (N2)

SEC-Z514MGX 1_C 1 , ,, ,,,MR.MG-04 10SLM 14C 3 SUC (H2)

SEC-Z532KVX _TC 1 , ,, ,,,_ 100SLM 6CR J SUC (N2)

밸브(SEC)O：비통전시 오픈C：비통전시 클로스

MR/MG 번호공백:Z5_KVX시리즈에이외MR.MG번호를 지정해 주세요.자세한 것은 설계일람표을 확인해 주세요.

검량선수 １：표준

사용가스종 공백:MR.MG대응으로 가스종을 지정하지 않는 경우가스이름

연결4CR: 1/4 VCR Male Type Fitting6CR: 3/8 VCR Male Type Fitting8CR: 1/2 VCR Male Type Fitting4IS: 1/4 Swagelok Male Type Fitting6IS: 3/8 Swagelok Male Type Fitting14C: 1.125 C-seal, i.d. 1/414W: 1.125 W-seal, i.d. 1/424W: 1.5 W-seal, i.d. 1/424S: 1.5 CS-seal, i.d. 1/424B: 1.5 B-seal, i.d. 1/4

연결간거리 B: 106 mmE: 156 mmG: 177 mmH: 179 mm

집적연결포트간거리 2: 79.8 mm3: 92 mm5: 96 mm

J: 150.4 mmL: 124 mmM: 127 mm

내면연마SUC：전모델표준 ※내면 연마 처리는 표준 설계입니다.

풀스케일유량

1:유량출력풀스케일 “100%F.S.” (SEC-Z5_4MGX에대응)3:유량출력풀스케일 “133%F.S.” (SEC-Z5_4MGX에대응)5:유량출력풀스케일 “133.329%F.S.” (SEC-Z5_4MGX에대응)

공백:DeviceNetTM모델이외

제품사양일람표

9

DeviceNetTM 통신 모델

DeviceNetTM 커넥터

DeviceNetTM 커넥터위치

DeviceNetTM 출력범위

T:케이스상부S:케이스측면

DeviceNetTM 통신. 실드본마이크로커넥터.

NET:네트워크 상태를 나타냅니다.MOD:노드 상태를 나타냅니다.

DeviceNetTM 만 “S” ”T”의 선택을 할 수 있습니다.

모 델 디지털/아날로그 통신모델SEC-Z512KX

SEC-Z512MGX

SEC-Z522MGXN

SEC-Z522XN

SEC-Z522MGX

SEC-Z522X

SEC-Z532MGX

SEC-Z542MGX

SEC-Z532KVX

SEC-Z542KVX

DeviceNetTM 통신모델SEC-Z514KX

SEC-Z514MGX

SEC-Z524MGXN

SEC-Z524MGX

SEC-Z534MGX

SEC-Z544MGX

SEC-Z534KVX

SEC-Z544KVX

H

126± 1

126± 1

126± 1

126± 1

143± 1

143± 1

139± 1

139± 1

145± 1

159± 1

126± 1

126± 1

126± 1

143± 1

150± 1

150± 1

145± 1

159± 1

T

28.5± 0.5

28.5± 0.5

28.5± 0.5

28.5± 0.5

38.5± 0.5

38.5± 0.5

38.3± 0.5

38.3± 0.5

38± 0.5

50.8± 0.5

28.5± 0.5

28.5± 0.5

28.5± 0.5

38.5± 0.5

38.3± 0.5

38.3± 0.5

38± 0.5

50.8± 0.5

W

63.8

63.8

63.8

63.8

63.8

63.8

82.6

82.6

80.8

118.9

63.8

63.8

63.8

63.8

82.6

82.6

80.8

118.9

I VCR typeA

21.9

21.9

21.9

21.9

21.9

21.9

21.9

21.9

21.9

21.9

21.9

21.9

D

12.7

12.7

12.7

12.7

18.5

18.5

18.5

22

12.7

12.7

12.7

18.5

18.5

18.5

22

1/4 B

106± 1

106± 1

106± 1

106± 1

—

—

—

—

106± 1

106± 1

106± 1

—

—

—

—

1/4 L

124± 1

124± 1

124± 1

124± 1

—

—

—

—

124± 1

124± 1

124± 1

—

—

—

—

3/8 G

—

—

—

—

150.4± 1

150.4± 1

150.4± 1

—

—

—

—

—

—

150.4± 1

—

1/2 G

—

—

—

—

—

—

—

177± 1

—

—

—

177± 1

177± 1

—

177± 1

1.5인치집적연결에이외

1.5인치집적연결에이외

1.5인치집적연결에이외

B

20± 0.1

20± 0.1

20± 0.1

20± 0.1

상도를참조해 주세요.

상도를참조해 주세요.

상도를참조해 주세요.

상도를참조해 주세요.

상도를참조해 주세요.

상도를참조해 주세요.

상도를참조해 주세요.

상도를참조해 주세요.

20± 0.1

20± 0.1

20± 0.1

C

15± 0.1

15± 0.1

15± 0.1

15± 0.1

15± 0.1

15± 0.1

15± 0.1

외형치수

105 mm

28.5

mm

21.8

mm

38.5

mm

30 m

m

93 mm

( SEC-Z53_MGX / SEC-Z54_MGX )

4-Ø 5.2 mm

92±0.3 mm

15.1

mm 30

.2 m

m

집적연결치수

외형치수

1.25인치대응모델 1.5인치대응모델

포트간거리92mm

1.5인치대응모델

포트간거리79.8mm

D

W T

A B

C

I

H45°

47.5

95.1Ø42±0.12-M4 5DEPTH

SEC-Z53_X series

SEC-Z54_X series

15

30

39.4 40

4-M5 8DEPTH

SEC-Z53_MGX / SEC-Z54_MGX

30.35Ø36±0.1

45°

2-M4 5DEPTH

10

11

디지털 통신

아날로그 통신

DeviceNetTM 통신DeviceNetTM 통신커넥터

PLC

PLC bus line +24VMaster

Distribution

DeviceNet™ cable

Power

12345

Drain

V＋

V－□

CAN_H

CAN_L

1

4 3

25

PCConverter

Power Supply(PE Series)

SEC-

Z502

X

SEC-

Z502

X

SEC-

Z502

X

SEC-

Z502

X

SEC-

Z502

X

SEC-

Z502

X

데이지체인접속

외원・제어 신호에 의한 사용예

제어유니트:PE-S7에 의한 사용예

유량출력

프로그램제어

유량알람 (상한 / 하한)

외부제어모드・유량설정・밸브전개・전폐신호

신호케이블 SC-EDH series

PE-S7

신호케이블 SC-EAH series

유량설정신호:0～5VDC유량출력신호:0～5VDC밸브전압모니터출력

（option）

밸브제어신호:전개・전폐구전원:±15VDC

아날로그커넥터

핀No. 12345678

신호명칭

핀No. 신호명칭

Signal ground [D. COM]

Signal ground [D. COM]

N.C.

Serial output/input (□)

Serial output/input (＋)

N.C.

N.C.

N.C.

※1 SEF에서는 N.C.가 됩니다 ※2핀No.4의전원 COMMON와No.7의신호COMMON는MFC내부 에서는 접속되어 있지 않습니다.핀No.7,8의 신호 COMMON는 MFC내부에서 접속되고 있습니다.

RS485디지털통신커넥터

사용커넥터：RJ-45

123456789

1※밸브개폐입력유량출력신호 0～5V DC 전 원 ＋15V DC 전 원 COMMON ※2 전 원 －15V DC 유량설정신호 0～5V DC ※1 신 호 COMMON ※2 신 호 COMMON ※2 NC

사용커넥터：D-Subminiature 9콘택트핀커낵터

SEC-

Z502

XSE

C-Z5

02X

SEC-

Z504

X

SEC-

Z504

X

SEC-

Z504

X

케이블 SC-EBR

접속예

핀No. 신호명칭

글로벌서포트 세계 각지의 HORIBA 그룹의 네트워크로, 만전의 체제를 정비하고 있습니다.

해외주요거점

일본주요거점

TAIWANHORIBA STEC Co., Ltd TAIWAN Branch 3F., No.18, Lane 676, Jhonghua Rd., Jhubei City, Hsinchu County 302, Taiwan (R.O.C.) PHONE: (886)3-656-1160 FAX: (886)3-656-8231 Tainan Office 1F., No.117, Chenggong Rd., Shanhua Township, Tainan County 741, Taiwan (R.O.C.) PHONE: (886)6-583-4592 FAX: (886)6-583-2409

U.S.A.HORIBA/STEC lnc. Santa Clara Head Office (Technology Center) 3265 Scott Boulevard Santa Clara, CA 95054 PHONE: (1)408-730-4772 FAX: (1)408-730-8975 Austin Office 9701 Dessau Rd., Suite 605, Austin, TX 78754 PHONE: (1)512-836-9560 FAX: (1)512-836-8054 Portland Office 10240 SW Nimbus Ave.Suite L-5,Portland, OR 97223 PHONE: (1)503-624-9767 FAX: (1)503-968-3236 Reno Office (R&D Center) 605 Spice Island Drive, #5, Sparks, NV 89431 PHONE: (1)775-358-2332 FAX: (1)775-358-0434 New Hampshire Office 315 Derry Road, Suite 13 Hudson, NH 03051, U.S.A. PHONE: (1)603-886-4167 FAX: (1)603-886-4267

KOREAHORIBA STEC KOREA, Ltd. 110, Suntech-City, 513-15, Sangdaewon-Dong, Jungwon-Ku, Sungnam-City, Kyungki-Do, 462-725, Korea PHONE: (82)31-777-2277 FAX: (82)31-777-2288

U.K.HORIBA INSTRUMENTS Ltd. Kyoto Close, Summerhouse Rd., Moulton Park, Northampton NN3 6FL England PHONE: (44)1604-542-600 FAX: (44)1604-542-696

FRANCEHORIBA INSTRUMENTS Ltd. BURO club Gieres, 2 Avenue de Vignate 38610 Gieres, France PHONE: (33)4-76-63-4915 FAX: (33)4-76-54-0399

NETHERLANDSHORIBA INSTRUMENTS Ltd. Bijsterhuizen 11-58, 6546 AS Nijmegen, The Netherlands PHONE: (31)24-366-0985 FAX: (31)24-366-0987

GERMANYHORIBA EUROPE GmbH Zur Wetterwarte 10 Haus 109 01109 Dresden Germany PHONE: (49)351-889-6807 FAX: (49)351-889-6808

SINGAPOREHORIBA INSTRUMENTS (SINGAPORE) Pte. Ltd. 10 Ubi Crescent, Lobby B #05-11/12 Ubi techpark Singapore 408564 PHONE: (65)6-745-8300 FAX: (65)6-745-8155

CHINAHORIBA TRADING (SHANGHAI) Co., Ltd. Room 1701, United Plaza 1468 Nanjing Rd. West Shanghai 200040 China PHONE: (86)21-3222-1818 FAX: (86)21-6289-5553 Beijing Office Room 1801,Capital Tower Beijing,Tower 1 No. 6Jia, Jianguomenwai Ave. Chaoyang District Beijing 100022, China PHONE: (86)10-8567-9966 FAX: (86)10-8567-9066 Shenzhen Office 701 Room, A6th Building, FuTong TianJun Garden, Western HePing Road, LongHua Town, BaoAn District, Shenzhen City, GuangDong Provience 518000, China PHONE: (86)755-2967-1203 FAX: (86)755-2967-1192 SHANGHAI Service Center Rm.303, No.84, Lane887, Zu-chong-zhi Rd., Zhangjiang Hi-tech Park, Shanghai 201203, China PHONE: (86)21-5131-7150 FAX: (86)21-5131-7660

SINGAPORE

Nagoya

Tokyo

Sendai

Aso Kyushu

Nirasaki

CHINA

TAIWAN

KOREA

U.K.NETHERLANDSGERMANY

FRANCE

Kyoto

U.S.A.

13

HEAD OFFICE11-5, Hokodate-cho, Kamitoba, Minami-ku, Kyoto, 601-8116 JapanPHONE: (81)75-693-2300FAX: (81)75-693-2350

ASO FACTORYTorikokogyodanchi, 385-11, Kohmaibata, Ohaza-torikoaza, Nishihara-mura, Aso-gun, Kumamoto, 861-2401 PHONE: (81)96-279-2921 FAX: (81)96-279-3364

SENDAI SALES OFFICE9F Izumi-chuuoh Building, 1-16-6 Izumi-chuuoh, Izumi-ku, Sendai-shi, Miyagi, 981-3133PHONE: (81)22-772-6717 FAX: (81)22-772-6727

TOKYO SALES OFFICEKanda-Awaji-cho Nichome Building 2-6, Awaji-cho, Kanda, Chiyoda-ku, Tokyo, JapanPHONE: (81)3-6206-4731 FAX: (81)3-6206-4740

NIRASAKI SALES OFFICE70, Wakao, Ohkusa-machi, Nirasaki-city, Yamanashi, 407-0037 PHONE: (81)551-23-5339 FAX: (81)551-23-5907

NAGOYA SALES OFFICESumitomo Seimei Chikusa 2nd Building 6F, 3-15-31 Aoi, Higashi-ku, Nagoya-shi, Aichi, 461-0004 PHONE: (81)52-936-9511 FAX: (81)52-936-9512

KYUSHU SALES OFFICETorikokogyodanchi, 385-11, Kohmaibata, Ohaza-torikoaza, Nishihara-mura, Aso-gun, Kumamoto, 861-2401 PHONE: (81)96-279-2922 FAX: (81)96-279-3364

High Performance Mass Flow Controller

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S5-AK53N