Embed Size (px)
Citation preview
イノベーション光学産業向け製品・ソリューションガイド
140 mm140 mm
4 µm
2
1886年に設立されたテーラーホブソン社は表面性状・輪郭形状に関する計測学の世界的リーダーであり、真円度測定機、表面粗さ測定機を最初に開発した企業です。
テーラーホブソンはAMETEKのUltra Precision Technologies部門傘下企業であり、AMETEKは2015年度売上40億米ドルの電子機器・電気機械のグローバルカンパニーです。1万5千人以上の従業員を世界120ヵ所以上の製造拠点で雇用し、さらにこれをサポートする100以上の販売・サービス拠点をアメリカ合衆国内及びその他30ヶ国に展開しています。私達は接触式・非接触式の測定ソリューションの双方を提供可能です。これらソリューションは世界中でもっとも困難なアプリケーションを可能にし、お客様をどこでもサポート可能なグローバルな組織体制をとっています。私達は世界有数の超精密測定企業であることを誇りに思っています。また同時に私達は医療、精密光学部品、自動車、ベアリング、航空宇宙及び再生可能エネルギーの分野でお客様の増え続ける課題を解決し続けているパイオニアでもあります。
私達の考えは提供する幅広い製品・ソリューション群にあらわれています。最近投入した製品では新しいベアリング向け測定システムとそれを支える一連の専用解析ソフトウェア群があります。
過酷な要求仕様を満たす為、要素部品製造には並外れた品質、耐久性、精度、そして信頼性が要求されます。 近年、テーラーホブソンの開発により表面粗さ、輪郭、形状、半径値、真円度やハーモニクス解析などの手法によりベアリグの特性把握は格段にレベルアップしました。これらの測定、解析手法により設計改善、生産性向上に必要な貴重なデータを提供いたします。
テーラーホブソンにはベアリング、光学、自動車産業での長年の経験があります最先端の計測技術
Luphoscan フォームタリサーフ® PGIディメンション
フォームタリサーフ® PGIオプティクス
フォームタリサーフ® PGIマトリックス
45 mm45 mm
3 µm
アキシコンの形状・角度誤差
非球面形状を除去した回折 (ディフラクティブ)測定結果
非球面回折レンズの3Dイメージ
レンズレットの3Dアスティグマティズム
3
LUPHOScan MWLI® 技術（多波長干渉法）に基づいた非球面の超精密非接触式3D形状測定
• 最大勾配90° - 急勾配の大小非球面レンズの測定に最適• 直径最大420 mmまでのレンズの測定が可能• 非球面、球面、平面および回転対称から僅かに逸脱した自由曲面の完全3D形状測定 ペ
ージ
4-7
フォームタリサーフ® PGIディメンション全自動ワンタッチ式非球面レンズ測定、直径最大300 mmまでの球面、非球面および回折レンズの 2D、3D解析に対応• 高度なソフトウェアで生産時間短縮・生産性向上• 非球面解析ユーティリティ (AAU) – 時間短縮・誤差検出改善• ほとんど全ての部品を測定可能：急勾配、緩勾配、大型、小型
ペー
ジ 8
-9ペ
ージ
14-
15ペ
ージ
16-
19
フォームタリサーフ® PGIマトリックス複数パーツ測定用に設計された全自動の高速精密測定機
• 複数パーツのバッチ検査でスループット改善• 個々のパーツまたは複数バーツの簡単なセットアップ、検査、解析• パーツや成形レンズ、ウエハのバッチを簡単に解析 ペ
ージ
10-
11
フォームタリサーフ® PGIオプティクス高い測定精度と汎用性を兼ね備えた測定機で今後のレンズ設計の変化に追従、将来への投資に最適 • 測定レンジを改良した新しいゲージデザイン – 最大28 mm• 大きなSAGの測定 – 高い精度・繰り返し精度• プラスティックレンズ、小型パーツ、IRガラスおよびクリスタルの測定 ペ
ージ
12-
13最新の開発状況フォームタリサーフ® PGIフリーフォーム、LUPHOSharp• フォームタリサーフ® PGIフリーフォーム – 高精度フリーフォームのための多機
能高分解能測定機• LuphoSharp – (非)シリンドリカルレンズの高精度非接触式形状測定
最新のアプリケーションテーラーホブソンの最新の光学関連アプリケーション• LUPHOScanによるフレネルレンズと回折非球面(アスフェロ・ディフラクティブ)
の画期的な非接触3D測定• コリレーション、繰り返し精度およびトレーサビリティ – 全ての測定プラットフォ
ームで一貫して測定データの高い信頼性、繰り返し精度および正確性を保証
4
システムの特徴
回転対称光学部品の非接触3D形状測定超高精細光学式測定機 LUPHOScan (ルフォスキャン) 260 型測定機から、新時代の高精度な光学表面測定が始まります。新世代の装置は絶対測定の精度±50nm (3σ)を最大90度の傾斜面で達成します。測定結果は高い再現性を有し、装置のノイズ性能は低く抑えられています。
より高い精度を達成するために、既存モデルへの改良が加えられています。
最高の形状精度を追求するアプリケーション - 特に急傾斜面、異なったピッチ方向性を持つ表面、金型やスマホ用レンズといった小さな表面のアプリケーションにおいて、LUPHOScanはベストな測定機です。
疑問の余地のない信頼できる測定値測定機は非常に高い要求基準をクリアして、設計・製造されています。
そのため製造現場といった厳しい環境でも使用が可能な測定機となっています。
• ハイ・デフィニション (HD)高速で信頼できる非接触三次元形状測定
• 急傾斜(90度)でも高精度急傾斜光学部品やスマートフォン用レンズといった小径光学部品の測定に対応
• 極めて再現性の高い測定結果パワー値とPV値のベストなshot-to-shot安定性
• 非常に低いシステムノイズ測定環境条件に影響されにくい
‘‘ ‘‘
3D形状測定により今まで見えなかったモノが見えてくる
5
最先端の技術LUPHOScan HDは最先端の技術で、球面形状よりも複雑な部品を、最高の信頼性と究極の shot-to-shot安定性で測定します。各測定の信頼性が非常に高いため、測定はいままでになく高速で行え、オペレータによる影響が排除できます。また将来の新しい光学部品設計に対応できる柔軟性も備えています。
超精密加工• インバー材部品を各所に使用
耐温度性能向上のため、重要部品をインバー部材製に変更
• 4個の温度センサーと、1個の気圧センサー環境条件をリアルタイムで補正します
• 校正手法を拡張装置の熱応答性を考慮しています
• 改善されたLUPHOSmartセンサーの制御と内部構造パワー値誤差の測定がより正確に
• 内部のエアフロー制御を改善繰返し性のあるエラーを低減
• より厳しい公差条件をクリアPrecitechのNanoformダイヤモンド旋盤を使用して工作精度が向上
• 組立工程を改善繰返し性のある測定結果を保証する先進の装置組み立て手法
• 拡張されたエンドユーザ校正手順急傾斜測定でのパフォーマンスを改善
6
非球面レンズの非接触式高速形状測定
LUPHOScan プラットフォームはMWLI®技術（多波長干渉法: multi-wavelength interferometry）に基づいた多波長走査干渉法による測定装置です。本シリーズは、例えば非球面レンズなどの、主に回転対称な表面の超精密非接触3D形状測定を目的として設計されています。
測定精度基準センサの巧みな配置と独自のフレームコンセプトにより、測定機は± 50 nm(2σ)よりも高い超高精度での測定が可能となりました。
基準フレームのコンセプトLUPHOScanのプラットフォームは熱変位の極めて小さいインバーフレームで構成されています。３つのセンサが円筒ミラー1枚と2枚のフラットミラーを参照し、対物センサの継続的な位置決めを行います。アッベの原理に即したコンセプトはR、Z、T軸の機械的なドリフト補正を可能とします。高精度MWLI®センサを併用した基準フレームと超精密Cステージにより、±50 nm（2σ）の形状測定精度と±20 nm(2σ）の測定再現性を保証します。
その他のアプリケーション標準測定アプリケーションの他、LUPHOScanプラットフォームは、LUPHOSwapを使用することで、光学素子の全特性評価も可能です。このツールは、レンズ厚み測定およびウェッジ誤差やディセンター誤差の決定を可能にします。加えて、四角形の部品、環状光学レンズ、または回析段差を持つ表面、アキシコンなどを含む、セグメント表面などの非連続な光学レンズ表面の簡単な測定を可能にする、アドオンのソフトウェア モジュールも利用可能です。
特殊形状回転対称ワークを測定するよう設計されていますが、非球面、球面、平面形状からの逸脱が非常に小さいフリーフォームを持つワークの測定も可能です。一例としてはX線楕円面鏡またはビーム整形素子等があります。
7
フレキシブルな3D形状測定LUPHOScanソフトウェアは、測定手順の事前定義、測定結果の解析、テストレポート印刷を可能にします。 その他の機能としては、レンズ径の精密な調整機能や、ローパスまたはハイパスフィルタ、粉塵に起因したピークを排除するフィルタ等の、様々なフィルタツールがあります。測定データは（測定後に）研磨表面または研削表面から得られたとして解釈することも可能です。
システムの特長設計・生産を左右する測定能力を御社に
50 mm50 mm
3,5 µm
45 mm45 mm
3 µm
140 mm140 mm
4 µm
• 回転対称光学部品の検査非球面、球面、平面および微小なフリーフォーム
• 再現性のある超高精密測定± 50 nm以下
• ほとんど全ての表面の測定可透明、鏡面、不透明面、研磨面、研削面
• 球面から大きく逸脱した特殊レンズ形状に対応いわゆる”パンケーキ”や”ガルウィング”形状、また変曲点を持つプロファイルなどの測定が可能
• 急傾斜最大90°まで対応(つまり、半球の測定が可能)
• 柔軟性に富むセグメントレンズ(IカットやDカット等)、環状(アニュラー)レンズ、四角形表面、回析(ディフラクティブ)構造レンズ、アキシコン等々に対応
• レンズの完全な特性評価レンズ厚み、ウェッジ誤差、ディセンタ誤差、レンズ外径基準と光学表面基準での光学軸のズレ・倒れ等
• 高速測定例: 1分58秒(Ø = 30 mm、 Roc = 60 mm, 100ポイント/ mm2)、または5分29秒 (Ø = 130 mm、Roc = 150 mm、50ポイント/mm2)
8
光学製品の高精度自動測定を実現する汎用システム全自動ワンタッチ式非球面光学レンズ測定機
テーラーホブソン社の二つのコア・テクノロジー、非球面レンズ測定と高精度真円度測定に基づいた融合測定機です。PGIディメンションは迅速なクレスティングで、高精度に光学部品を測定します。
フォームタリサーフ®PGIディメンション
球面、非球面、回折(ディフラクティブ)レンズの二次元/三次元多目的解析100 nm 未満の形状再現性と最大85度の測定角度を誇るタリサーフPGI ディメンションは、球面ならびに非球面、回折(ディフラクティブ)構造レンズや型の多目的測定機として、高い精度で2次元／3次元の様々な測定と解析を行います。全自動のセンタリング・レベリング機能にはサイズや傾斜角度に関わらず、ほぼすべてのパーツを正確にアライメントする新しいルーチンが組み込まれています。
生産現場での操作性を考慮した設計新開発のインターフェースは、全自動オペレーションが可能で、生産現場に適しています。「ワンクリック操作」は簡単な操作で2次元／3次元の自動解析および結果表示を実現します。本機は現場のオペレータを含む幅広いスタッフで利用できるように、品質管理責任者で初期設定が可能です。PGI ディメンションは測定後、自動的にサイクルを完了するので、オペレータが測定機に付いている必要はありません。
測定
最大50 mm
SAG
0.2 nm
分解能
最大勾配85°
勾配
直径最大 300 mm
‘‘’’
強化された回折解析機能を備えたテーラーホブソンの新しいAAUソフトが、
私たちの高精度IRレンズの製造能力を改善してくれました。
ティム・オルセン氏 (技術部長) Janos Technologys社
9
時間短縮とエラー検出精度向上に役立つソフトウェアの機能業界トップの精度で競争力強化
非球面光学部品専用に特別にデザインされたソフトウェアは、測定データを部品の設計式に当てはめ、非球面軸から見たプロファイル誤差を表示します。
基礎円半径最適化機能(PVまたはRMS)は、製造工程における基礎円半径の偏差に着目することで、その部品にベストフィットする半径を決定し、その後許容公差内に収まっているか比較することを可能にします。
SAGテーブルモジュールは、レポート作成や表計算ソフトへのエクスポートを行うための機能で、ユーザによる解析、生産システムへのフィードバックを可能にします。また、傾斜解析はワークの中間周波数エラーに関して、より詳細な情報を提供します。
非球面係数逆算モジュールは、ある特定の測定結果からベストフィットする非球面を計算する機能です。結果の値を光学デザインソフトウェアと組み合わせることで、形状の狂いが重要なシステムの光学的パフォーマンスに与える影響を評価することができます。
回折(ディフラクティブ)レンズ解析用ソフトウェア。 近年非球面回折構造は様々な分野で使用されるようになってきており、特に赤外線レンズに多く使用されています。回折分析ソフトウェアは、これらの複雑な表面形状の評価を可能にすることを目的に開発されたもので、形状誤差やゾーンのパラメータを提供します。
回折(ディフラクティブ)解析は、非球面解析ソフトウェアと組み合わせることで、非球面回折レンズの真の形状を明らかにします。各ゾーンの測定結果は表の形で表示されますが、より詳細な分析を行いたい場合は、CSVファイル形式での出力もできます。回折多項式の設定の保存や再利用が可能で、違うデザイン間の素早い切り替えもできます。
非球面解析ユーティリティ (AAU) ディフラクティブ解析
‘‘ ’’真の形状を抽出できるのは、
テーラーホブソン社だけです。 0.4502 um PV
10
強力なソフトウェア弊社の生産インターフェースで実行できる全パラメータ対応の強力な解析ソフトがシステム制御とレポート作成を自動化
10
精密、高速、高い操作性 PGI マトリックスは、PGI シリーズの名を世に知らしめたその精度の高さに加え、高速モーター駆動のステージと使いやすい新インターフェースを提供します。レンズ一個でも数百個でも、セットアップとプログラミングが簡単にでき、アライメント・測定・解析が自動化されているため結果の正確性にゆらぎがありません。自動スパイク除去ならびに半径最適化が、繰返し精度を最大に高めます。
最新ソフトウェアによる製造時間削減と生産性向上最新式の非球面解析ユーティリティ（AAU）ソフトウェアは、レンズの質を検査し、形状誤差や半径、スロープエラー、ゾーンの深さ、間隔を瞬時に解析することで製造にかかる時間を節約します。特許取得済みの独自のテクノロジーは、ナノメータレベルでの形状誤差解析を可能にし、高度なアルゴリズムは、ゾーンの深さが大きい回折レンズからでもサブミクロンレベルの形状誤差を抽出できます。非球面係数逆算機能は、非球面および回折レンズのリバースエンジニアリングを可能にするもので、製造したレンズの誤差から、設計変更へ部品性能を向上させるためのフィードバックを提供します。自動スパイク除去、P-V/ RMS 半径最適化、サイクルタイムの計算機能、合否インジケータ等の新機能が、製造環境におけるセットアップパラメータの迅速な最適化と測定・解析プロセスの自動化を可能にしました。
製造現場での操作性に配慮した設計 PGI マトリックスの新しいインターフェースは、全自動のオペレーションを可能にし、製造現場での使用にも最適です。ソフトウェア操作は非常に簡単で、習得に手間がかかりません。大量部品を扱う場合の測定のプログラミングも非常に単純で、大量部品測定における使いやすいソリューションとなっています。 高速でのアライメント及び測定と、高速で使い易い解析ツールを組み合わせることで、測定サイクル全体の簡略化と自動化を実現しました。
ニューマチック防振システムニューマチック防振マウントが測定機を周囲の振動から遮断
フォームタリサーフ®PGIマトリックス
高速・高精度の光学レンズ用全自動精密測定機1つまたは複数のパーツを簡単にセットアップして検査・解析できる本機は、光学部品の高速かつ精度の高い検査に最適です
キャビネット電装関係及びPC本体を収納
11
‘‘
‘‘コラム電動コラムで大型パーツにも対応可能
UKAS校正証書迅速かつシンプルな自動ルーチンで、ゲージレンジ全体にわたるゲージ校正が可能です。独自の校正技術で世界最高の表面・形状精度を実現します。 テーラーホブソンはISO準拠のクリーンルームを所有していおり、標準片または測定機の国際的に通用する校正証書を発行可能です。UKASラボはフランス、ドイツ、アメリカ、そして日本の規格に準拠した表面性状パラメータを全て評価する事が出来ます。
11
0026 2624
PGIマトリックスはモジュール式で、ご予算やニーズに合わせたご利用が可能です
精密ロータリー及びYステージパーツの正確な自動位置決め
PGIゲージ世界トップクラスの位相格子干渉式（PGI）ゲージ、 28 mmレンジ
トラバースユニット真直度保証された200mmデータム内蔵
環境エンクロージャー空気の流れや粉塵等、外部擾乱の影響を除去します
製造プロセスとの連動 新しい「X軸オフセット」及び「半径値補正」アルゴリズムで、歩留まりを向上させる加工機へのフィードバックが可能になります。CNC研削とダイヤモンド切削のセットアップ時のバイト調整を遥かに容易にし、製造環境の温度変化による部品誤差も敏感にフィードバックします。バッチのパラメータPt、RMS、半径及び勾配誤差は、公差として設定できます。一度設定すると、ユーザは各パーツの合否を即座に知ることができます。一連のプログラムを実行すると、測定と解析、結果のアウトプットをすべて自動で行うことも可能になります。
12
最高の形状精度 - 非球面・回折 (ディフラクティブ)光学部品測定に
トレーサブルで繰返し性のある結果精度が確実に保証された測定機なら、レンズ測定は楽になります。自動化された頂点出し・測定・解析と、さらにスパイク(特異点)自動除去・半径値最適化といった機能がもっとも繰返し性の高い測定値を保証します。
PGI オプティクス製品群PGIオプティクスはお客様の生産能力を強化しパフォーマンスを最適化するための最高級の測定ツール群を提供します。多様なワークサイズとお客様の測定ニーズに対応した複数の測定機モデルからご選択いただけます。
新開発のインターフェースでオペレータによる誤差を排除
サグ量、スロープの計算機能により、レンズ設計式の妥当性を素早くチェックします。部品とスタイラスの組み合わせからスタイラスのフランキング(腹当り)状態や符号の向きのチェックも可能です。
‘‘‘‘
サグ量の大きなレンズ全体を測定することが可能に
フォームタリサーフ®PGIオプティクス
フォームタリサーフの1984年のリリースは、テーラーホブソンを非球面形状誤差測定におけるトップ企業の座に押し上げました。以来、世界各国で数千台の装置を納入し、真のグローバルスタンダードに位置づけられました。
私たちの特許取得済PGI(位相格子干渉法)技術が、短いスタイラスでの大きなサグ量レンズの測定を可能にします。その結果スタイラスの高い剛性と低い測定圧を組み合わせることができ、絶対精度、繰返し精度に於いて競合機種とは一線を画します。
簡単にプログラム化
簡単に使える
正確に、高速で測定
強力な解析ツール群
ゲージレンジ
< 100 nm
形状誤差
< 2 nm Rq
ノイズ
直径最大 300 mm
測定
最大28 mm
• プラスチックレンズ• 小型光学部品• IRガラスやクリスタル
• 大型レンズ• 回折(ディフラクティブ)
構造
アプリケーション:
13
レンジが増大した新ゲージ設計新しいPGIオプティクスなら、より広くなったレンジ(測定範囲)で大きなサグ量のレンズを、精度を犠牲にすることなく測定できます。最新のPGIゲージは、60mm 長スタイラスならサグ量最大14mmまで、120mm長スタイラスならサグ量最大28mmまでの測定が可能となっています。
製造工程に直結新機能のXオフセットとツール半径値補正アルゴリズムにより、製造工程へのより素早いフィードバックが可能になり、お客様の歩留まりを改善します。これら機能はCNC研削およびダイヤモンド旋盤工程でのセットアップ時間を短縮し、環境温度の変化に対する即時の対応を可能にします。
リバース・エンジニアリング機能非球面係数逆算機能により非球面・ディフラクティブ光学部品のリバース・エンジニアリングが可能になりました。ユーザはサグ量生データからフィットする非球面式や回折式を導き出すことができ、現物レンズから光学系を改善するための数値の入手と評価を可能にします。
フォームタリサーフ PGI オプティクスの特長より厳しくなる次世代技術の要求に応えるために
コスト削減と歩留まりの改善
PGIオプティクスは使いやすいインターフェースと自動化された解析ツールが人件費とトレーニングコストを削減します。携帯電話用のレンズやその他の商業用途の光学部品を素早く測定し、強力なアルゴリズムにより自動で解析することができます。自動化により繰返し性と精度が向上し、常に信頼できる測定値を提供します。
競争力強化に
PGIオプティクスの精度と柔軟性が品質の安定と向上を約束します。非球面・ディフラクティブ光学部品のリバースフィッティングオプションが真の形状誤差の把握を可能にし、設計チームに重要なフィードバックを伝えられるようになります。
14
新しいPGIフリーフォームは、汎用性のある高分解能測定機で、フリーフォームの精密測定に特化したシステムです。以下の形状の3Dラスター/ラジアル測定および解析を行います:
PGIフリーフォームは、フリーフォーム表面の定義に用いられる最新の評価法の多くに対応しています:
柔軟性の高いフリーフォーム測定機
ゲージレンジ
形状誤差小
輪郭
0.8 nm
分解能
最大勾配55°
勾配
フォームタリサーフ®PGIフリーフォーム
測定の整合性と再現性 テーラーホブソンのPGIフリーフォームは、数十年に及ぶ測定経験と超精密機械の専門技術を活かした有限要素解析（FEA）最適化設計に裏打ちされたもので、測定軸の低ノイズな動作が高精度測定を可能にします。
新しい専用ソフトウェアインターフェースを使うことで、簡単にフリーフォーム精密測定のセットアップと解析が可能です。汎用性に優れたPGIフリーフォームは、光学測定の完全なソリューションです。
• トーリック• 双円錐(Bi-conic)• アナモルフィック
非球面
• 楕円(Ellipsoid)• NURBS• ゼルニケ • 点群データ
最大28 mm
‘‘‘‘
完全なフリーフォームを正確に測定
フリーフォームレンズのラスタースキャン フリーフォームレンズの形状誤差
• (回折)ディフラクティブレンズ• フリーフォーム
• 球面レンズ• 非球面レンズ
15
LUPHOSharpプラットフォームは、シリンドリカル非球面レンズや多様なプリズムの高精度非接触式形状測定を可能にします円筒非球面レンズは、レーザーアニール装置などのレーザーラインジェネレータにおけるビーム成形や、画像システムのアスティグマティズム補正に用いられます
LUPHOSharpプラットフォームは、ガラス・プラスチック製のパーツや金属製のミラーなど、ほぼ全てのシリンドリカル非球面を測定可能な操作性の高い測定機です。また、形状測定から面取り角の高精度決定まで、様々なプリズム・光学素子の検査も可能です。
この高速かつ柔軟な測定・解析機能を備えた新LUPHOSharpのお蔭で、初めて複雑な精密円筒非球面を簡単に生産できるようになりました。同プラットフォームは、個々のレンズ設計を容易にし、光学装置の性能を飛躍的に改善します。
‘‘‘‘
パーツ精度の限界は、測定精度によって決まります
LUPHOSharpは、MWLI® 技術（多波長干渉法）に基づいた走査式干渉測定システムを採用しています。
システムの主な特長:• 最大で幅160 mm、長さ150 mmのパーツを測定可能• 高速測定• 多様な表面形状に対応する高い柔軟性• 表面全体の高密度3Dデータ• 最大勾配 ±60°までのパーツを測定可能
‘‘
‘‘柔軟性の高いLUPHOSharpは、プリズム・光学素子等の形状や
面取り角の高精度測定が可能です
LUPHOSharpを使うと、シリンドリカル非球面レンズおよびプリズムの高精度非接触式形状測定を簡単に実行できます。 LUPHOSharpのアプリケーションには、次のようなものがあります:
• シリンドリカル非球面レンズおよびミラー• 平凸円筒レンズ• 平凹円筒レンズ
• レーザーラインジェネレータレンズ• 直角プリズム• 等辺(Equilateral)プリズムおよびダブプリズム
16
フレネルレンズ測定
フレネルおよび回折非球面レンズの非接触・3次元形状測定能力
Fタイプ・プローブ測定原理 (LUPHOScan 260)測定機は測定対象のスパイラル状スキャンを実行し、高密度の3Dデータを生成します。エアベアリングスピンドルによりワークを回転させながら、リニアステージ駆動によりセンサが対象表面に常に直交しながら半径方向と軸方向にスキャンを行います。この測定ステージの構成は急傾斜や変曲点を持つ部品形状にも対応可能な、高い柔軟性を備えています。
‘‘
‘‘
フレネルレンズの光学式測定が可能な初の測定機
フレネルレンズや回折(ディフラクティブ)非球面といった非連続表面の測定が可能MWLI®センサ技術が持つ絶対測定能力により、長方形部品や円環部品、段差のある表面やアキシコンを含むセグメンテッド表面の検査が可能になります。
これら測定はソフトウェアオプション「セグメントレンズ」「環状レンズ」「非球面回折レンズ」により可能になります。またこれらオプションを組み合わせて中央に穴のある回折非球面の測定等も可能です。
LUPHOScanでフレネルレンズの画期的な測定を
データ解析ソフトウェアは光学活性領域の3D表面トポグラフィー評価を可能にします。フレネル構造段差は一定高さの一定ピッチのものについては数式で定義でき、それ以外についてはピッチと高さを手動で定義できます。段差高さ評価の他に、後処理による2種類の異なる段差除去法(組み合わせることも可能)によるトポグラフィー解析が可能です。さらに、洗練されたアルゴリズムが広い領域をマスキングせずに無効なデータポイントを1個単位で削除可能です。
データのエクスポートトポグラフィー測定結果は3Dのセットとして、または2Dのライン状スキャンとしてエクスポートできます。製造装置への直接のインポートが容易な複数のフォーマットが利用可能です。また追加の自動エクスポート機能を使用すれば製造環境と測定機をインテグレートでき、クローズループのプロセスが構築可能です。
17
初めて可能になったフレネルレンズの測定と解析
特長フレネルレンズと回折非球面レンズの測定が可能
• フレネルレンズの3D非接触形状測定が可能非連続表面(フレネルや回折非球面等)の光学式測定
• セグメンテッドレンズの測定が可能例.Dカットレンズ基部、長方形基部、中心部に穴有り等
• 短時間での測定が可能例. 直径 = 50 mm、 30ゾーン： 8分(完全3D)
• フレネル構造の急斜面測定が可能フレネルレンズで最大55度(回折非球面を含む非球面では最大90度対応)
• フレネル設計に柔軟に対応一定のピッチ+複数の段差高さ+、一定の段差高さ+複数ピッチ等の組み合わせ
• 大きな段差高さに対応最大 600 µm
• 段差高さの解析が可能フレネルと回折非球面の段差高さを自動評価
• 複雑な基部形状に対応平面や球面、非球面(基層の)形状に対応
• 大口径部品に対応260 mmと420 mmまで対応
LUPHOScanは回転対称光学部品の解析における高い操作性と高い柔軟性を備えた最先端の非接触測定機です。 超精密光学部品の測定が、オペレータの介在なしに、これまでになく高速に実施できます。 LUPHOScanソフトウェアは測定プロセスの自動化だけでなく、測定結果の表示や結果の印刷までも自動化可能です。
18
0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 mm
µm
-0.6
-0.4
-0.2
0.0
0.2
0.4
0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 mm
µm
-0.6
-0.4
-0.2
0.0
0.2
0.4
異なる機種の比較 – LuphoScan vs. PGIディメンション vs. PGIマトリックス
LuphoScanによる6回の独立したラジアルトレース
フォームタリサーフ® PGIディメンションによる6回の独立したラジアルトレース
フォームタリサーフ® PGIマトリックスによる6回の独立したラジアルトレース
0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 mm
mm
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
µm
0.0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
NM0 2 4 6 8 10 12 14 16 18
µm
-0.6
-0.4
-0.2
0.0
0.2
0.4
20 mm
LuphoScan:3D アスティグマティズムプロット
フォームタリサーフ® PGIディメンション:3D アスティグマティズムプロット
フォームタリサーフ® PGIマトリックス:3D アスティグマティズムプロット
最適化半径 プロファイル6個の最大Pt値(nm)
測定機 繰返し測定1 繰返し測定2 繰返し測定3 繰返し測定1 繰返し測定2 繰返し測定3
LuphoScan 22.0693 22.0691 22.0691 756 771 776
PGIディメンション 22.0699 22.0701 22.0697 761 758 749
PGIマトリックス 22.0699 22.0700 22.0697 729 716 726
標準偏差* 0.0003 0.0006 0.0003 17 29 25
0°
30°
60°
90°
120°
150°
卓越した機種間の相関関係 - 常に測定結果が信頼できる、それがテーラーホブソンです。
0°
30°
60°
90°
120°
150°
0°
30°
60°
90°
120°
150°
PGIシステムによるラジアルトレースの間隔
30°
0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 mm
mm
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20µm
0.0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
NM
0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 mm
mm
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20µm
0.0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
NM
*標準偏差は10回リピートして算出
テーラーホブソンは、長年にわたって光学部品の開発に携わり、光学産業向け測定機を提供してきました。全測定プラットフォームを通じて一貫して信頼できる繰返し性の高い精密測定データを提供することの重要性に鑑み、弊社では、提供している測定機の大規模な相関研究を行ってきました。以下は、その一例です。
異なる測定機間での相関性研究の典型的な結果です
相関性と繰返し性研究
19
右図は、テーラーホブソンのUKASラボが発行している校正証書の一例です。
接触式によるトレーサブルな測定結果テーラーホブソンの業界標準機PGIゲージ測定機
国際規格へのトレーサビリティ
測定 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 最大-最小
形状誤差 (Pt) nm 64 62 55 55 59 55 60 57 60 58 9
最適化基礎半径(mm) 4.76280 4.76278 4.76282 4.76281 4.76284 4.76287 4.76287 4.76287 4.76286 4.76287 90 nm
非接触式によるトレーサブルな測定結果テーラーホブソンの最先端測定機LuphoScan
校正球の校正値に極めて近い測定結果を表示するLUPHOScan測定画面 - LUPHOScanはトレーサブルな測定機です。
形状誤差 (Pt) と最適化基礎半径 (mm) の測定結果 (0-180°)
METAS校正球10回分の測定結果のスーパーインポーズ表示校正済み半径: 4.76273 mm
METAS校正球：No. 115-0145
校正済み半径: 22.47894 mmMETAS校正球：No. 111-07979
トレーサビリティ
UKAS校正と検査測定結果に対する絶対的な信頼性を実現するには、測定結果が高い繰り返し精度と精度、国際規格へのトレーサビリティを示している必要があります。テーラーホブソンはISO準拠のクリーンルームを所有しており、標準片または測定機の国際的に通用する校正証書を発行可能です。.
UKASラボは、フランス、ドイツ、アメリカ、そして日本の規格に準拠した表面性状パラメータを全て評価する事が出来ます。
0026
2624
計測学のプロとして1886年に設立されたテーラーホブソン社は表面性状・輪郭形状に関する計測学の世界的リーダーであり、真円度測定機、表面粗さ測定機を最初に開発した企業です。
www.taylor-hobson.jp
テーラーホブソン事業部 大阪支社電話: 06-6399-9516
FAX: 06-6399-9519
大阪府大阪市淀川区宮原3-3-34新大阪DOIビル5F
アメテック(株)テーラーホブソン事業部本社電子メール: [email protected]
電話: 03-4400-2400
FAX: 03-4400-2301
東京都港区芝大門1-1-30芝NBFタワー3F
英国本社 センター・オブ・エクセレンス電子メール: [email protected]
電話: +44 (0)116 276 3779
• 測定サービス(英国本社) – ISO規格に基づいた最新の測定機を使用する専門のエンジニアによる製造部品の 測定
• 測定トレーニング – 経験豊富な計測エンジニアによる実習を含めた真円度及び粗さのトレーニング
• 操作トレーニング – 現場でのより熟練した高度の生産性を保つ操作説明
• UKAS校正及び試験(英国本社) – UKASラボにおける校正用標準片及び測定機の校正証明又は客先における校正
2624
© DiskArt™ 1988
Taylor Hobson UK (世界本社)
PO Box 36, 2 New Star RoadLeicester, LE4 9JQ, England
電話: +44 (0)116 276 [email protected]
Taylor Hobson フランスRond Point de l’Epine Champs Batiment D, 78990 Elancourt, France
電話: +33 130 68 89 [email protected]
Taylor Hobson ドイツRudolf-Diesel-Straße 16, D-64331 Weiterstadt, Germany
電話: +49 6150 543 [email protected]
Taylor Hobson イタリアVia De Barzi, 20087 Robecco sul Naviglio, Milan, Italy
電話: +39 02 946 93401 [email protected]
Taylor Hobson インドDivyasree NR Enclave, 4th Floor, Block A,Plot No. 1, EPIP Industrial Area, Whitefield, Bengaluru - 560066, India
電話: +91 80 6782 [email protected]
Taylor Hobson 中国 [email protected]
上海事務所Part A1, A4. 2nd Floor, Building No. 1, No. 526 Fute 3rd Road East, Pilot Free Trade Zone, Shanghai, 200131, China
電話: +86 21 5868 5111-110
北京事務所Western Section, 2nd Floor, Jing Dong Fang Building (B10), No. 10, Jiu Xian Qiao Road, Chaoyang District, Beijing, 100015, China
電話: +86 10 8526 2111
成都事務所Unit 9-10,10th Floor 9/F, Hi-tech Incubation Park, No.26 West Jinyue Road, Chengdu. 610041, China
電話: +86 28 8675 8111
広州事務所Room 810 Dongbao Plaza, No.767 East Dongfeng Road, Guangzhou, 510600, China
電話: +86 20 8363 4768
Taylor Hobson 日本3F Shiba NBF Tower, 1-1-30, Shiba Daimon Minato-ku, Tokyo 105-0012, Japan
電話: +81 34400 [email protected]
Taylor Hobson 韓国#309, 3rd FL, Gyeonggi R&DB Center, 105, Gwanggyo-ro,Yeongtong-gu, Suwon-si, Gyeonggi-do, Korea, 16229
電話: +82 31 888 5255 [email protected]
Taylor Hobson シンガポールAMETEK singapore, 10 Ang Mo Kio Street 65, No. 05-12 Techpoint, Singapore 569059
電話: +65 6484 2388 Ext [email protected]
Taylor Hobson タイ89/45, Moo 15, Enterprise Park, Bangna-Trad Road, Tambol Bangkaew, Amphur Bangplee, Samutprakarn Province 10540, Thailand
電話: +66 2 0127500 Ext [email protected]
Taylor Hobson 台湾10F-5, No.120, Sec. 2, Gongdao Wu Rd., Hsinchu City 30072, Taiwan
電話: +886 3 575 0099 Ext [email protected]
Taylor Hobson メキシコAcceso III No. 16 Nave 3 Parque Ind. Benito Juarez Queretaro, Qro. Mexico C.P. 76120
電話: +52 442 426 4480 [email protected]
Taylor Hobson 米国27755 Diehl Road, Suite 300, Warrenville, IL 60555, USA
電話: +1 630 621 3099 [email protected]
1100 Cassatt Road, Berwyn, PA 19312, USA 電子メール: [email protected] ウェブ: www.ametek.com
0026
© Taylor Hobson Ltd. 2018
