34
Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico di Milano [email protected]

Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

  • Upload
    doquynh

  • View
    229

  • Download
    0

Embed Size (px)

Citation preview

Page 1: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Elettronica dello Stato Solido

Lezione 1: Introduzione

Daniele Ielmini

DEI – Politecnico di Milano

[email protected]

Page 2: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Outline

• Informazioni sul corso

• Introduzione all’elettronica dello stato solido

• Breve storia della microelettronica

• Conclusioni• Conclusioni

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 2

Page 3: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Obiettivi del corso

• Obiettivo: apprendere i principi base sullo stato

e sul trasporto di portatori (elettroni, lacune) nei

solidi:

– Meccanica quantistica (elettroni in atomi,

elettroni in solidi, teoria delle bande, gap di

energia, bande di conduzione e valenza in energia, bande di conduzione e valenza in

semiconduttori, densità di stati)

– Statistica dei portatori (distribuzioni di energia,

densità di portatori in metalli, semiconduttori e

isolanti, drogaggio)

– Transporto di portatori (mobilità, drift,

diffusione, effetti di alto campo)D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 3

Page 4: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Riferimenti bibliografici

• Libri:

– Eisberg, Resnick – Quantum Physics of Atoms,

Molecules, Solids, Nuclei and Particles (J.

Wiley)

• Capitoli 1, 2 (no 2.7/8), 3, 4, 5, 6 + leggere 13 (fac.)

– R. Pierret – Advanced Semiconductor

Fundamentals

• Capitoli 1, 3, 4, 5 (no 5.3/4), 6 + leggere 2 (fac.)

• Le slide (lezioni ed esercitazioni di laboratorio) e i

temi d’esame degli anni passati si trovano al sito

http://corsi.dei.polimi.it/ess/

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 4

Page 5: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Laurea specialistica

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 5

Page 6: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Indirizzo Sistemi

Pri

mo

an

no

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 6

Se

co

nd

o a

nn

o

Page 7: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Indirizzo Fisico

Pri

mo

an

no

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 7

Se

co

nd

o a

nn

o

Page 8: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Indirizzo Medicina/Nanobio

Pri

mo

an

no

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 8

Se

co

nd

o a

nn

o

Page 9: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Organizzazione del corso

• Organizzazione:

– 3+2+2 ore settimanali di lezione (totale 60 ore)

– 2 ore settimanali di esercitazioni (totale 32 ore +

seminari)

– 3+3+3 = 9 ore di laboratorio (Venerdi’ 10.15-13.15, aula

S.17)

• 16/4: soluzione numerica stazionaria dell’equazione di • 16/4: soluzione numerica stazionaria dell’equazione di

Schrödinger per potenziali monodimensionali (buche)

• 14/5: soluzione numerica tempo-dipendente

dell’equazione di Schrödinger per potenziali

monodimensionali (barriere, reticoli, pacchetti d’onda)

• 4/6: calcolo numerico di autofunzioni in potenziali

periodici (modello di Kronig-Penney)

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 9

Page 10: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Ricevimento/esami

• Ricevimento: Venerdì10-12AM, Via Golgi 40 – Piano 2

(6120 o [email protected])

• Esame: esercizi e domande scritte su tutto il corso (lezioni +

esercitazioni + laboratorio)

• Date:

– 3/5: Prima prova in itinere– 3/5: Prima prova in itinere

– 8/7: Seconda prova in itinere (+ recupero PI1)

– 27/7: Primo appello

– 2/9: Secondo appello

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 10

Page 11: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Outline

• Informazioni sul corso

• Introduzione all’elettronica dello stato solido

• Breve storia della microelettronica

• Conclusioni• Conclusioni

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 11

Page 12: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

La microelettronica

• La microelettronica trova la sua principale applicazione nell’ICT (information and communication technology)

• Tecnologia dell’informazione principalmente digitale (e.g. analisi di dati, ricerca di dati, internet)

• Tecnologia della comunicazione digitale (internet) e analogica (telefoni cellulari, radio, TV)analogica (telefoni cellulari, radio, TV)

• Sistemi ICT= software + hardware

• Hardware = dispositivi attivi e passivi

• I dispositivi sono realizzati allo stato solido: ad esempio, tutte le porte logiche in un microprocessore sono integrate nello stesso pezzo (chip) di silicio monocristallino

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 12

Page 13: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Sistemi, circuiti e dispositivi

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 13

Intel 45 nm Nehalem CPU

(0.7G transistors, 3.6 GHz,

4 cores, 8MB cache)

45 nm HKMG PMOS

Page 14: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Alcuni sistemi elettronici

... Inoltre sistemi medicali (diagnostica, PET, NMR, etc.),

automotive (airbag, controllo di motori, etc.), domotica

(lavatrice, forno, etc.), controlli industriali (PLC, etc.) ...D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 14

Page 15: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Circuiti integrati elettronici (ICs)

IC in package

(memoria flash)

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 15

Primo IC nel 1958 Wafer con decine

di ICs

Intel 486

•IC digitali (microprocessori,

microcontrollori, memorie, FPGA)

•IC analogici (amplificatori, mixers,

trasmettitori/ricevitori, filtri)

•Convertitori

Page 16: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Dai circuiti ai dispositivi

SRAM integrata

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 16

DRAM integrata

Page 17: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Dispositivi elettronici allo stato solido

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 17

Page 18: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Cosa non è stato solido?

• Prima dei dispositivi a stato

solido, la computazione era

affidata a valvole: e.g.

ENIAC (1946, Electronic

Numerical Integrator And

Computer) fu il primo

computer da 30-ton, 18,000 computer da 30-ton, 18,000

valvole

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 18

• L’immagazzinamento

(storage) di dati è ancora oggi

affidato a dischi/nastri

magnetici e CD/DVD ottici

Page 19: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Materiali solidi in elettronicaISOLANTI: SiO2

(dielettrico di gate), SiN (spacer), dielettrici alternativi con alta costante dielettrica (high-K, isolanti di gate oltre il nodo 45 nm) o bassa costante dielettrica

METALLI: Cu (interconnessioni), W (plug) e

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 19

costante dielettrica (low-K, interlayerdielectric)

SEMICONDUTTORI: Si, or semiconduttori alternativi (Ge, SiGe, composti III-V come GaAs, InGaAs)

W (plug) e composti metallici come TaN, TiN, etc. per il gate(soprattutto se abbinati a high K)

Page 20: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Resistività elettrica

1E+16

1E+18

1E+20

1E+22

1E+24

1E+26

1E+28

1E+30

1E+32

SEMICONDUTTORI

ISOLANTI

Resistivity[µ

Ωcm

]

V = RI

R = l / Aρ

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 20

1E+00

1E+02

1E+04

1E+06

1E+08

1E+10

1E+12

1E+14

1E+16

Ag

Cu

Au Al

W Ni

Fe

Sn

Pb As

Sb

Hg

Nichrome C

Te

Ge Si B Se P

SiN

SiO2 S

paraffina

PET

teflon

METALLI

Resistivity

R = l / Aρ

Page 21: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Spiegazione

• La variazione di 32 ordini di grandezza della resistività tra i vari materiali può essere spiegata con diverse densità di portatori, infatti ρ=(qnµn)

-1:– Portatore = una particella (o quasi-particella) dotata

di carica (elettrone negativo o lacuna positiva) che può muoversi sotto l’effetto di un campo elettrico e può muoversi sotto l’effetto di un campo elettrico e generare una corrente

– Metalli: abbondanza di portatori disponibili– Semiconduttori: pochi (controllabili) portatori– Isolanti: praticamente nessun portatore

• La disponibilità di portatori dipende dalle proprietà di legame del solido

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 21

Page 22: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Tavola periodica

• Numero di elettroni nella shell esterna controlla il carattere del materiale comportamento conduttivo o isolante a seconda di come gli elettroni sono condivisi nello stato solido

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 22

http://facstaff.gpc.edu/~pgore/PhysicalScience/Periodic-table.html

Page 23: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Applicazioni

• Metalli = interconnessioni, piatti di capacità (e.g. metal gate)

• Isolanti = separazione tra connessioni e dielettrici in capacità (e.g. isolante di gate in MOSFET)

• Semiconduttori = materiali attivi• Semiconduttori = materiali attivi

• L’interesse nei semiconduttori va aldilà della resistività intermedia (semplice applicazione come resistore), e precisamente nella sua capacità di cambiare, ad esempio con:– Il drogaggio

– L’inversione

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 23

Page 24: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Drogaggio in semiconduttori

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 24

Il diodo e il transistore a giunzione bipolare (BJT)

sono basati sul drogaggio alternato di semiconduttori

Page 25: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Inversione in semiconduttori

I D[m

A]

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 25

Una regione di silicio p può diventare di tipo n

mediante l’applicazione di un campo verticale

effetto del transistore MOS

Applicazione = switch (digitale) o generatore di

corrente comandato da tensione (analogico)

Page 26: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Outline

• Informazioni sul corso

• Introduzione all’elettronica dello stato solido

• Breve storia della microelettronica

• Conclusioni• Conclusioni

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 26

Page 27: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

• Due contatti d’oro (base e collettore) a meno di 1mm uno dall’altro. A un contatto, l’oro inietta lacune nel

• Dicembre 1947: Brattain (sperimentale) e Bardeen

(teorico) lavorano ad un transistore a contatto di

punta al germanio

1947: il primo transistor

contatto, l’oro inietta lacune nel Germanio di tipo n formazione di una regione p. una piccola corrente attraverso la base riesce a modulare una ben maggiore corrente tra il piatto di massa (emettitore) ed un secondo contatto d’oro (collettore) primo amplificatore pratico a stato solido

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 27

Page 28: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Limiti del transistore discreto

• I transistor sono più piccoli delle valvole, tuttavia

per talune applicazioni non sono ancora

abbastanza piccoli

• Limiti della componentistica discreta:devono

essere maneggiati per saldarli, collegarli, etc.

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 28

Page 29: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

1958: primo circuito integrato (IC)

• Luglio 1958: J. Kilby (Texas Instruments) si accorge che tutti i componenti (transistor, resistenze, capacità, interconnessioni) possono essere fatte in un solo cristallo di silicio

• Gennaio 1959: R. Noyce (Fairchild) ha la stessa idea

• In data Aprile 25, 1961, l’ufficio brevetti concede • In data Aprile 25, 1961, l’ufficio brevetti concede il primo brevetto per un circuito integrato a Robert Noyce mentre la domanda di Kilbyancora deve essere analizzata (la burocrazia!)

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 29

• 2000: Premio Nobel a

Kilby per la sua

invenzione (R. Noyce era

già morto nel 1990)

Page 30: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

1965: legge di Moore

• Dopo appena 4 anni dal primo IC commerciale, Moore osserva che il numero di transistori integrati raddoppia ogni 18 mesi

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 30

Page 31: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

µPs dal 1970 al 2008

N raddoppia ogni

18 mesi

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 31

N raddoppia ogni

24 mesi

Page 32: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Limiti della legge di Moore

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 32

Page 33: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

More than Moore

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 33

Page 34: Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzionecorsi.dei.polimi.it/ess/pdf/ESS01_10.pdf · Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEI – Politecnico

Conclusioni

• I dispositivi elettronici richiedono la

partecipazione di diversi materiali con diverse

funzioni, i semiconduttori a giocare il ruolo di

materiali attivi

• Per capire le proprietà uniche dei semiconduttori,

alcuni fondamenti di fisica quantistica e dello alcuni fondamenti di fisica quantistica e dello

stato solido sono necessari

• La crescita esponenziale prevista da Moore non

continuerà per sempre. Servono innovazioni di

fisica/materiali/architetture + visione su nuove

applicazioni

D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 34