כגון רבות, תעשייתיות ערכות מוליכים של בחינה מערכות למחצה, מערכות בחינה של צגים שטוחים, דורשות ביצועי תנועה ודיוק גבוהים מאוד. קטן מננומטר ושגיאתJITTER עמידה עם עקיבה תוך תנועה במהירות קבועה של על דרישות מספר ננומטרים. עד כה, לענות סרוו לינאריים. אלה השתמשו במגברי עם אך חשמלית, שקטים אלו מגברים יקרים וגדולי מימדים נצילות הספק נמוכה, וסובלים מבעיות אמינות. מערכות בחינה) מ"מ450( של מוליכים למחצה חדשות הינן גדולות יותר ודורשות הספקים גבוהים יותר. המגברים הלינארים הנדרשים הינם ומוגבלים במיוחד, גדולים ממדים בעלי ביצועי את מגביל הדבר ובמתח. בזרם את מייקר המונעות, המערכות ותפוקת מחירן ומוריד את אמינותן. מגברים של סדרה היאNanoPWM)PWM( ממותגים מסוג אפנון רוחב פולס ייחודית טכנולוגיה על המבוססתACS MOTION CONTROL שחברת. מגבריPWMBoost טכנולוגיית- פיתחה תנועה ביצועי מאפשריםNanoPWM ודיוק טובים מאלה של מגברים לינאריים ללא כל החסרונות של האחרונים. המגבר קומפקטי יותר, בעל נצילות גבוהה מאד, אמין, מאפשר לדחוף מנועים עם הספק גבוה יותר וזאת בעלות נמוכה יותר. סוגי מגברים ויתרונותיהם מגברים: של עיקריים סוגים שני ישנם ממותגים ומגברים לינאריים מגברים ניתן לראות תיאור1 בתמונה)PWM( סכמטי של מגבר לינארי. המגבר משמש כנגד משתנה המתאים את ערכו בהתאם העומס. של ולהתנגדות הזרם לדרישות מתח האספקה מחולק בין העומס למגבר. המגבר בעייתי במצבים בהם צריכת הזרם גבוהה יחסית, אך מפל המתח על העומס נמוך. בתנאים אלה מפל המתח על המגבר גבוה ופיזור ההספק עליו מרבי. התופעה כאשר- בולטת במערכות בעלות חיכוך גבוה המנוע בעמידה או נע במהירות נמוכה. ניתן לראות תיאור סכמטי של2 בתמונה. המגבר משמש כמתג)PWM( מגבר ממותג והמתח על העומס ישתנה בהתאם למחזור פיזור המתג. של)duty cycle( העבודה ההספק על המגבר נמוך יחסית ונצילותו גבוה. מסכמת את היתרונות והחסרונות1 טבלה העיקריים של כל אחד מהם. הגדרת הבעיה והפתרון למחיצה מוליכים של בחינה מערכות מחליפים מגברים לינאריםNanoPWM מגברי במערכות הנע עם ביצועים גבוהים מ דורשות דיוק מיקום וחלקות תנועה ברמה הגבוהה ביותר. כיום קוטר פרוסות המוליך מ"מ. הדור החדש של300 למחצה הוא מוליכים למחצה בנוי על פרוסות בקוטר וחלקות הדיוק דרישות מ"מ.450 של תנועה חמורות יותר. לטיפול במערכות כאלו נדרש מגבר המשלב עם לינארי מגבר של היתרון כל את היתרונות של מגבר ממותג. כזה הוא מגבר כמגבר שקטה פעולתו.NanoPWM- ה לינארי. נצילותו ואמינותו גבוהים. הוא קומפקטי ועלותו נמוכה. ובתמונה2 מאפייני המגבר מסוכמים בגרף.)השוואת מימדים( 3 ליניארי מנוע כוללת: הניסוי מערכת,cross-roller בעל מיסבים מכניים מסוג בעל רזולוציהsin-cos המצויד באנקודר מיקרון. שלושה מגברים0.4 בסיסית של שונים: מגבר לינארי "רגיל"PWM מגבר ממותג מסוגNanoPWM מגבר ממותג מסוג הטובה ביצועים לרמת כוונו המגברים ביותר ורוחב סרט זהה. מאפיינים עם במגברים שימוש נעשה.2 דומים כמצויין בטבלה ולאלה הלינארי שלמגבר לראות ניתןACS Motion Control מקסים אפנסנקו ובעז קרמר,MOTION CONTROL מוסף מיוחד

םיראניל םירבגמ םיפילחמ NanoPWM ... (3) מאושר לפרסום(2).pdf · .2 הלבט]מ"מ[ הביקע האיגש .3 ףרג:]הינש/מ"מ[1 לש הכומנ תוריהמב

  • Upload
    others

  • View
    3

  • Download
    0

Embed Size (px)

Citation preview

Page 1: םיראניל םירבגמ םיפילחמ NanoPWM ... (3) מאושר לפרסום(2).pdf · .2 הלבט]מ"מ[ הביקע האיגש .3 ףרג:]הינש/מ"מ[1 לש הכומנ תוריהמב

כגון רבות, תעשייתיות ערכות

מוליכים של בחינה מערכות

למחצה, מערכות בחינה של צגים שטוחים,

דורשות ביצועי תנועה ודיוק גבוהים מאוד.

JITTER קטן מננומטר ושגיאת עמידה עם

של קבועה במהירות תנועה תוך עקיבה

מספר ננומטרים. עד כה, לענות על דרישות

לינאריים. סרוו במגברי השתמשו אלה

עם אך חשמלית, שקטים אלו מגברים

נצילות הספק נמוכה, יקרים וגדולי מימדים

בחינה מערכות אמינות. מבעיות וסובלים

מ"מ( 450( למחצה מוליכים של חדשות

הינן גדולות יותר ודורשות הספקים גבוהים

יותר. המגברים הלינארים הנדרשים הינם

ומוגבלים במיוחד, גדולים ממדים בעלי

ביצועי את מגביל הדבר ובמתח. בזרם

את מייקר המונעות, המערכות ותפוקת

מחירן ומוריד את אמינותן.

מגברים של סדרה היא NanoPWM ™ )PWM( פולס רוחב אפנון מסוג ממותגים

ייחודית טכנולוגיה על המבוססת

ACS MOTION CONTROL שחברת

מגברי .PWMBoost טכנולוגיית - פיתחה

תנועה ביצועי מאפשרים NanoPWM ™לינאריים מגברים טובים מאלה של ודיוק

המגבר האחרונים. של החסרונות כל ללא

מאד, גבוהה נצילות בעל יותר, קומפקטי

הספק עם מנועים לדחוף מאפשר אמין,

גבוה יותר וזאת בעלות נמוכה יותר.

סוגי מגברים ויתרונותיהםמגברים: של עיקריים סוגים שני ישנם

ממותגים ומגברים לינאריים מגברים

תיאור לראות ניתן 1 בתמונה )PWM(

משמש המגבר לינארי. מגבר של סכמטי

בהתאם ערכו את המתאים משתנה כנגד

העומס. של ולהתנגדות הזרם לדרישות

בין העומס למגבר. מתח האספקה מחולק

המגבר בעייתי במצבים בהם צריכת הזרם

העומס על המתח מפל אך יחסית, גבוהה

נמוך. בתנאים אלה מפל המתח על המגבר

התופעה מרבי. עליו ההספק ופיזור גבוה

בולטת במערכות בעלות חיכוך גבוה- כאשר

המנוע בעמידה או נע במהירות נמוכה.

של סכמטי תיאור לראות ניתן 2 בתמונה

מגבר ממותג )PWM(. המגבר משמש כמתג

והמתח על העומס ישתנה בהתאם למחזור

פיזור המתג. של )duty cycle( העבודה

ונצילותו יחסית נמוך המגבר על ההספק

גבוה.

טבלה 1 מסכמת את היתרונות והחסרונות

העיקריים של כל אחד מהם.

הגדרת הבעיה והפתרון למחיצה מוליכים של בחינה מערכות

NanoPWM מחליפים מגברים לינארים מגברי ™

במערכות הנע עם ביצועים גבוהים

דורשות דיוק מיקום וחלקות תנועה ברמה מ

הגבוהה ביותר. כיום קוטר פרוסות המוליך

של החדש הדור מ"מ. 300 הוא למחצה

בקוטר פרוסות על בנוי למחצה מוליכים

וחלקות הדיוק דרישות מ"מ. 450 של

תנועה חמורות יותר.

לטיפול במערכות כאלו נדרש מגבר המשלב

עם לינארי מגבר של היתרון כל את

היתרונות של מגבר ממותג. כזה הוא מגבר

כמגבר שקטה פעולתו .NanoPWM ה-™

הוא גבוהים. ואמינותו נצילותו לינארי.

קומפקטי ועלותו נמוכה.

מאפייני המגבר מסוכמים בגרף 2 ובתמונה

3 )השוואת מימדים(.

ליניארי מנוע כוללת: הניסוי מערכת

,cross-roller מסוג מכניים מיסבים בעל

רזולוציה בעל sin-cos באנקודר המצויד

מגברים שלושה מיקרון. 0.4 של בסיסית

שונים:

מגבר לינארי

מגבר ממותג מסוג PWM "רגיל"

NanoPWM ™ מגבר ממותג מסוג

הטובה ביצועים לרמת כוונו המגברים

ביותר ורוחב סרט זהה.

מאפיינים עם במגברים שימוש נעשה

דומים כמצויין בטבלה 2.

ולאלה הלינארי שלמגבר לראות ניתן

ACS Motion Control ,מקסים אפנסנקו ובעז קרמר

MOTION CONTROL מוסף מיוחד

Page 2: םיראניל םירבגמ םיפילחמ NanoPWM ... (3) מאושר לפרסום(2).pdf · .2 הלבט]מ"מ[ הביקע האיגש .3 ףרג:]הינש/מ"מ[1 לש הכומנ תוריהמב

איור 1.תיאור עקרוני של מגבר ליניארי

איור 2.PWM תיאור עקרוני של מגבר

טבלה 1. יתרונות וחסרונות של מגברים

GlobalFoundries גרף 1. התפתחות הטכנולוגיה של מוליכי למחצה וצפי לעתיד לפי

תמונה 3. השוואת מימדים - מגבר ™NanoPWM ומגבר ליניארי בעלי מאפייני מתח/זרם דומים

NanoPWM™ גרף 2. מאפייני מגבר

הממותגים נתוני זרם שיא ומתח דומים, אך

NanoPWM ה-™ מגברי של הרציף הזרם

וה-PWM גבוה פי 2.

את להעלות מאפשר NanoPWM ™ מגבר

תפוקת המערכת ע"י עבודה במחזור עבודה

גבוה יותר.

המיקום שגיאת הם שנבדקו הפרמטרים

)jitter( ושגיאת העקיבה במהירות בעמידה

קבועה.

השוואת שגיאת מיקום בעמידה – מגבר לינארי,

NanoPWM מגבר המיקום שגיאת ביצועי את מראה 2 גרף

עם כי לראות ניתן המגברים. שני של

המירבית השגיאה NanoPWM ™ מגבר

)peak to peak( היא 1.32 ]ננו מטר[, שליש

מהשגיאה עם המגבר הלינארי.

תנועה תוך עקיבה שגיאת השוואת

מגבר לינארי, מגבר - נמוכה במהירות

.NanoPWM ™גרף 3 מראה את שגיאת העקיבה תוך כדי

תנועה במהירות נמוכה של 1 ]מ"מ/שניה[.

NanoPWM ™ מגבר עם כי לראות ניתן

השגיאה קטנה יותר והתנועה חלקה יותר.

השוואת שגיאת מיקום PWM בעמידה - מגבר

NanoPWM™ רגיל", מגבר" גרף 4 משווה בין ביצועי מגבר PWM "רגיל"

של לאלו זהים חשמליים מאפיינים בעלי

מגבר ה-™ NanoPWM. ניתן לראות כי עם

פי 25 NanoPWM השגיאה קטנה ™ מגבר

עם המתקבלת בעמידה השגיאה לעומת

מגבר PWM רגיל.

NanoPWM ™ מגבר שעם מלמד הדבר

משמעותית בצורה ביצועים לשפר ניתן

במגברי משתמשים בהם במערכות גם

כגון מערכות לבחינת צגים "רגיל", PWMמאוד, גדולות מערכות אלו שטוחים.

בעלות צריכת הספק גבוהה מעבר ליכולתם

של מגברים לינאריים בעלות סבירה.

סיכוםמגברים של חדש דור מציג זה מאמר

את המשלב NanoPWM ™ - ממותגים

ומגברי ליניאריים מגברים של היתרונות

שווי ביצועים בעל הינו המגבר .PWMבעל אך ליניארי מגבר של טובים או ערך יתרונות של גודל קומפקטי, אמינות גבוהה

ומחיר נמוך.

MOTION CONTROL מוסף מיוחד

Page 3: םיראניל םירבגמ םיפילחמ NanoPWM ... (3) מאושר לפרסום(2).pdf · .2 הלבט]מ"מ[ הביקע האיגש .3 ףרג:]הינש/מ"מ[1 לש הכומנ תוריהמב

טבלה 2.

גרף 3. שגיאה עקיבה ]מ"מ[ במהירות נמוכה של 1]מ"מ/שניה[: צהוב - מגבר ליניארי רגיל, אדום -

NanoPWM™ מגבר

גרף 4. שגיאה בעמידה ]מ"מ[: צהוב - מגבר PWM רגיל, אדום - מגבר

NanoPWM™

גרף 2. שגיאה בעמידה]מ"מ[: צהוב - מגבר ליניארי רגיל, אדום - מגבר

NanoPWM™

מגברים מחליף NanoPWM ™ מגבר

רמת שיפור ואף שימור תוך ליניאריים

לשפר מאפשר הוא כן כמו הביצועים.

שימוש נעשה בהן במערכות ביצועים

במגברים ממותגים מסוג PWM רגילים.

ומשפר עלויות מוזיל NanoPWM ™ מגבר

כגון דורשניות במערכות סרוו ביצועי

למחצה מוליכים של בחינה מערכות

מערכות בחינה של צגים שטוחים ועוד.

ACS נציגת הינה טכנולוגיות אבירי Motion Control בישראל.

MOTION CONTROL מוסף מיוחד