8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
1/66
ĐẠI HỌC QUỐC GIA TP.HỒ CHÍ MINH TRƯỜNG ĐHỌC BÁCH KHOA TP.HỒ CHÍ MINH
BÁO CÁO CÁC PHƯƠNG PHÁP VẬT LÝ NGHIÊN CỨU CHẤT
KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ TRONG PHÂN TÍCH HÓA H
GVHD : TS LÊ MINH VIỄN
SVTH : Lê Tấn P!" #$%&%#'$
N()*+n ,-n P./ #$%&%0&&
T12n H3) N456 #$%&%#&%
T12n N(7/ M4n #$%
M94 T ;n #$
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
2/66
NAI DUNG
$ GII THIU
% TEM VF ÁC ,NH TI
? SJ PHKN TCH VẬT MU LN
= NH HIN VI ,IN T TRU;QN U
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
3/66
$ GII THIU
Ứn( n(: n "W/ /ấ) "1./ XY 6Z"[ \n ]^_n( \n "Wn / Ca = ]bc4 "dn( "^en(: SfM[ TfM[ STfM[ SPM
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
4/66
N()*ên ]g: C4
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
5/66
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
6/66
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
7/66
4 X`n 6h" /i6 \45n "j nrn( ]^_n( /9b lmb l" 6o) "- st • ,45n "j "u /ấ vSfw
• ,45n "j "!n xc n(^_/ vBSfw
pq "cb -n yn
•
T49 \Z/ "1^n(: \n "Wn[ \n ]^_n(
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
8/66
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
9/66
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
10/66
Sz "cb "mn "49
•
f]{/"1bn "|4 /a nrn( ]^_n( \}]|n ]m6 X" 6h" {]{/"1bn ]|"1bn( lm ]m6 n()*ên "j X49 XkW/ "W/ l|4 6h" ]~ "1•n(
• 4 ]~ "1•n( nm* \^_/ ]ấ \2*
X€4 6h" {]{/"1bn ]| n(bm4 "- $ b"bn "49 \^_/ "cb 19
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
11/66
Sự tạo thành tia X:
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
12/66
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
13/66
• C!/ b"bn /a 6u/ nrn( ]^_n(
Xn( 45) % 6u/ nrn( ]^_n( lm \Z/"1^n( /b k46 ]bc4 \^_/ ]m6 X49
• % lc/ 9$ lm 9% /a /^en( \h]|n nấ"[ "^en( in( \‚ n "W/
•
Nrn( ]^_n( /2n in( \‚ kW/ "W/9$[ 9% \•4 l|4 /!/ k46 ]bc4 /a ƒ/mn( ]|n "- /mn( ]|n
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
14/66
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
15/66
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
16/66
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
17/66
•
•4 6o) 69n( \4 n "W/ „ $66?
v$66 x $66 x $66w• ,h s) 6m "49 \^_/ "cb 19 "1bn( 6o):
T1bn( \a: f vk{VwR v66w
Pp$&…%
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
18/66
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
19/66
% T-6 lm x!/ \n "49 …19*
•
Ca % ^>n( ! :P† "!n xc nrn( ]^_n( v fn{1(*…4s{1s4l{ s{/"1bs/b* fD
P† "!n xc X^|/ san( v‡9l{]{n("…4s{1s4l{ s{/"1bs/b*
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
20/66
%$ P† "!n xc nrn( ]^_n(
•
Phổ tán xc năng lượng là kỹ thuật phân tích thàha h!c c"a #ật $%n &ựa #ào #i'c ghi lại phổ "4$a t( #ật $%n &o tư)ng tác #*i các Xu/ xc +,à chchi, \45n "j c năng lượng cao t$ong các kWn 4"j/0
• 1$ong các tài li'u khoa h!c2 kỹ thuật nà- thư3#i.t t%t là 56X ha- 56S 7u8t phát t( t9n 9n 5n$g-;&i
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
21/66
; =ỹ thuật 56S ch" -.u 4ược thực hi'n t$ong cácl4 \45n "j
; =ỹ thuật 56S 4ược phát t$i>n t( nh?ng nă,thi.t @A thư)ng phB, 7u8t hi'n #ào 4ầu nh?ng n#*i #i'c n S4[L4 bZ/ G{
… MZ/ i na /a ]/ sj (2n \* n^n( X* (4e n-n /)n( nn( 6h" /!/ 1hn( 1ˆ4 >n lm ]4n bc" >n P^>n( !nên \!n( "4n /* "1bn( l45/ sj n( "49 \‚ "-6 19 \Z/ "Wn l" ]45)
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
22/66
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
23/66
N()*ên ]W bc" \hn( /}9 fDS
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
24/66
N()*ên ]W bc" \hn( /}9 fDS
•
4 /i6 \45n "j /a nrn( ]^_n( ]|n \^_/ /4n( "!/ l|4 /!/ ] Xên "1bn( /}9 n()*ên "j T^>n( "!/ nm* on \
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
25/66
N()*ên ]W (4 nn lm \h /Wn x!/ /}9
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
26/66
N()*ên ]W (4 nn lm \h /Wn x!/ /}9
•
T49 !" 19 "‹ l" 1`n vb "^>n( "!/ l|4 /i6 \45n "jw s]^_n([ st \^_/ \^9 \
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
27/66
N()*ên ]W (4 nn lm \h /Wn x!/ /}9
•
,h /Wn x!/ /}9 fDS "^en( /‰ (4 nn \^_/ sz /an()*ên "j /a " 2n ]m ?…8Ž "1€ ]ên
• Db {"{/"b1 kdn( "‚ ấ ") \^_/ "49 /a 6u/ nrn( ]^_n$k{l nên kdn( x!/ \n \^_/ n()*ên "• n >n N9
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
28/66
N()*ên ]W (4 nn lm \h /Wn x!/ /}9
•
T†n( "e4 (49n "1bn( ‘)! "1-n n "W/ X9b (Œ6 "e4 (49\
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
29/66
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
30/66
2 2 Phổ tán xạ !"# $%n&
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
31/66
2.2 Phổ tán xạ !"# $%n&
v'()* '9l{]{n(" + (4s{1s4l{ ) {/"1bs/
T1-n "z bc" \hn(:
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
32/66
Các ,á- &E
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
33/66
Nh!,# -/0*•
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
34/66
Nh!,# -/0*
• T49 y4 \^_/ /)n "1z/ vn(`6 6!*w "1^|/ k4 \ /< /}9 na ]m u/ "c k4 6)•n "9* \†4 "1bn( k4 lon (43’ "1ên \^en( "1’n Rb–]9n Ca s94 s• b — \b 5 />
• Ca "‚ /a (49b "b9 (439 "‹ /!/ lc/ n4+) xc X/ /9b
1 -/
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
35/66
1 -/0*
• y nrn( n (4y4 /}9 6!* \b ‘)9n( † "4n "‚ 1ấ" "•" lm s\n
C.n( "9 st "ấ* "1bn( 2n "|4[ /y % \Y) /a un( n( 1hn( 1ˆ4 "\45n "j
G Sz n "W/ "49 /}9 l" 6o) ]|n
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
36/66
G Sz n "W/ "49 /}9 l" 6o) ]|n D™NG C™
Wn 4‚n l4 \45n "j ‘)—" vS/9nn4n(
f]{/"1bn M4/1bs/b{… SfMw
T4
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
37/66
?$ Sz n "W/ "49 /}9 /!/ 6o) k•
T4
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
38/66
,Z/ \4‚6 fPM
• y nrn( \n l /Wn x!/[ n "W/ \n ]^_n( n()*ên "• /a kW/ "^|/ 1ấ" n
• Pn "W/ 6m kdn( ! }* 6o)
• ,Z" /Wn x!/ l "1W \2) ’ lmb l "1W /2n n "W/
• Pn "W/ \n "Wn lm \n ]^_n( /a \h /Wn x!/ /9b
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
39/66
NGU;ÊN LÝ HOT ,ANG
‚
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
40/66
SfM ]m 6h" ]bc4 kWn 4‚n l4 \45n "j sj n( 6h" /i6 \45n "j XY 6Z" 6o)
Wn 4‚n l4 \45n "j ‘)—" vS/9nn4n(
f]{/"1bn M4/1bs/b{… SfMw
Sb s!n SfM lm fPM
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
41/66
Sb s!n SfM lm fPM)45 4P5A
Pn "W/ kdn( /2n ! 6o)Pn "W/ \n "Wn[ \n ]^_n(
P† "!n s`/ nrn( ]^_n( vfDSw )9n( † "!n s`/ ‡DSž fDS
Pn "W/ "mn 2n a9 7/ /}9 l" ]45) Pn "W/ /Wn x!/ "mn n a/}9 6o)
Rấ" ka krn \‚ ^|n( "|4 lin( /a kW/ "^|/n
H^|n( "|4 lin( 6o) "^>n( \•4 n
dn( n "W/ \^_/ /!/ n()*ên "• n Pn "W/ \^_/ /!/ n()*ên "• n
Pn "W/ \n "Wn /a \h /Wn x!/ /9b Pn "W/ \n ]^_n( /a \h /Wn x
Cn kdn( "ấ Cn kdn( /9b
T9b "!/ \4Y) k4‚n \>n (4yn[ (4! "mn 1Ÿ[ † X4
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
42/66
?% Sz "1-n Xm* "dn( "4n n "W/
• Lz9 /7n ^>n( ! n "W/:
- Pn "W/ \4‚6
- Pn "W/ XY 6Z" ]|n
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
43/66
Hựa ch!n phư)ng pháp phân t
6ựa t$9n thIng tin 4ược -9u cầu:
J Phân tích #Kng lựa ch!n t$ong ,Lu 4Mng nh8t
J Phân tích tổng th>
J Phân tích 4> khNo
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
44/66
=ỹ thuật QuRt 4ư3ng
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
45/66
nh tia X
? ? N3n( lấn \Y "z/ "< /}9 n "W/
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
46/66
?? N3n( lấn \Y "z/ "< /}9 n "W/"Wn
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
47/66
• nh hưTng tính ch8t khIng &Ln 4i'n c"a #ật ,L
- Uâ- $a hi'n tượng tích 4i'n
VW phNi ph" l9n @O ,t ,t l*p ki, loại
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
48/66
• nh hưTng tính ch8t khIng &Ln 4i'n c"a #ật ,L
Yạn ch.:
- Yạn ch. khN năng phân giNi c"a các chi ti.t
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
49/66
• nh hưTng c"a 4Aa h\nh @O ,t:
‚ Y
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
50/66
= Wn 4‚n l4 \45n "j "1)*Yn ‘)9 vTfMw
Kính hiển vi điện tử truyền qua
SC &Dng chK, 4i'n tC c năng lượngcao chi.u 7u-9n Qua ,Lu #ật $%n ,Zng0SC &Dng các th8u kính t( 4> tạo Nnh #*i
4 phng 4ại l*n0n c th> tạo $a t$9n ,àn hu]nh
Quang2 ha- t$9n ^l, Quang h!c2 ha- ghinhận @_ng các ,á- chDp kỹ thuật
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
51/66
Pn "W/ …19* "1bn( SfM l|4 \h n (4y4 /9b >n n4Y) s
^>n( ! n "W/ "dn( "^en( T)* n4ên[ \h n (4y(4|4 cn kW/ "^|/ /}9 6o) ]m kbyn( $µ6
Ca 1ấ" n4Y) \Z/ "Wn ‘)9n "17n( /}9 6h" 6o) l" /a kW/ "^>n sb l|4 $µ6[ lm /!4 \a ]m kn( ! n "W/ …19* l|4 \h n (4y4
TfM
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
52/66
H-n cn( /}9 sz "^>n( "!/ ")h/ 2n nmb lmb nrn( ]^_n(s• n()*ên "j /}9 6o) l"
Sz ]9n 19 /!/ Xên /}9 /i6 "49 \45n "j n(m* /mn( "rn( k4 lmb sl" 6o)
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
53/66
Sz ]9n "1)*Yn /i6 "Wn Xn( /dn( "u/
Bp&$@0vƒ˜fwvρ˜w$˜%"?˜%
T1bn( \a :
ƒ :s• n()*ên "j
: k•4 ]^_n( n()*ên "j f:nrn( ]^_n( {]{/"1bn vk{Vw
ρ : k•4 ]^_n( 14ên( v(˜/6?w
" :XY m* vn6w
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
54/66
M/ \W/ ‘)9n "17n( /}9 l45/ sj n( 6h" 6o) 6n( ]m s• ]^"49 !" 19 ]m n >n n4Y) sb l|4 6h" 6o) ]|n[ lm \* ]m *"^en( (4|4 cn \h n (4y4 /}9 n "W/ 6mn( 6n(
Y ‚ 2
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
55/66
N4Y) kWn 4‚n l4 \45n "j X* (4e \^_/ "19n( X \2) ’ fDS \"dn( "4n /ấ" /œn( n^ "dn( "4n /ấ) "1./ 4‚n l4 /a "‚ \^_/ 6o) l" 6n(
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
56/66
,‚ 45) ‘)y /2n \Z" 6h" \2) ’ /mn( ]|n /mn( "•"[ (2n l|4 6oka "z/ 45n "1bn( TfM lm SfM
H2) n^ sj n( 6h" \2) ’ fDS \’4 4 l" kWn /}9 TfM "19n( X \45n /z/ l|4 6h" kbyn( /!/ 1hn( >n X-n "^en( p\h n (4y4
‚ 2
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
57/66
,‚ " "1)n( /i6 \45n "j "9 st in( 6h" \2) ’
Ca 94 /!/ "^en( \^_/ "z/ 45n ]m TfM˜STfM ¡ n( / TfM :
G`n STfM /b kWn 4‚n l4 ,‚ "z/ 45n /2n /a \2) ’ \45n "j \^^|4 $n6
GZ ka krn "1bn( l45/ "9* \†4 "‹ /< \h STfM s9n( 6h" /< \h /• n "W/
T1bn( "< 5 6|4 nấ" /}9 TfM 6h" \2) ’ 1ấ" n v\^en( kWn % nn >nw \^_/ sj n( k4 /!/ kWn 4‚n l4 € /< \h / yn TfM Xb \a /!/ k) lz/ ‘)9n "6 /a "‚ \^_/ \n l Xn( -n yn TfM [ "^|/ /i6 "49 /a "‚ \^_/ (4y6 /b \n sb l|4 k) n "W/
V" kW
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
58/66
V" kWn
Tấ) kWn (4 nn /i6 \45n "j \2) "4ên "‹ 6o) l" lm ])dn k4‚n s9b /b l" st € l "1W /a ky nrn( ]ấ* n—" k4 \h an( \^_/ "9* \†4
V" kWn /a l94 "1’ "cb yn[ l45/ \4Y) /‰n ]ấ* n—" \^_/ "z/ /!/ "9* \†4 ’n( \45n /c* ‘)9 /)hn *[ ‘)9 \a ]m6 "9* \
} "ấ kW
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
59/66
Tấ) kWn n4+) xc :
Ca l94 "1’ h4 " /i6 "49 n4+) xc "‹ /!/ (a/ k!/ n9) lm "cn4+) xc \45n "j "1ên 6Z" ”n( "4ê) /}9 "ấ) kWn
Tấ) kWn an( \c4 :
Lm 5 "ấ) kWn s9) l" kWn[ lm \h an( \c4 /}9 5 \^_/ "9/!/ "9* \†4 "45) /z /}9 "ấ) kWn
) \h
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
60/66
) \h
=hBu 4 hi tD
tác &Dng 4iOu khi>n lựa ch!n &i'n tích #Kng ,Lu #ật
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
61/66
Mh" yn ^€n( ka /) ]m sz !" )¢n ‘)9n( bZ/ kW/ "W/"!n xc n(^_/ /}9 "49 "‹ 6o) l" lm /h" kWn 4‚n l4
Trong mẫu vật thô, tia B X-rays bị kích thích bởi huỳnh quang từ vng !
N3n( lấn \Y nm* /a "‚ \^_/ (4y6 n n^n( kdn( bmn "bm Xn( /!/ sj n( 6h" 6o) l" lm ~ "1_ ]^|4 ]m6 Xn( /91Xbn
Ư) \4‚6 lm cn /< /}9 TfM
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
62/66
Ư) \4‚6 lm cn /< /}9 TfM
Ư) \4‚6:Tcb 19 yn /ấ) "1./ l" 1`n l|4 \h "^>n( yn[ \h n (4y4
D+ mn( "dn( / /!/ "dn( "4n lY /ấ) "1./
!/ l|4 ’n( kWn 4‚n l4 ‘)—" \2) ’[ TfM /b yn "" /
"1./ Xên "1bn( l" 1`n nên \{6 ]c4 n4Y) "dn( "4n >n + mn/!/ -n yn nm* € \h n (4y4 "|4 /ấ \h n()*ên "j
,4 k£6 l|4 -n yn /ấ" ]^_n( /9b ]m n4Y) — n "W/W/ \{6 ]c4 n4Y) "dn( "4n /b n(4ên /u) l" ]45)
N \4‚
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
63/66
N^_/ \4‚6
,`" "4Yn: TfM /a n4Y) "Wn nrn( 6cn lm ]m "4
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
64/66
Ứn( n(
C!/ un( n( /}9 n "W/ 46 6n( \^_/ † X4
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
65/66
"h#n tích h$t v%ng si&u mịn
a' (uang )h* +
b' Từ . h$t /nm, th0 hi1n 234ng nh5 Br k6t h4) v7i h$t kh8c
8/17/2019 Tổng Hợp Pp Chất Rắn
66/66