שיקוע מפאזה גזית בעזרת פלזמה - PECVD שיקוע מבודדים...

שיקוע מפאזה גזית בעזרת PECVDפלזמה -

שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת •חיבורי ביניים בסיוע פלזמה

פרופ’ יוסי שחם

המחלקה לאלקטרוניקה פיזיקלית, אונ’ ת”א.

מערכות לייצור פלזמה

DCמערכת פלזמה

xEXPII C

)ln()(PdC

PdAVB

Current to the anode

Paschen’s law:

qEVEXP i1

-Townsand coefficient

Where Ic is the electron Cathodic current

is the collision mean free path, E the electric field, and Vi is the effective ionization potential

מתח התפרקות באוויר

RF פלזמה

פילוג האנרגיות בפלזמה

[KeVאנרגיה ]

תרומת ינון מישני לפלזמה

ביצירת פלזמה ACהפעלת שדה

)Iטכנולוגית פלזמה (

בניית פלזמה גזית בין לוחות

Magnetic enhancement

השפעת ממדי האלקטרודות

פוטנציאל האלקטרודה בתא אסימטרי

יחס המתחים הפוך ליחס שטחי האלקטרודות

פלזמה במגנטרון חלול (HCM)

האיכול יכול להיעשות ע”י יונים, רדיקלים נייטרלים ומולקולות נייטרליות

אלקטרונים מוחזרים ממחסום הפוטנציאל

RIEמערכת פלזמה כנגד

מערכת עם שני תדרים

ריאקציה בשיווי משקל

ריאקציות יכולות לאכל ולשקע

לחצים חלקים של גזים טיפוסיים

תכנון שיקוע סלקטיבי

שינוי באנרגיה החופשית

)HDPשיקוע מפלזמה בריכוז גבוה (

קצב השיקוע והאיכול יחסי לזווית הפגיעה של ה- PRECURSORS

HDPהתקדמות פני השטח בתהליך

שיקוע מהיר איכול איטי

איכול מהיר שיקוע איטי

איכול ושיקוע איטיים

HDPריאקטור

נזק ע”י פלזמה

סיכום

שיקוע ע”י פלזמה

CVDמהיר, איכות טובה כמו

ניצול תכונות הפלזמה לשיפור הפלנריזציה וכיסוי מדרגה