View
245
Download
11
Embed Size (px)
Citation preview
שיקוע מפאזה גזית בעזרת PECVDפלזמה -
שיקוע מבודדים ומוליכים ליצירת •חיבורי ביניים בסיוע פלזמה
פרופ’ יוסי שחם
המחלקה לאלקטרוניקה פיזיקלית, אונ’ ת”א.
מערכות לייצור פלזמה
DCמערכת פלזמה
xEXPII C
)ln()(PdC
PdAVB
Current to the anode
Paschen’s law:
qEVEXP i1
-Townsand coefficient
Where Ic is the electron Cathodic current
is the collision mean free path, E the electric field, and Vi is the effective ionization potential
מתח התפרקות באוויר
RF פלזמה
פילוג האנרגיות בפלזמה
[KeVאנרגיה ]
תרומת ינון מישני לפלזמה
ביצירת פלזמה ACהפעלת שדה
)Iטכנולוגית פלזמה (
בניית פלזמה גזית בין לוחות
Magnetic enhancement
השפעת ממדי האלקטרודות
פוטנציאל האלקטרודה בתא אסימטרי
יחס המתחים הפוך ליחס שטחי האלקטרודות
פלזמה במגנטרון חלול (HCM)
האיכול יכול להיעשות ע”י יונים, רדיקלים נייטרלים ומולקולות נייטרליות
אלקטרונים מוחזרים ממחסום הפוטנציאל
RIEמערכת פלזמה כנגד
מערכת עם שני תדרים
ריאקציה בשיווי משקל
ריאקציות יכולות לאכל ולשקע
לחצים חלקים של גזים טיפוסיים
תכנון שיקוע סלקטיבי
שינוי באנרגיה החופשית
)HDPשיקוע מפלזמה בריכוז גבוה (
קצב השיקוע והאיכול יחסי לזווית הפגיעה של ה- PRECURSORS
HDPהתקדמות פני השטח בתהליך
שיקוע מהיר איכול איטי
איכול מהיר שיקוע איטי
איכול ושיקוע איטיים
HDPריאקטור
נזק ע”י פלזמה
סיכום
שיקוע ע”י פלזמה
CVDמהיר, איכות טובה כמו
ניצול תכונות הפלזמה לשיפור הפלנריזציה וכיסוי מדרגה