LOGO

VẬT LÍ MÀNG MỎNG

HVTH: LÊ HOÀNG NAM

MÀNG MỎNG TÍNH CHẤT ĐIỆN

PHƯƠNG PHÁP ĐO

LOGO

LOGOPHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH CẤU TRÚC MÀNG

Phương pháp nhiễu xạ tia X

Phương pháp Stylus

Phép đo hiệu ứng Hall

Phương pháp đo điện trở suất

Phương pháp sử dụng phần mềm Scout

LOGOPHƯƠNG PHÁP NHIỄU XẠ TIA X

Mục đích : Xác định cấu trúc và kích thước hạt

Cơ sở :

cos)2(

9.0

b

Công thức Sherrer

LOGO

Sơ đồ khối của máy đo Stylus :

Bàn soiBàn soi

LVTDLVTD

MẫuMẫu

Điều kiện tín hiệuĐiều kiện tín hiệu

Bộ nhớ máy tínhBộ nhớ máy tính

Chuyển đổi A/DChuyển đổi A/D

Mục đích : Xác định độ dày của màng

PHƯƠNG PHÁP STYLUS

LOGOPHÉP ĐO HIỆU ỨNG HALL

Mục đích : Xác định nồng độ hạt tải và độ linh động

Cơ sở :

Hình 4: Nguyên tắc phép đo hiệu ứng Hall

.( )L DF q V B r r r

LOGOPHÉP ĐO HIỆU ỨNG HALL

y x zq E q E B

y x zE E B

.y

H a l lz x

ER

B j

. . 1

. . . . .x z

Hallx z

E BR

E B q n q n

Ở trạng thái cân bằng

Ta có :

LOGOXÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT

Phương pháp đo điện trở vuông

.R d W

LOGOXÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT

Phương pháp đo bốn mũi dò

.sR d Cách đo:

với . .ln 2s

UR G

I

Công thức tổng quát

G : Số hiệu chỉnh (tùy thuộc vàohình dạng và kích thước của mẫu)

LOGO

Xác định loại phổ cần làm khớp, vẽ phổ lý thuyết của nódựa trên các thông số đã khai báo

Sử dụng phần mềm khớp phổ Scout

Mục đích : độ dày, chiết suất, độ rộng vùngcấm, điện trở suất, nồng độ hạt tải và độ linhđộng. Nguyên tắc :

Khai báo các dữ liệu: vật liệu tạo màng, các thông sốquang ban đầu của vật liệu

Chọn các thông số muốn làm khớp sao cho phổ lí thuyếttrùng khớp với phổ thực nghiệm nhất.

Thay đổi dần các thông số để kết quả làm khớp là tốtnhất. Từ đó ta xác định được các thông số của màng.

LOGO

CHÂN THÀNH CÁM ƠN THẦYVÀ CÁC BẠN ĐÃ THEO DÕI